一种气路清洗系统及清洗方法技术方案

本发明专利技术提供一种气路清洗系统包括以下部件：待测气源、稀释气源、清洗气源、气体混合装置、气体检测装置、多个阀门以及用于各部件间气体传输的气体管路；各待测气源连接于所述气体混合装置，气体混合装置有至少三个进气口和至少一个出气口，出气口与气体检测装置连接，第一进气口通过阀门与待测气源以及稀释气源连接，第二进气口通过阀门与稀释气源连接，第三进气口通过阀门和清洗气源连接。本发明专利技术还提供一种所述清洗系统的气路清洗方法，用于解决现有技术中不能使用较大流速的气体进行清洗，导致清洗时间较长、清洗效果欠佳的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种气路清洗系统及清洗方法，特别是涉及一种用于动态配气气路的二级清洗系统及清洗方法。
技术介绍
气体检测实验，例如气敏传感器测试、气体吸附剂测试、汽车尾气或轮船尾气模拟等，通常需要配备动态配气气路。在测定一个样品后或实验结束后，气路需要进行清理，以便进行下一个样品测试或下一次实验；另外，很多实验涉及腐蚀性气体，如硫化氢、氯化氢等，出于对设备使用寿命的考虑，尤其是高精度的质量流量计，清洗气路、保持干燥都是非常有必要的。通常采用的气路清洗方法是：直接使用稀释气，通常为氮气或干燥空气，对整套设备进行清洗，但是该方法必然会经过流量计等不适合用较大流速的气体进行清洗的部件，导致清洗时间较长、清洗效果欠佳。由于清洗流量受到限制，导致传感器脱附气体速度慢，不适合大量采集样本数据。因此，也有实验者将流量计等部件卸下，加大载气流量，对气路管路和流量计等部件分开清洗，但该方法操作繁琐，且频繁拆卸流量计等部件易造成损坏和潮湿引起的腐蚀。因此，开发出一套高效的动态配气气路清洗系统，既能保证清洗工作的的快速便捷，又能维护仪器设备的长期稳定，对气体检测实验的发展具有十分重要的意义。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种气路清洗系统及清洗方法，用于解决现有技术中不能使用较大流速的气体进行清洗，导致清洗时间较长、清洗效果欠佳的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种气路清洗系统包括以下部件：待测气源、稀释气源、清洗气源、气体混合装置、气体检测装置、多个阀门以及用于各部件间气体传输的气体管路。各待测气源连接于所述气体混合装置，所述气体混合装置有至少三个进气口和至少一个出气口，所述出气口与所述气体检测装置连接，第一进气口通过阀门与待测气源以及稀释气源连接，第二进气口通过阀门与稀释气源连接，第三进气口通过阀门和清洗气源连接。优选地，第一阀门设置于所述稀释气源以及待测气源之间的气体管路，第二阀门设置于所述待测气源以及气体混合装置第一进气口之间的气体管路，第三阀门设置于所述稀释气源以及气体混合装置第二进气口之间的气体管路，第四阀门设置于所述清洗气源以及气体混合装置第三进气口之间的气体管路。优选地，还包括多个气体流量控制装置，第一气体流量控制装置设置于所述待测气源以及所述气体混合装置第一进气口之间的气体管路，第二气体流量控制装置设置于所述稀释气源以及所述气体混合装置第二进气口之间的气体管路。优选地，气体检测装置通过可拆卸接头与气泵连接。优选地，气体流量控制装置为带流量控制功能的质量流量计。优选地，清洗气源与稀释气源的气源相同。优选地，所述阀门为多个手动阀门和多个自动阀门的组合。本专利技术还提供一种所述清洗系统的气路清洗方法：步骤一，关闭第四阀门，其余阀门开启，打开稀释气源，稀释气源释放稀释气体，稀释气体通过第一阀门、第二阀门和第三阀门进入气体管路进行清洗；步骤二，停止稀释气体通入，关闭第一阀门、第二阀门和第三阀门，打开第四阀门，打开清洗气源，清洗气源释放清洗气体，清洗气体通过第四阀门进入气体管路进行清洗。优选地，步骤二中，打开清洗气源前，还包括通过可拆卸接头连接气泵的步骤。优选地，气路清洗步骤之前，还包括气体检测步骤，关闭第一阀门和第四阀门，其余阀门开启，释放稀释气体和待测气体；待测气体通过第二阀门进入气体混合装置；稀释气源释放稀释气体，稀释气体通过第三阀门进入气体混合装置和待测气体混合形成混合气体，所述混合气体进入气体检测装置检测和传感器反应，产生电信号输出。如上所述，本专利技术的一种气路清洗系统及清洗方法，具有以下有益效果：1)本专利技术的气路清洗装置可以大幅度减少清洗时间，清洗气体清洗过程持续不超过10分钟即可实现对配气气路的清洗，与通常半小时以上的清洗时间相比，清洗时间缩短至1/3甚至更少。2)本专利技术先用稀释气体对连接有气体流量控制装置的气路进行小流量清洗，即一级清洗；再用清洗气体对其余气路和腔室进行大流量快速清洗，即二级清洗。本专利技术大幅度减少清洗时间的同时，可以避免流量过大对设备造成影响甚至损坏。3)本专利技术通过大流量的清洗气体气流冲击，使得管路和腔室内壁的残余气体被冲洗的更加彻底。附图说明图1显示为本专利技术的一种气路清洗系统示意图。元件标号说明1稀释气源2待测气源301第一气体流量控制装置302第二气体流量控制装置4四通管5气体混合装置6清洗气源7气体检测装置8可拆卸接头9气泵101-103第一阀门104-106第二阀门109第三阀门107第四阀门具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本专利技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本专利技术的其他优点及功效。请参阅图1。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本专利技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本专利技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本专利技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本专利技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本专利技术可实施的范畴。实施例一如图1所示，本专利技术提供一种气路清洗系统包括：待测气源2、稀释气源1、清洗气源6、气体混合装置5、气体检测装置7、多个阀门以及用于各部件间气体传输的气体管路。其中，待测气源2、稀释气源1和清洗气源6中的一种或多种采用高压气体钢瓶储存，钢瓶自带减压阀门。稀释气体1和清洗气体6均为高纯氮气，待测气体2为浓度在1～1000ppm的以氮气作为平衡气的三种标准气体二氧化硫、二氧化氮和一氧化氮。清洗气源6与稀释气源1的气体种类相同。清洗气体除本实施例中所采用的氮气，还可以为纯净空气、氩气，或者其它的惰性气体，但应保证气体的洁净和干燥，可以通过加装气体干燥装置保证气体干燥。各待测气源2连接于气体混合装置5，气体混合装置5有至少三个进气口和至少一个出气口，气体混合装置5的出气口与气体检测装置7连接，第一进气口通过阀门与待测气源2以及稀释气源1连接，第二进气口通过阀门与稀释气源1连接，第三进气口通过阀门和清洗气源6连接。其中，三个第一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气路清洗系统，其特征在于，所述气路清洗系统包括以下部件：待测气源、稀释气源、清洗气源、气体混合装置、气体检测装置、多个阀门以及用于各部件间气体传输的气体管路；各待测气源连接于所述气体混合装置，所述气体混合装置有至少三个进气口和至少一个出气口，所述出气口与所述气体检测装置连接，第一进气口通过阀门与所述待测气源以及所述稀释气源连接，第二进气口通过阀门与所述稀释气源连接，第三进气口通过阀门和所述清洗气源连接。

【技术特征摘要】
1.一种气路清洗系统，其特征在于，所述气路清洗系统包括以下部件：待测气源、稀释气源、
清洗气源、气体混合装置、气体检测装置、多个阀门以及用于各部件间气体传输的气体管
路；
各待测气源连接于所述气体混合装置，所述气体混合装置有至少三个进气口和至少
一个出气口，所述出气口与所述气体检测装置连接，第一进气口通过阀门与所述待测气
源以及所述稀释气源连接，第二进气口通过阀门与所述稀释气源连接，第三进气口通过
阀门和所述清洗气源连接。
2.根据权利要求1所述的气路清洗方法，其特征在于：所述第一阀门设置于所述稀释气源以
及待测气源之间的气体管路，第二阀门设置于所述待测气源以及气体混合装置第一进气口
之间的气体管路，第三阀门设置于所述稀释气源以及气体混合装置第二进气口之间的气体
管路，第四阀门设置于所述清洗气源以及气体混合装置第三进气口之间的气体管路。
3.根据权利要求1所述的气路清洗系统，其特征在于：还包括多个气体流量控制装置，第一
气体流量控制装置设置于所述待测气源以及所述气体混合装置第一进气口之间的气体管
路，第二气体流量控制装置设置于所述稀释气源以及所述气体混合装置第二进气口之间的
气体管路。
4.根据权利要求1所述的气路清洗系统，其特征在于：所述气体检测装置通过可拆卸接头与
气泵连接。
5.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志，蒋文凯，王帅，王涛，胡南滔，张亚非，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：上海;31