喷嘴制造技术

本实用新型专利技术公开了一种喷嘴，该喷嘴包括喷射件和温度维持部件，温度维持部件设置在喷射件的外侧或内侧，温度维持部件用于将喷射件向外辐射的热量反射回喷射件，以提高喷射件的喷射部位的温度，或者通过热传导的方式将喷射件底部的热量传导到喷射件的喷射部位，以提高喷射件的喷射部位的温度，从而避免了喷射物冷却粘贴在喷射件的喷射部位，即喷头位置而造成堵塞和因喷射件阻塞造成的线性蒸发源利用率下降，从而提高了喷嘴的工作效率和利用该喷嘴制作产品的制作效率，同时由于喷嘴受热均匀，因此提高了蒸镀形成的蒸镀膜厚度的均一性，从而保证了器件的性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及有机电致发光器件制备领域，更具体涉及一种喷嘴。
技术介绍
有机电致显示(OrganicLight-EmittingDiode，OLED)器件由于同时具备自发光、不需背光源、对比度高、厚度薄、视角广、反应速度快、可用于挠曲性面板、使用温度范围广、构造及制作过程较简单等优异的特性，被认为是下一代的平面显示器的新兴应用技术。OLED器件在制作过程中，线性蒸发源将有机材料进行加热，材料分子在受热后通过内板(Innerplate)均一化后，经过线性蒸发源的喷嘴(Nozzle)将其蒸镀到低温多晶硅(LTPS)基板上。传统技术中由于线性蒸发源的坩埚加热的温度均匀性不好，坩埚顶部温度高于底部温度，而坩埚顶部的加热丝在加热过程中加热喷嘴的底部位置，坩埚底部的加热丝在加热过程中加热喷嘴的顶部位置，喷嘴顶部又靠近冷却板，这样导致喷嘴顶部的温度相对低，图1A、图1B分别为线性蒸发源的喷嘴的侧视图和俯视图。温度过低会导致材料经过喷嘴顶部时发生材料粘贴在喷嘴内壁上的现象，时间长就会导致喷嘴堵塞。目前由于喷嘴堵塞造成的线性蒸发源故障的频率在10％～15％左右。喷嘴堵塞后导致坩埚内部压强发生变化，蒸镀形成的有机材料薄膜厚度均一性变差，影响器件性能。另外，目前线性蒸发源为10个有机蒸镀腔室，共19个线性坩埚，每个坩埚上面至少有9个喷嘴，并且是在在线工作Inline状态下所有腔室一起蒸镀，如有一个坩埚上的一个喷嘴发生堵塞，解决喷嘴阻塞(NozzleClogging)问题时需要同时停止其他腔室中的喷嘴，其他腔室中喷嘴的利用率严重下，造成资源的浪费。并且处理喷嘴堵塞需要降温开腔后处理再升温抽成真空，目前对于该问题的处理至少需要12小时，严重影响了工作效率和产品的制作效率。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是如何提高蒸镀喷嘴喷头部位的温度。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种喷嘴，所述喷嘴包括喷射件以及温度维持部件，所述温度维持部件设置在所述喷射件的外侧或内侧，所述温度维持部件用于将所述喷射件向外辐射的热量反射回所述喷射件，以提高所述喷射件的喷射部位的温度，或者通过热传导的方式将喷射件底部的热量传导到所述喷射件的喷射部位，以提高所述喷射件的喷射部位的温度。优选地，所述温度维持部件设置在所述喷射件的外侧，与所述喷射件不接触，并且所述温度维持部件为筒状结构。优选地，所述温度维持部件与所述喷射件同轴。优选地，所述温度维持部件与所述喷射件等高。优选地，所述温度维持部件包括多个外径不同的筒状结构。优选地，所述温度维持部件的每个所述筒状结构的厚度均为0.1～1mm。优选地，所述喷射件为不锈钢喷射件。优选地，所述喷射件为筒状结构，并且所述喷射件的内壁设置有导热膜。优选地，所述喷射件为铜喷射件。优选地，温度维持部件为不锈钢温度维持部件。优选地，所述喷射件为筒状结构，所述温度维持部件为设置在所述喷射件的内壁的金属薄膜。优选地，所述喷射件的内壁设置有铜薄膜。优选地，所述铜薄膜的厚度为0.5～5mm。本技术提供了一种喷嘴，该喷嘴包括喷射件和温度维持部件，温度维持部件设置在喷射件的外侧或内侧，温度维持部件用于将喷射件向外辐射的热量反射回喷射件，以提高喷射件的喷射部位的温度，或者通过热传导的方式将喷射件底部的热量传导到喷射件的喷射部位，以提高喷射件的喷射部位的温度，从而避免了喷射物冷却粘贴在喷射件的喷射部位(即喷头位置)而造成堵塞和因喷射件(或喷嘴)，阻塞造成的线性蒸发源利用率下降，从提高了工作效率和产品的制作效率，同时由于喷嘴的受热均匀，因此提高了蒸镀形成的蒸镀膜厚度的均一性，从而保证了器件的性能。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1A是现有技术中线性蒸发源喷嘴的侧视图；图1B是现有技术中线性蒸发源喷嘴的俯视图；图2是本技术的实施例一的喷嘴的侧视图；图3是本技术的实施例三的喷嘴的侧视图；图4为本技术的实施例四的喷嘴的俯视图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本技术作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。一种喷嘴，所述喷嘴包括喷射件以及温度维持部件，所述温度维持部件设置在所述喷射件的外侧或内侧，所述温度维持部件用于将所述喷射件向外辐射的热量反射回所述喷射件，以提高所述喷射件的喷射部位的温度，或者通过热传导的方式将喷射件底部的热量传导到所述喷射件的喷射部位，以提高所述喷射件的喷射部位的温度，从而避免了喷射物冷却粘贴在喷射件的喷射部位(即喷头位置)而造成堵塞和因喷射件(或喷嘴)阻塞造成的线性蒸发源利用率下降，从而提高了工作效率和产品的制作效率，同时由于喷嘴受热均匀，提高了蒸镀形成的蒸镀膜厚度的均一性，从而保证了器件的性能。进一步地，温度维持部件设置在所述喷射件的外侧，与所述喷射件不接触，并且所述温度维持部件为筒状结构，此种结构的喷嘴能够利用温度维持部件将所述喷射件向外辐射的热量反射回所述喷射件，以提高所述喷射件的喷射部位的温度。另外，将所述喷射件设计为筒状结构。筒状的结构使喷射件对其内部材料的压力均一，从而使喷射出去的材料的均更加均匀，从而进一步提高了形成的蒸镀膜的厚度发热均一性。进一步地，为保证温度维持部件反射回喷射件的热量更加均匀，将所述温度维持部件设计为与所述喷射件同轴，从而实现均匀的提高喷射件喷射部位的温度。为进一步提高温度维持部件反射回喷射件的热量均匀性，将所述反射件与所述喷射件等高设置。例如可将温度维持部件和喷射件设置为等高、同轴的圆筒状结构。优选地，所述温度维持部件为不锈钢温度维持部件。为了进一步地提高喷射件喷射部位的温度，避免喷射物粘贴，将所述温度维持部件设计为包括多个外径不同并且同轴的筒状结构。优选地，每个所述筒状结构的厚度可以为0.1～1mm。外径不同的多个筒状结构可以将透过内层的筒状结构的热能被外层筒状结构反射回喷射件，从而达到进一步提高喷射件喷射部位的温度的目的。进一步地，所述喷射件为不锈钢喷射件，为了提高喷射件的热均匀性，在喷射件的内壁设置有导热性能好的导热膜，例如金属薄膜，优选地，喷射件的内壁设置有铜薄膜，从而有效提高喷射件内部的温度以及喷射件不同部位的热均匀性。其中所述铜薄膜的厚度可以为0.5～5mm。另外，所述喷射件可以为铜喷射件，进一步地提高了喷射件的导热性，从而实现将喷射件底部的热量很好的传导到喷射件的喷射部，达到提高喷射件喷射部位温度的目的。进一步地，所述温度维持部件为设置在所述喷射件的内壁的金属薄膜，其中喷射件为筒状结构，优选地，在所述喷射件的内壁设置铜薄膜，通过利用金属薄膜的良好的热传导性将将喷射件底部的热量很好的传导到喷射件的喷射部，提高喷射件喷射部位温度。下面通过几个具体的实施例对上述喷嘴进行详细介绍。实施例一：如图2所示，本实施例的喷嘴包括喷射件1以及设置在所述喷射件外部的温度维持部件2，所述温度维持部件2将所述喷射件1向外辐射的热量反射回所述喷射件1，从而提高了所述喷射件1的喷射部位的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷嘴，其特征在于，所述喷嘴包括喷射件以及温度维持部件；所述温度维持部件设置在所述喷射件的外侧或内侧；所述温度维持部件用于将所述喷射件向外辐射的热量反射回所述喷射件，以提高所述喷射件的喷射部位的温度；或者，所述温度维持部件用于通过热传导的方式将喷射件底部的热量传导到所述喷射件的喷射部位，以提高所述喷射件的喷射部位的温度。

【技术特征摘要】
1.一种喷嘴，其特征在于，所述喷嘴包括喷射件以及温度维持部件；所述温度维持部件设置在所述喷射件的外侧或内侧；所述温度维持部件用于将所述喷射件向外辐射的热量反射回所述喷射件，以提高所述喷射件的喷射部位的温度；或者，所述温度维持部件用于通过热传导的方式将喷射件底部的热量传导到所述喷射件的喷射部位，以提高所述喷射件的喷射部位的温度。2.根据权利要求1所述的喷嘴，其特征在于，所述温度维持部件设置在所述喷射件的外侧，与所述喷射件不接触，并且所述温度维持部件为筒状结构。3.根据权利要求2所述的喷嘴，其特征在于，所述温度维持部件与所述喷射件同轴。4.根据权利要求1至3任一项所述的喷嘴，其特征在于，所述温度维持部件与所述喷射件等高。5.根据权利要求4所述的喷嘴，其特征在于，所述温度维持部件包括多个外径不同...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡海兵，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15