一种蒸镀装置制造方法及图纸

本发明专利技术揭示一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔室；蒸镀源，设置于蒸镀腔室的下方；磁板，呈多边形且设置于所述蒸镀源的上方，所述磁板包括：多块在同一平面内相互平行设置的磁石，所述多块磁石的排列方向相对所述磁板的每一条周边倾斜。所述蒸镀装置解决蒸镀过程中由于掩膜板与基板贴合不紧密而导致成品出现亮度不均匀或混色的问题，同时无需改变现有的制造工艺。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在制造有机发光二极体(OrganicLight-EmittingDiode，简称OLED)时使用的蒸镀装置。
技术介绍
有机发光二极体是主要由有机材料涂层和基板(例如玻璃基板)构成，当有电流通过时，该有机材料就会发光。目前，由于OLED(有机发光二极体)显示屏幕可视角度大，并且能够显著节省电能，使其在平板显示器领域得到了广泛的应用；其中，OLED的蒸镀技术是OLED规模生产的核心技术。在OLED的蒸镀过程中通过使用掩膜板的开口来定义形成RGB像素点，因此，掩膜板与基板贴合的紧密程度直接影响到像素点的位置精度。通常为了使掩膜板与基板贴合紧密，会使用磁板施加的磁力来实现，磁板设置于基板的上方。请参见图1，其示出了现有技术的一种蒸镀装置的磁板与面板单元的结构示意图。通常基板分布多个面板单元。图1中以基板中的一个面板单元为例进行说明。如图1所示，基板的面板单元31’和磁板5’均为矩形。面板单元31’包括两条第一侧边311’和两条第二侧边312’，其中，第一侧边311’的长度大于第二侧边312’的长度。磁板5’包括多块平行设置的磁石51’。多块磁石51’之间为N极、S极交错排列本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔室；蒸镀源，设置于蒸镀腔室的下方；磁板，呈多边形且设置于所述蒸镀源的上方，所述磁板包括：多块在同一平面内相互平行设置的磁石，所述多块磁石的排列方向相对所述磁板的的每一条周边倾斜。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔室；蒸镀源，设置于蒸镀腔室的下方；磁板，呈多边形且设置于所述蒸镀源的上方，所述磁板包括：多块在同一平面内相互平行设置的磁石，所述多块磁石的排列方向相对所述磁板的的每一条周边倾斜。2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述磁板为四边形。3.根据权利要求2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述磁板为矩形。4.根据权利要求3所述的蒸镀装置，其特征在于，所述磁石的排列方向与每个所述磁板周边之间的倾斜角度为30～60度。5.根据权利要求1至4中...

【专利技术属性】
技术研发人员：翁靖博，姜亮，何信儒，孙钰欣，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31