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本实用新型涉及可拆卸式晶圆传送盘，包括晶圆工作盘和两个支撑板，所述晶圆工作盘包括矩形卡槽板和平行安装板,所述矩形卡槽板下部的两端分别布设有长方形的边翼，矩形卡槽板上部的一端活动式连接有平行安装板，晶圆工作盘通过边翼连接在两个支撑板之间，所述...
该专利属于深圳中科飞测科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳中科飞测科技有限公司授权不得商用。

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