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本发明揭示一种蒸镀装置，所述蒸镀装置包括：蒸镀腔室；蒸镀源，设置于蒸镀腔室的下方；磁板，呈多边形且设置于所述蒸镀源的上方，所述磁板包括：多块在同一平面内相互平行设置的磁石，所述多块磁石的排列方向相对所述磁板的每一条周边倾斜。所述蒸镀装置解决...
该专利属于上海和辉光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海和辉光电有限公司授权不得商用。

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