修整器进气系统以及抛光机技术方案

本发明专利技术公开了一种修整器进气系统以及抛光机，修整器进气系统包括：真空源；真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；压缩空气源；压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路、所述压缩空气管路和大气相连。通过合理控制修整器和真空源、压缩空气源和大气源之间的通断状态，可以改变修整器内的加载腔室的状态，而且在初始状态时，大气源可以向加载腔室内供入大气，从而可以避免加载腔室长时间收缩导致的破损和寿命减少，以及可以避免消耗能源。

Dresser air intake system and polishing machine

The invention discloses a trimmer intake system and polishing machine, including dresser intake system: vacuum source; vacuum pipeline, the vacuum pipe and the vacuum source is connected; compressed air; compressed air pipeline, the compressed air pipeline and the compressed air source is connected; the dresser. Dresser is formed with loading chamber, compressed air pipe and the air of the loading chamber selectively with the vacuum pipe, connected. By controlling the dresser and a vacuum source, compressed air source and air source on-off state, can change the loading chamber dresser within the state, and in the initial state, the air source can be loaded into the chamber and into the atmosphere, so as to avoid loading chamber long time contraction leads to the damage and loss of life well, can avoid energy consumption.

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及抛光设备
，尤其涉及一种修整器进气系统以及具有该修整器进气系统的抛光机。
技术介绍
在化学机械抛光中，随着抛光过程的进行，抛光垫的物理及化学性能会发生变化，导致抛光速率和抛光质量降低。因此，在抛光过程中必须对抛光垫进行适当的修整，修整器可以对抛光垫进行修整，这样可以改善抛光效果，提高抛光垫的使用寿命，降低抛光成本。但是，修整器在初始状态下，利用负压将修整头与抛光垫脱离接触，此时修整器中加载腔室处于收缩状态，修整器中加载腔室柔性件长时间处于受力状态会减少使用寿命；并且需要持续地提供负压，故在初始状态下仍需要消耗能源。而且，修整器在检测检修状态下，进行气密性检测通常需要人工切断进口气管阻断通气，实现保压功能，不便于操作。
技术实现思路
本专利技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种修整器进气系统，该修整器进气系统可以在加载腔室处于初始状态时供入大气，从而可以避免加载腔室长时间收缩导致的寿命减少，以及可以避免消耗能源。本专利技术进一步地提出了一种抛光机。根据本专利技术的修整器进气系统，包括：真空源；真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；压缩空气源；压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路、所述压缩空气管路和大气相连。根据本专利技术的修整器进气系统，通过合理控制修整器和真空源、压缩空气源和大气源之间的通断状态，可以改变修整器内的加载腔室的状态，而且在初始状态时，大气源可以向加载腔室内供入大气，从而可以避免加载腔室的破损和寿命减少，以及可以避免消耗能源。另外，根据本专利技术的修整器进气系统还可以具有以下附加技术特征：在本专利技术的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀选择性地将所述总管路与所述真空管路和所述压缩空气管路相连，所述第二控制阀设置在所述总管路上且与所述第一控制阀串联并选择性地将所述总管路与所述第一控制阀和所述大气相连，所述第三控制阀选择性地通断所述总管路。在本专利技术的一些示例中，所述第一控制阀和所述第二控制阀为两位三通阀，所述第三控制阀为两通阀。在本专利技术的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀选择性地将所述总管路与所述真空管路和所述压缩空气管路相连，所述第二控制阀与所述总管路相连且与所述第一控制阀并联并选择性地通断所述总管路和所述大气，所述第三控制阀选择性地通断所述总管路。在本专利技术的一些示例中，所述第一控制阀为两位三通阀且所述第二控制阀和所述第三控制阀分别为两通阀。在本专利技术的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述第一控制阀设置在所述真空管路上并选择性地通断所述真空管路，所述第二控制阀设置在所述压缩空气管路并选择性地通断所述压缩空气管路，所述第三控制阀与所述总管路相连且与所述第一控制阀和所述第二控制阀并联并选择性地通断所述大气和所述总管路。在本专利技术的一些示例中，所述第一控制阀、所述第二控制阀和所述第三控制阀分别为两通阀。在本专利技术的一些示例中，所述真空管路上设置有减压阀和过滤器，所述减压阀靠近所述真空源，所述压缩空气管路上设置有减压阀。在本专利技术的一些示例中，所述修整器进气系统还包括：压力传感器，所述压力传感器用于检测所述加载腔室的压力。根据本专利技术抛光机，包括上述的修整器进气系统。所述抛光机与所述修整器进气系统的有益效果相同，在此不再详述。附图说明图1是根据本专利技术第一实施例的修整器进气系统的结构示意图；图2是根据本专利技术第二实施例的修整器进气系统的结构示意图；图3是根据本专利技术第三实施例的修整器进气系统的结构示意图。附图标记：修整器进气系统100；真空管路10；真空管路的减压阀11；过滤器12；压缩空气管路20；压缩空气管路的减压阀21；修整器30；修整头31；加载腔室32；第一控制阀40；第二控制阀50；第三控制阀60；总管路70；压力传感器80。具体实施方式下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。下面参考附图详细描述根据本专利技术实施例的修整器进气系统100，该修整器进气系统100可以应用在抛光机上。根据本专利技术实施例的修整器进气系统100可以包括：真空源、真空管路10、压缩空气源、压缩空气管路20、修整器30、压力传感器80、总管路70、第一控制阀40、第二控制阀50和第三控制阀60。如图1-图3所示，真空管路10与真空源相连，压缩空气管路20与压缩空气源相连，其中，真空源可以为容纳真空的容器或者产生真空的设备，压缩空气源可以为产生压缩空气的设备或者容纳压缩空气的容器。优选地，如1图-图3所示，真空管路10上还可以设置有减压阀11和过滤器12，减压阀11靠近真空源设置。也就是说，从真空源进入真空管路10内的真空会先经过减压阀11的减压之后流动至过滤器12，过滤器12再过滤吸入的气体。如1图-图3所示，压缩空气管路20上也可以设置有减压阀21。如图1-图3所示，修整器30形成有加载腔室32，加载腔室32选择性地与真空管路10和压缩空气管路20和大气相连，也就是说，真空源可以通过真空管路10向加载腔室32供入真空，压缩空气源可以通过压缩空气管路20向加载腔室32供入压缩空气，大气源可以向加载腔室32供入大气，大气源可以直接为外界大气环境，或者，大气源可以为相应的大气输出设备。对于修整器30与真空管路10、压缩空气管路20和大气源之间的连接结构将在后面的内容中结合多个实施例详细描述。根据本专利技术的第一优选实施例，如图1所示，总管路70连接在第一控制阀40和修整器30之间，第一控制阀40选择性地将总管路70与真空管路10和压缩空气管路20相连，第二控制阀50设置在总管路70上，而且第二控制阀50与第一控制阀40串联，并且第二控制阀50选择性地将总管路70与第一控制阀40和大气相连，第三控制阀60选择性地通断总管路70。需要说明的是，上述的总管路70与第一控制阀40相连指的是，第一控制阀40处于连通状态，真空或者压缩气体进入总管路70，第二控制阀50处于连通总管路70和第一控制阀40状态时，真空或者压缩气体可以通过第二控制阀50，如果第三控制阀60处于连通状态，这样真空或者压缩气体可以进入到加载腔室32内。也就是说，真空或者压缩气体在流向加载腔室32时，需要经过第一控制阀40、第二控制阀50和第三控制阀60的控制，如果其中一个处于断开状态，真空或者压缩气体均无法流动至加载腔室32。大气在流向加载腔室32的过程中需要经过第二控制阀50和第三控制阀60，当第二控制阀50处于连通大气和总管路70状态且第三控制阀60处于连通总管路70状态时，大气可以流向加载腔室32。当第二控制阀50和第三控制阀60中的一个处于断开状态时，大气均无法流动至加载腔室32。第三控制阀60控制总管路70自身的通断，当第三控制阀60处于断开状态时，加载腔室32可以进入密闭保压状态本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种修整器进气系统，其特征在于，包括：真空源；真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；压缩空气源；压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路、所述压缩空气管路和大气相连。

【技术特征摘要】
1.一种修整器进气系统，其特征在于，包括：真空源；真空管路，所述真空管路与所述真空源相连；压缩空气源；压缩空气管路，所述压缩空气管路与所述压缩空气源相连；修整器，所述修整器形成有加载腔室，所述加载腔室选择性地与所述真空管路、所述压缩空气管路和大气相连。2.根据权利要求1所述的修整器进气系统，其特征在于，还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀选择性地将所述总管路与所述真空管路和所述压缩空气管路相连，所述第二控制阀设置在所述总管路上且与所述第一控制阀串联并选择性地将所述总管路与所述第一控制阀和所述大气相连，所述第三控制阀选择性地通断所述总管路。3.根据权利要求2所述的修整器进气系统，其特征在于，所述第一控制阀和所述第二控制阀为两位三通阀，所述第三控制阀为两通阀。4.根据权利要求1所述的修整器进气系统，其特征在于，还包括：第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和总管路，所述总管路连接在所述第一控制阀和所述修整器之间，所述第一控制阀选择性地将所述总管路与所述真空管路和所述压缩空气管路相连，所述第二控制阀与所述总管路相连且与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞伶伶，许振杰，沈攀，王同庆，李昆，路新春，
申请(专利权)人：天津华海清科机电科技有限公司，清华大学，
类型：发明
国别省市：天津;12