本实用新型专利技术涉及一种带有沉降装置的金属化薄膜真空镀膜机，包括卷绕室和镀膜室，镀膜室的外部设置有沉降装置，沉降装置包括箱体，箱体中设置有隔板，箱体的内腔被隔板分隔成进风室和出风室，进风室和出风室之间设置有主沉降室，进风室的中间设置有拦尘装置，拦尘装置包括多个倒V形挡尘板，进风室的下方设置有副沉降室。该金属化薄膜真空镀膜机利用沉降装置将气流中的金属粉尘过滤、沉降，不影响真空泵正常作业，金属粉尘被沉降装置集中清理，清理方便快捷，实施效果好。气流中的金属粉尘被拦尘装置和过滤网拦截、过滤、沉降，过滤效率高，过滤效果好，气流的阻力小，真空泵的能耗低，实用性强。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种带有沉降装置的金属化薄膜真空镀膜机，属于电容器
技术介绍
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要技术是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜机中，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点-岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。在金属化薄膜用的真空镀膜机中，镀膜室中使用铝丝或锡丝在蒸发坩埚中蒸镀，镀膜室中残留部分未蒸镀到薄膜上的铝蒸气或锡蒸气，该部分铝蒸气或锡蒸气预冷形成金属粉尘，金属粉尘在负压的作用下被真空泵抽走，该金属粉尘不但影响真空泵正常作业，严重时甚至会损坏真空泵，而且金属粉尘不易清理。
技术实现思路
本技术针对现有技术存在的不足，提供了一种带有沉降装置的金属化薄膜真空镀膜机，具体技术方案如下：一种带有沉降装置的金属化薄膜真空镀膜机，包括卷绕室和镀膜室，所述镀膜室中设置有送丝机构和蒸发坩埚，镀膜室的外侧设置有真空接管，真空接管与镀膜室连通，所述镀膜室的外部设置有沉降装置，沉降装置包括箱体，箱体中设置有隔板，箱体的内腔被隔板分隔成进风室和出风室，进风室和出风室之间设置有主沉降室，主沉降室设置在隔板的下方，进风室和出风室之间通过主沉降室连通，箱体的侧壁上设置有进风口和出风口，进风口与进风室连通，进风口与真空接管连通，出风口与出风室连通，主沉降室的下方设置有主排尘口，主排尘口与主沉降室连通；所述进风室的中间设置有拦尘装置，拦尘装置与进风室的内壁固定连接，所述拦尘装置包括多个倒V形挡尘板，相邻的挡尘板之间设置有支撑柱，相邻的挡尘板之间通过支撑柱固定连接，所述挡尘板包括第一斜板和第二斜板，第二斜板与隔板之间设置有间隙；所述进风室的下方设置有副沉降室，副沉降室设置在拦尘装置和进风口之间，副沉降室与进风室连通，副沉降室的下方设置有副排尘口，副排尘口与副沉降室连通。作为上述技术方案的改进，所述出风室中设置有过滤网和振动棒，过滤网的边沿与出风室的内壁固定连接，振动棒的棒体与过滤网的中部固定连接，振动棒的尾部与出风室的内壁固定连接。作为上述技术方案的改进，所述第二斜板与隔板之间的夹角为45°,第一斜板与第二斜板相互垂直。本技术所述带有沉降装置的金属化薄膜真空镀膜机，镀膜室中被抽出的气流利用沉降装置过滤、沉降其中的金属粉尘，经过净化的气流再被真空泵抽入，不但影响真空泵正常作业，而且金属粉尘被沉降装置集中清理，清理方便快捷，实施效果好。气流中的金属粉尘被拦尘装置和过滤网拦截、过滤、沉降，过滤效率高，过滤效果好，气流的阻力小，真空泵的能耗低，实用性强。附图说明图1为本技术所述带有沉降装置的金属化薄膜真空镀膜机结构示意图；图2为本技术所述沉降装置结构示意图。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图1~2所示，所述带有沉降装置的金属化薄膜真空镀膜机，包括卷绕室1和镀膜室2，所述镀膜室2中设置有送丝机构21和蒸发坩埚22，镀膜室2的外侧设置有真空接管23，真空接管23与镀膜室2连通，所述镀膜室2的外部设置有沉降装置3，沉降装置3包括箱体31，箱体31中设置有隔板32，箱体31的内腔被隔板32分隔成进风室33和出风室34，进风室33和出风室34之间设置有主沉降室35，主沉降室35设置在隔板32的下方，进风室33和出风室34之间通过主沉降室35连通，箱体31的侧壁上设置有进风口311和出风口312，进风口311与进风室33连通，进风口311与真空接管23连通，出风口312与出风室34连通，主沉降室35的下方设置有主排尘口313，主排尘口313与主沉降室35连通；所述进风室33的中间设置有拦尘装置，拦尘装置与进风室33的内壁固定连接，所述拦尘装置包括多个倒V形挡尘板36，相邻的挡尘板36之间设置有支撑柱37，相邻的挡尘板36之间通过支撑柱37固定连接，所述挡尘板36包括第一斜板361和第二斜板362，第二斜板362与隔板32之间设置有间隙；所述进风室33的下方设置有副沉降室38，副沉降室38设置在拦尘装置和进风口311之间，副沉降室38与进风室33连通，副沉降室38的下方设置有副排尘口314，副排尘口314与副沉降室38连通。进一步地，所述出风室34中设置有过滤网39和振动棒310，过滤网39的边沿与出风室34的内壁固定连接，振动棒310的棒体与过滤网39的中部固定连接，振动棒310的尾部与出风室34的内壁固定连接。进一步地，所述第二斜板362与隔板32之间的夹角为45°,第一斜板361与第二斜板362相互垂直。出风口312与真空泵相连，保证镀膜室2的气压为5×10-3Pa，送丝机构21持续不断的将金属丝211送入蒸发坩埚22中，金属丝211在蒸发坩埚22中形成金属蒸气，在卷绕室1中冷却辊的冷却下，金属蒸气在冷却辊下方的薄膜上进行蒸镀作业。金属蒸气在镀膜室2中预冷形成金属粉尘，金属粉尘随着镀膜室2中的气流在沉降装置3中经过沉降后被真空泵抽入，不但影响真空泵正常作业，而且金属粉尘被沉降装置3集中清理，实施效果好。沉降装置3的工作过程如下：含有金属粉尘的气流从进风口311中进入进风室33中，含有金属粉尘的气流经过拦尘装置，由于拦尘装置中的倒V形挡尘板36的作业，气流速度骤减，金属粉尘与挡尘板36的碰撞以及气流方向多次改变等原因，促使不同尺寸、不同密度的金属粉尘依次从气流中沉降落入主沉降室35、副沉降室38中，然后排出。第二斜板362与隔板32之间的夹角为45°,第一斜板361与第二斜板362相互垂直，挡尘板36被气流中的金属粉尘的撞击面积达到最大，而且还便于金属粉尘向下落至主沉降室35、副沉降室38中，促进气流中的金属粉尘被沉降。过滤网39能进一步过滤气流中的金属粉尘，其中，振动棒310可选用工程建设中使用的振动棒，在振动棒310的作用下，过滤网39的中部被不断的上下振动，不但能避免金属粉尘在过滤网39上累积，当停机时，可采用提高振动棒310的振动频率，将过滤网39上聚集的金属粉尘抖落下来，不需要开箱即可清理，清理操作方便。由于振动棒310的作用，使得过滤网39只需要一层即可满足过滤需求，实施效果好；从镀膜室2中抽出的气流中的金属粉尘被拦尘装置和过滤网39拦截、沉降，气流的流速虽然降低，但是气流在拦尘装置和过滤网39中的阻力较小，适合配套真空泵使用，降低真空泵的能耗。以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种带有沉降装置的金属化薄膜真空镀膜机，包括卷绕室（1）和镀膜室（2），所述镀膜室（2）中设置有送丝机构（21）和蒸发坩埚（22），镀膜室（2）的外侧设置有真空接管（23），真空接管（23）与镀膜室（2）连通，其特征在于：所述镀膜室（2）的外部设置有沉降装置（3），沉降装置（3）包括箱体（31），箱体（31）中设置有隔板（32），箱体（31）的内腔被隔板（32）分隔成进风室（33）和出风室（34），进风室（33）和出风室（34）之间设置有主沉降室（35），主沉降室（35）设置在隔板（32）的下方，进风室（33）和出风室（34）之间通过主沉降室（35）连通，箱体（31）的侧壁上设置有进风口（311）和出风口（312），进风口（311）与进风室（33）连通，进风口（311）与真空接管（23）连通，出风口（312）与出风室（34）连通，主沉降室（35）的下方设置有主排尘口（313），主排尘口（313）与主沉降室（35）连通；所述进风室（33）的中间设置有拦尘装置，拦尘装置与进风室（33）的内壁固定连接，所述拦尘装置包括多个倒V形挡尘板（36），相邻的挡尘板（36）之间设置有支撑柱（37），相邻的挡尘板（36）之间通过支撑柱（37）固定连接，所述挡尘板（36）包括第一斜板（361）和第二斜板（362），第二斜板（362）与隔板（32）之间设置有间隙；所述进风室（33）的下方设置有副沉降室（38），副沉降室（38）设置在拦尘装置和进风口（311）之间，副沉降室（38）与进风室（33）连通，副沉降室（38）的下方设置有副排尘口（314），副排尘口（314）与副沉降室（38）连通。...
【技术特征摘要】
1.一种带有沉降装置的金属化薄膜真空镀膜机，包括卷绕室（1）和镀膜室（2），所述镀膜室（2）中设置有送丝机构（21）和蒸发坩埚（22），镀膜室（2）的外侧设置有真空接管（23），真空接管（23）与镀膜室（2）连通，其特征在于：所述镀膜室（2）的外部设置有沉降装置（3），沉降装置（3）包括箱体（31），箱体（31）中设置有隔板（32），箱体（31）的内腔被隔板（32）分隔成进风室（33）和出风室（34），进风室（33）和出风室（34）之间设置有主沉降室（35），主沉降室（35）设置在隔板（32）的下方，进风室（33）和出风室（34）之间通过主沉降室（35）连通，箱体（31）的侧壁上设置有进风口（311）和出风口（312），进风口（311）与进风室（33）连通，进风口（311）与真空接管（23）连通，出风口（312）与出风室（34）连通，主沉降室（35）的下方设置有主排尘口（313），主排尘口（313）与主沉降室（35）连通；所述进风室（33）的中间设置有拦尘装置，拦尘装置与进风室（33）的内壁固定连接，所述拦尘装置包括多个...
【专利技术属性】
技术研发人员：高文明，
申请(专利权)人：铜陵市铜创电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。