一种蒸镀对位系统及蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种蒸镀对位系统及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，为解决待蒸镀基板因静电被吸附在冷却板上而导致蒸镀装置的工作受到不良影响的问题。所述蒸镀对位系统，包括基板载具、掩膜版载具和冷却板，冷却板内设置有分离件；对待蒸镀基板进行蒸镀时，待蒸镀基板安装在基板载具上，掩膜版安装在掩膜版载具上，待蒸镀基板位于冷却板的下方，掩膜版位于待蒸镀基板的下方；分离件可与基板载具一起相对冷却板向下移动，使待蒸镀基板与冷却板分离。分离件与基板载具一起向下移动，分离件向待蒸镀基板施加向下的力，使待蒸镀基板与冷却板分离，防止蒸镀装置的工作受到不良影响。本实用新型专利技术提供的蒸镀对位系统应用于蒸镀装置中。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种蒸镀对位系统及蒸镀装置。
技术介绍
真空蒸发镀膜法(简称真空蒸镀法)是在真空蒸镀室中通过蒸镀源对蒸镀材料进行加热，使蒸镀材料的原子或分子从其表面气化逸出形成蒸汽流，穿过掩膜版上的图案，最后在待蒸镀基板上凝结，形成图形化的固态薄膜的方法。真空蒸镀法已经广泛应用于显示器件的制备，例如制备OLED(OrganicLight-EmittingDiode，有机发光二极管)显示面板的阴极、阳极以及位于阴极和阳极之间的发光材料层。现有的蒸镀装置通常包括蒸镀对位系统，蒸镀对位系统包括掩膜版载具、基板载具和冷却板，当对待蒸镀基板进行蒸镀时，待蒸镀基板安装在基板载具上，掩膜版安装在掩膜版载具上，掩膜版、待蒸镀基板和冷却板由下至上依次层叠设置。在安装待蒸镀基板和掩膜版时，为了提高蒸镀在待蒸镀基板上的图案的位置精度，通常需要对待蒸镀基板与掩膜版进行对位，以使待蒸镀基板上需要形成图案的区域与掩膜版上的图案正对，进而提高蒸镀在待蒸镀基板上的图案的位置精度。然而，对待蒸镀基板和掩膜版进行对位时，待蒸镀基板可能需要相对冷却板移动，待蒸镀基板与冷却板之间容易产生静电，造成待蒸镀基本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀对位系统，包括基板载具、掩膜版载具和冷却板，其特征在于，所述冷却板内设置有分离件；对待蒸镀基板进行蒸镀时，所述待蒸镀基板安装在所述基板载具上，掩膜版安装在所述掩膜版载具上，所述待蒸镀基板位于所述冷却板的下方，所述掩膜版位于所述待蒸镀基板的下方；所述分离件可与所述基板载具一起相对所述冷却板向下移动，使所述待蒸镀基板与所述冷却板分离。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀对位系统，包括基板载具、掩膜版载具和冷却板，其特征在于，所述冷却板内设置有分离件；对待蒸镀基板进行蒸镀时，所述待蒸镀基板安装在所述基板载具上，掩膜版安装在所述掩膜版载具上，所述待蒸镀基板位于所述冷却板的下方，所述掩膜版位于所述待蒸镀基板的下方；所述分离件可与所述基板载具一起相对所述冷却板向下移动，使所述待蒸镀基板与所述冷却板分离。2.根据权利要求1所述的蒸镀对位系统，其特征在于，所述分离件的下表面与所述冷却板的下表面平齐。3.根据权利要求1所述的蒸镀对位系统，其特征在于，所述分离件为环状分离件，所述冷却板中设置有开口位于所述冷却板的下表面的环状容置槽，所述环状分离件设置在所述环状容置槽内。4.根据权利要求3所述的蒸镀对位系统，其特征在于，所述环状容置槽环绕所述冷却板的中部设置。5.根据权利要求1所述的蒸镀对位系统，其特征在于，所述分离件为柱状分离件，所述冷却板中设置有安装孔，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：田川，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：新型
国别省市：北京;11