The invention discloses a closed water oxygen isolation material, which comprises a box body and a door body, the door body is a composite door, including the front and back doors, wherein the box body comprises an opening, the opening part and the back door with the internal and external components and the front door with a cavity, are arranged between the front door and back door, the cavity is arranged on the surface of multiple grooves, the front and the back door includes at least one latch structure, in contact with the back of the box body are provided with first and second gas confidential confidential. The invention can isolate the oxygen water sealed material, can achieve better performance of air, so that the material can be loaded in wafer long-distance transport and other harsh environment can also achieve better protection of the loading of the wafer, through each layer of the door body structure are equipped with double gas mijian, one layer another layer of inflatable, no inflatable configuration, so as to achieve the ability of air classification, in use can be selected according to the service environment.
【技术实现步骤摘要】
一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒
本专利技术涉及一种前开式晶圆盒,具体涉及一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒。
技术介绍
在半导体工业中,半导体芯片制程通常包括前段制程和后段制程,前道制程包括:黄光、化学、薄膜、蒸镀等,而后段制程包括研磨、划裂、测试、分选、目检等。由于半导体晶圆需要经过各种不同流程的处理且需配合制程设备,因此会被搬运到不同的工作站,为了方便晶圆的搬运且避免受到外界的污染,常会利用一密闭容器以供自动化设备输送。请参考图1,为现有技术的晶圆盒示意图。此晶圆盒是一种前开式晶圆盒,是具有一盒体10及一门体20,盒体10内部是设有多个插槽11可水平容置多个晶圆,且在盒体10的一侧面是具有一开口12可供晶圆的载出及加载,而门体20具有一个外表面21及一个内表面22,门体20是由内表面22与盒体10的开口12相结合,用以保护盒体10内部的多个晶圆。此外,在门体20的外表面21上配置有一个门闩开孔23,用以开启或是封闭前开式晶圆盒。在上述前开式晶圆盒中,由于半导体晶圆是水平地置于盒体10内部,因此,在前开式晶圆盒搬运过程中会设有一晶圆限制件,以避免晶圆因震动而产生移位或往盒体10的开口12方向移动。中国专利,公开号为CN101685788A提供一种具有门闩及气密结构的前开式晶圆盒,晶圆盒中的盒体配置至少一个充气阀,可以使得盒体内部形成正压力故可以防止外部大气进入晶圆盒内,同时,参考图2,采用气密件70与71,当采用机械装置将实体平面646进入闩插孔15后,然后将气密件70进行充气,使此膨胀或充气的气密件70不仅会在门体20及盒体10之间形成气密,也进一步地藉由膨胀来挤 ...
【技术保护点】
一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒,其特征在于,包括盒体(10)和门体(20),所述门体(20)为复合式门体,包括前门(21)和后门(22),所述盒体(10)包括开口(12),所述开口(12)包括与所述后门(22)结合的内部件(122)以及与所述前门(21)结合的外部件(121),所述前门(21)与所述后门(22)之间设置有腔体(32),所述腔体(32)内表面设置多处凹槽(63),所述前门(21)和所述后门(22)均包括至少一个门闩结构(60),在所述后门(22)与所述盒体(10)的接触处设置有第一气密件(71)和第二气密件(70),所述门体(20)上还设置有闩孔(27),所述盒体(10)上设置有盒体闩孔(15)。
【技术特征摘要】
1.一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒,其特征在于,包括盒体(10)和门体(20),所述门体(20)为复合式门体,包括前门(21)和后门(22),所述盒体(10)包括开口(12),所述开口(12)包括与所述后门(22)结合的内部件(122)以及与所述前门(21)结合的外部件(121),所述前门(21)与所述后门(22)之间设置有腔体(32),所述腔体(32)内表面设置多处凹槽(63),所述前门(21)和所述后门(22)均包括至少一个门闩结构(60),在所述后门(22)与所述盒体(10)的接触处设置有第一气密件(71)和第二气密件(70),所述门体(20)上还设置有闩孔(27),所述盒体(10)上设置有盒体闩孔(15)。2.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒,其特征在于,所述内部件(122)的周长小于所述外部件(121)的周长,所述外部件(121)与盒体(10)外围处于同一平面或者凸出所述盒体(10)的外围。3.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒,其特征在于,在所述前门(21)与所述后门(22)上同一对应位置上设置有闩孔结构(31)。4.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒,其特征在于,在所述前门(21)与所述后门(22)的不同位置上设置有闩孔结构(31)。5.如权利要求1所述的一种可隔绝水氧的密闭晶圆盒,其特征在于,所述门闩...
【专利技术属性】
技术研发人员:王仕伟,李文连,任清江,晋芳铭,赵铮涛,
申请(专利权)人:安徽熙泰智能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽,34
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