可拆卸式晶圆传送盘制造技术

本实用新型专利技术涉及可拆卸式晶圆传送盘，包括晶圆工作盘和两个支撑板，所述晶圆工作盘包括矩形卡槽板和平行安装板,所述矩形卡槽板下部的两端分别布设有长方形的边翼，矩形卡槽板上部的一端活动式连接有平行安装板，晶圆工作盘通过边翼连接在两个支撑板之间，所述支撑板的上平面固定有第一固定板，支撑板由下至上的五分之四处套合有第二固定板，边翼固定于第一固定板和第二固定板预留的间隙之间；所述第一固定板的上平面铰接有第一盖板，支撑板的平面上开设有“T”字形的滑槽，滑槽内布设两个固定环组件，支撑板的底部分别连接至底板槽，两个底板槽之间通过支撑管进行连接。本实用新型专利技术拆卸方便，易于处理，有效的节约材料、节省成本。

Removable wafer carousel

The utility model relates to a detachable wafer transport disc, including wafer working plate and two supporting plate, the working plate wafer including rectangular slot plate and parallel to the mounting plate, both ends of the rectangular slot plate are respectively arranged a rectangular wing, a movable rectangular slot end of the upper portion of the connecting plate a parallel installation board, wafer working plate is connected between the two supporting plate through the wing, the supporting plane board is fixed with a first fixed plate, support plate by around five points under the first set with a second fixed wing plate is fixed on the first fixed plate and the fixed plate reserved clearance between second hinged on the first plane; the fixed plate has a first cover plate, the support plate is arranged on the sliding plane \T\ shape of the chute, emplaced within the two fixed ring assembly, the bottom of the supporting plate is respectively connected to the bottom groove two bottom The plate groove is connected by supporting pipe. The utility model has the advantages of convenient disassembly, easy processing, effective material saving and cost saving.

【技术实现步骤摘要】
可拆卸式晶圆传送盘
本技术涉及半导体
，特别是涉及一种可拆卸式晶圆传送盘。
技术介绍
晶圆作为制造半导体芯片的基本材料，广泛应用于半导体行业中;晶圆在检测和加工时需要放置在晶圆传送盘中，现有晶圆传送盘的晶圆工作盘、两侧的支撑板和底板均为一体结构，更换晶圆的时候不可避免的会磨损晶圆工作盘，更换磨损的晶圆工作盘时需要同时更换两侧支撑板和底板，浪费材料且增加了制作的成本；且现有的固定环均为不可转动的一体件，不能有效的达到固定的目的，且现有固定环一端磨损就需要同时更换整个固定件，增加了制作的成本；晶圆在装载或卸载的过程时空气中存在的颗粒等物质易附着在晶圆工作盘上，由于晶圆工作盘为凹槽，附着于晶圆工作盘内的粉尘不易清洗，需要利用复杂的工艺进行处理，增加了制造成本并降低了良品率。晶圆工作盘的安装效果和固定环的固定效果直接影响了整个仪器的技术效果，故如何在更换时降低晶圆工作盘的制作成本，避免材料的浪费是目前亟需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种拆卸方便，易于处理，有效的节约材料、节省成本，并增加良品率和实用技术效果的可拆卸式晶圆传送盘。为了实现上述目的，本技术的技术方案是：可拆卸本文档来自技高网...

【技术保护点】
可拆卸式晶圆传送盘，其特征在于，包括晶圆工作盘和两个支撑板，所述晶圆工作盘包括矩形卡槽板和平行安装板, 所述矩形卡槽板呈“U”字形，矩形卡槽板下部的两端分别布设有长方形的边翼，矩形卡槽板上部的一端活动式连接有平行安装板，所述平行安装板呈“n”字形，晶圆工作盘通过边翼连接在两个支撑板之间，所述支撑板的上平面固定有第一固定板，支撑板由下至上的五分之四处套合有第二固定板，所述第一固定板呈长方体形，所述第二固定板呈“回”字形，第一固定板位于第二固定板的上部，第一固定板和第二固定板之间预留有间隙，所述边翼固定于第一固定板和第二固定板预留的间隙之间；所述第一固定板的上平面铰接有第一盖板，所述第一盖板呈“n...

【技术特征摘要】
1.可拆卸式晶圆传送盘，其特征在于，包括晶圆工作盘和两个支撑板，所述晶圆工作盘包括矩形卡槽板和平行安装板,所述矩形卡槽板呈“U”字形，矩形卡槽板下部的两端分别布设有长方形的边翼，矩形卡槽板上部的一端活动式连接有平行安装板，所述平行安装板呈“n”字形，晶圆工作盘通过边翼连接在两个支撑板之间，所述支撑板的上平面固定有第一固定板，支撑板由下至上的五分之四处套合有第二固定板，所述第一固定板呈长方体形，所述第二固定板呈“回”字形，第一固定板位于第二固定板的上部，第一固定板和第二固定板之间预留有间隙，所述边翼固定于第一固定板和第二固定板预留的间隙之间；所述第一固定板的上平面铰接有第一盖板，所述第一盖板呈“n”字形；支撑板的平面上开设有“T”字形的滑槽，所述滑槽的横截面呈“凸”字形；滑槽内布设两个固定环组件，所述固定环组件包括滑轮和卡扣，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞芝亮，陈鲁，刘涛，马砚忠，杨乐，黄有为，张鹏斌，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44