沉积源制造技术

本发明专利技术提供沉积源。作为示例，沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合的第一防止变形部件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及沉积源。
技术介绍
发光显示装置中，有机发光显示装置作为自发光型显示元件，具有视角宽、对比度优异而且响应速度快的优点，因此作为新一代显示装置而受到瞩目。有机发光显示装置包括在阳极和阴极之间由有机发光物质构成的发光层。随着在这些电极上分别施加阳极和阴极电压，从阳极注入的空穴(hole)经由空穴注入层和空穴传输层移动到发光层，而电子从阴极电极经由电子注入层和电子传输层移动至发光层，从而在发光层中电子和空穴复合。通过这种复合生成激子(exiton)，并且随着该激子从激发态跃迁至基态而从发光层放射出光，从而显示图像。有机发光显示装置包括像素限定膜，其中该像素限定膜具有开口部以暴露以像素为单位形成的阳极电极，并且空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层和阴极电极形成在通过该像素限定膜的开口部暴露的阳极电极上。其中，阳极电极可通过各种方法形成，其中一种方式为沉积方法。
技术实现思路
一方面，用于执行沉积方法的沉积装置具有沉积源，其中沉积源包括存储沉积物质的坩埚、加热坩埚的加热器以及收纳坩埚和加热器的壳体。然而，加热器在加热坩埚时可能会由于高温热而导致变形并发生弯曲、扭曲或与其它部件接触。在这种情况下，加热器可能发生损伤或破损。对此，本专利技术所要解决的技术问题在于提供能够防止加热器的损伤或破坏的沉积源。本专利技术的技术问题不限于以上提及的技术问题，本领域技术人员可通过下面的记载明确地理解未提及的技术问题或其它技术问题。用于实现上述目的的、根据本专利技术一实施例的沉积源包括：收纳沉积物质的坩埚；设置在上述坩埚的外侧并且以上述坩埚为中心彼此相隔开的第一加热器和第二加热器；以及在上述坩埚的下方以连续的形态布置于上述第一加热器与上述第二加热器之间并且与上述第一加热器和上述第二加热器结合的第一防止变形部件。上述坩埚、上述第一加热器以及上述第二加热器分别可具有沿着与上述第一加热器和上述第二加热器的布置方向交叉的第一方向延伸的形态，并且上述第一防止变形部件可设置为多个，上述多个第一防止变形部件由布置成沿着上述第一方向相隔开的桥接板构成。上述第一防止变形部件可布置成与上述坩埚的底部相隔开。上述第一加热器和上述第二加热器可布置成与上述坩埚的侧部相隔开。上述第一防止变形部件可具有与上述第一加热器和上述第二加热器中的每个垂直的平面形状。上述第一防止变形部件可在上述第一加热器与上述第二加热器之间具有斜线形态的平面形状。上述第一防止变形部件可包括斜线形状的第一条和斜线形状的第二条，其中上述斜线形状的第一条和上述斜线形状的第二条在上述第一加热器与上述第二加热器之间彼此交叉。此外，上述沉积源还可包括至少一个第二防止变形部件，其中上述至少一个第二防止变形部件在上述坩埚、上述第一加热器、上述第二加热器以及上述第一防止变形部件之间布置成止动件，并且与上述第一防止变形部件结合。上述第二防止变形部件包括布置在上述坩埚、上述第一加热器以及上述第一防止变形部件之间的第一支承部、以及以上述坩埚为中心与上述第一支承部相隔开并且布置在上述坩埚、上述第二加热器以及上述第一防止变形部件之间的第二支承部。上述第一支承部可包括布置在上述第一防止变形部件的上方与上述坩埚的底部之间的第一部分以及布置在上述第一加热器的侧部与上述坩埚的侧部之间的第二部分，上述第二支承部可包括布置在上述第一防止变形部件的上方与上述坩埚的底部之间的第一部分以及布置在上述第二加热器的侧部与上述坩埚的侧部之间的第二部分，并且上述第一支承部的第一部分和第二部分以及上述第二支承部的第一部分和第二部分可提供用于安装上述坩埚的安装空间。上述第一支承部和上述第二支承部分别可具有沿上述第一方向延伸的形态，并且上述第二防止变形部件还可以包括第三支承部，其中上述第三支承部配置成在沿上述第一方向布置有上述第一防止变形部件的部分处连接上述第一支承部与上述第二支承部。上述第二防止变形部件可在上述第一加热器与上述第二加热器之间布置成一个连续的止动件，并且具有沿上述第一方向延伸的形态。上述第二防止变形部件可布置成与上述坩埚的底部接触。上述坩埚可包括收纳上述沉积物质的内部坩埚和包裹上述内部坩埚的外侧以支承上述内部坩埚的外部坩埚。用于实现上述目的的、根据本专利技术又一实施例的沉积源包括：配置成收纳沉积物质并且沿着第一方向延伸的线型坩埚；在与上述第一方向交叉的第二方向上布置于上述线型坩埚的外侧并且以上述线型坩埚为中心彼此相隔开且沿着上述第一方向延伸的第一加热板和第二加热板；以及在上述线型坩埚的下方以连续的形态布置于上述第一加热板与上述第二加热板之间并且与上述第一加热板和上述第二加热板结合的桥接板。上述桥接板可设置为多个，并且上述多个桥接板可布置成沿上述第一方向彼此相隔开。上述桥接板可布置成与上述坩埚的底部相隔开。此外，上述沉积源还可包括布置在上述线型坩埚、上述第一加热板、上述第二加热板以及上述桥接板之间的止动件。上述止动件包括布置在上述坩埚、上述第一加热板以及上述桥接板之间的第一支承部、以及以上述坩埚为中心在上述第二方向上与上述第一支承部相隔开并且布置在上述坩埚、上述第二加热板以及上述桥接板之间的第二支承部。上述止动件可布置成与上述坩埚的底部接触。其它实施例的具体事项包含在具体实施方式以及附图中。根据本专利技术实施例，至少具有如下效果。通过根据本专利技术一实施例的沉积源，能够减少加热器在加热坩埚时因高温热而变形并发生弯曲、扭曲或与其它部件接触的情况，其结果能够减少加热器发生损伤或破损的情况。根据本专利技术的效果不限于以上例示的内容，并且更加多样的效果包含在本说明书中。附图说明图1为根据本专利技术一实施例的沉积源的立体图。图2为沿图1的I-I'线取得的剖视图。图3为加热器、第一防止变形部件以及第二防止变形部件的平面图。图4为图3的第一防止变形部件的平面图。图5为图3的第二防止变形部件的平面图。图6为沿图3的A-A'线的剖视图。图7至图11为示出第一防止变形部件的多种实施例的平面图及剖视图。图12为根据本专利技术另一实施例的沉积源中与图3相对应的部分的平面图。图13为图12的第二防止变形部件的平面图。图14为沿图12的C-C'线取得的剖视图。图15为根据本专利技术又一实施例的沉积源中与图3相对应的部分的平面图。图16为图15的第二防止变形部件的平面图。图17为沿图15的D-D'线取得的剖视图。图18为概略地示出适用了图1的沉积源的沉积装置的剖视图。图19为示出利用图18的沉积装置制造的发光显示装置的剖视图。具体实施方式参照下文中结合附图详细描述的实施例，可以明确本专利技术的优点和特征以及实现所述优点和特征的方法。但是，本专利技术不限定于以下公开的实施例，而是可以实现为彼此不同的多种形态，这些实施例只是为了使本专利技术的公开完整，并且为了将专利技术的范围完整地告知给本专利技术所属
的技术人员而提供的，并且本专利技术仅由权利要求书的范围来定义。当元件(element)或层被称为在其它元件或层“上(on)”时，该元件或层直接位于其它元件或层上、或者在中间插入有其它层或其它元件。在整篇说明书中相同附图标记指示相同的构成要素。应明确，虽然第一、第二等用于叙述多种构成要素，但这些构成要素并不受这些措辞限制。这些措辞仅用于将一个构成要素与其它构成要素区分开。因此，应明确，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种沉积源，包括坩埚，收纳沉积物质；第一加热器和第二加热器，布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开；以及第一防止变形部件，在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间，并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合。

【技术特征摘要】
2015.08.03 KR 10-2015-01094471.一种沉积源，包括坩埚，收纳沉积物质；第一加热器和第二加热器，布置在所述坩埚的外侧并且以所述坩埚为中心彼此相隔开；以及第一防止变形部件，在所述坩埚的下方以连续的形态布置于所述第一加热器与所述第二加热器之间，并且与所述第一加热器和所述第二加热器结合。2.根据权利要求1所述的沉积源，其中，所述坩埚、所述第一加热器以及所述第二加热器分别具有沿着与所述第一加热器和所述第二加热器的布置方向交叉的第一方向延伸的形态，以及所述第一防止变形部件设置为多个，并且所述多个第一防止变形部件由布置成沿着所述第一方向相隔开的桥接板构成。3.根据权利要求1所述的沉积源，其中，所述第一防止变形部件布置成与所述坩埚的底部相隔开。4.根据权利要求1所述的沉积源，其中，所述第一加热器和所述第二加热器布置成与所述坩埚的侧部相隔开。5.根据权利要求1所述的沉积源，其中，所述第一防止变形部件具有与所述第一加热器和所...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛在完，姜有珍，金东昱，尹日燮，车龙俊，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR