晶圆支撑装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆支撑装置，晶圆支撑装置包括：基板；柔性组件，所述柔性组件为多个且连接在所述基板上；晶圆支撑件，所述晶圆支撑件连接在多个所述柔性组件上。在机械手取放晶圆时，柔性组件在感受到压力后可以变形，从而可以缓冲机械手传递来的冲击力，这样可以有效避免晶圆碎片，进而可以降低对机械手的要求，以及可以提高晶圆的取放安全性。

Wafer support device

The utility model discloses a wafer supporting device, which comprises a base plate, a flexible component, a plurality of flexible components connected to the substrate, a wafer support, and the wafer support connected to the plurality of the flexible components. Take the wafer in the manipulator, the flexible components under stress after deformation, which can buffer the impact force is transmitted to the manipulator, which can effectively avoid the wafer fragments, and then reduce the requirements of the manipulator, and can improve the safety of the wafer to take place.

【技术实现步骤摘要】
晶圆支撑装置
本技术涉及抛光设备
，尤其涉及一种晶圆支撑装置。
技术介绍
目前，通常的晶圆支撑装置一般包括支撑环，以及安装在支撑环圆周上用于支撑晶圆的若干支撑脚，机械手可进入相邻的二个支撑脚之间的空间拾取晶圆。晶圆支撑装置的设计要求是能使晶圆放置平稳，便于机械手的操作，并能保护晶圆不被破坏。但是晶圆支撑装置仅是实现了晶圆的放置，并没有方便机械手的操作。通过控制机械手相对于晶圆的平行度和位移实现晶圆的取放动作，取放片时对晶圆有造成较大的冲击力，容易碎片，另外对于机械手的控制要求较高。
技术实现思路
本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本技术提出一种晶圆支撑装置，该晶圆支撑装置可以提高机械手取放晶圆的安全性。根据本技术的晶圆支撑装置，包括：基板；柔性组件，所述柔性组件为多个且连接在所述基板上；晶圆支撑件，所述晶圆支撑件连接在多个所述柔性组件上。根据本技术的晶圆支撑装置，在机械手取放晶圆时，柔性组件在感受到压力后可以变形，从而可以缓冲机械手传递来的冲击力，这样可以有效避免晶圆碎片，进而可以降低对机械手的要求，以及可以提高晶圆的取放安全性。另外，根据本技术的晶圆支撑装置还可以具有以下附加技术特征：在本技术的一些示例中，每个所述柔性组件包括：固定件，所述固定件固定在所述基板上；活动件，所述活动件与所述晶圆支撑件相连；弹性件，所述弹性件设置在所述固定件和所述活动件之间。在本技术的一些示例中，所述固定件为套筒，所述套筒的上端敞开，所述弹性件设置在所述套筒内且所述活动件可活动地设置在所述套筒上。在本技术的一些示例中，所述活动件为柱体且包括上柱体和下柱体，所述上柱体连接在所述下柱体的上方，所述下柱体与所述弹性件相连且适于设置在所述套筒内，所述上柱体的一部分适于伸出所述套筒。在本技术的一些示例中，所述套筒的上端设置有上孔，所述下柱体止抵在在所述上孔的下侧壁下方，所述上柱体穿设在所述上孔内。在本技术的一些示例中，所述套筒的下端设置有螺纹调节件。在本技术的一些示例中，所述晶圆支撑件为晶圆支撑环，多个所述柔性组件关于所述晶圆支撑环的中心均匀分布。在本技术的一些示例中，所述晶圆支撑装置还包括：水平调整件，所述晶圆支撑件上设置有调节孔，所述水平调整件连接在所述晶圆支撑件和所述柔性组件之间且通过调节其在所述调节孔的位置对所述晶圆支撑件进行水平调整。在本技术的一些示例中，所述晶圆支撑件上设置有多个安装孔，每个所述安装孔处对应设置有支撑凸起，所述多个安装孔与所述多个柔性组件在所述晶圆支撑件的周向上间隔开分布。在本技术的一些示例中，所述晶圆支撑装置还包括：传感器，所述传感器用于检测晶圆是否放置在所述晶圆支撑件上。附图说明图1是根据本技术实施例的晶圆支撑装置的结构示意图；图2是柔性组件的剖视图；图3是晶圆支撑件的结构示意图。附图标记：晶圆支撑装置100；基板10；柔性组件20；固定件21；活动件22；上柱体221；下柱体222；弹性件23；螺纹调节件24；晶圆支撑件30；安装孔31；支撑凸起32；调节孔33；传感器40。具体实施方式下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。下面参考附图详细描述根据本技术实施例的晶圆支撑装置100，晶圆支撑装置100可以用于支撑和放置晶圆，机械手可以在晶圆支撑装置100上取放晶圆。如图1所示，根据本技术实施例的晶圆支撑装置100可以包括：基板10、柔性组件20和晶圆支撑件30，基板10可以为平板结构，柔性组件20可以为多个，例如三个，而且多个柔性组件20连接在基板10上。柔性组件20在上下方向上延伸，晶圆支撑件30可以连接在多个柔性组件20上。也就是说，柔性组件20为多个，每个柔性组件20连接在晶圆支撑件30和基板10之间。这样在机械手取放晶圆时，柔性组件20在感受到压力后可以变形，从而可以缓冲机械手传递来的冲击力，这样可以有效避免晶圆碎片，进而可以降低对机械手的要求，以及可以提高晶圆的取放安全性。下面详细描述一下柔性组件20，如图2所示，每个柔性组件20可以包括：固定件21、弹性件23和活动件22，弹性件23可以设置在固定件21和活动件22之间，固定件21固定在基板10上，例如，固定件21可以通过紧固件固定在基板10上，活动件22与晶圆支撑件30相连。这样在机械手取放晶圆时，机械手传递来的压力可以通过晶圆支撑件30和活动件22传递给弹性件23，弹性件23可以弹性变形以减缓机械手对晶圆的冲击，从而可以提高晶圆的取放安全性。可选地，弹性件23可以为弹簧或者橡胶件。如图2所示，固定件21可以为套筒，套筒的上端敞开，弹性件23设置在套筒内，而且活动件22可以活动地设置在套筒上。这样通过将弹性件23和活动件22设置在套筒上，一方面可以保证柔性组件20的结构可靠性，而且可以便于机械手的冲击在活动件22和弹性件23之间传递。如图2所示，套筒的下端还可以设置有螺纹调节件24。也就是说，套筒的下端可以设置有内螺纹，螺纹调节件24螺纹连接在内螺纹上，这样螺纹调节件24可以用于调节柔性组件20，从而可以更好地保证柔性组件20的结构可靠性。如图2所示，活动件22可以为柱体，而且柱体包括上柱体221和下柱体222，上柱体221连接在下柱体222的上方，下柱体222与弹性件23相连，而且下柱体222适于设置在套筒内，上柱体221的一部分适于伸出套筒。也就是说，下柱体222无法伸出套筒，这样可以保证活动件22在套筒上的配合可靠性。上柱体221的上端可以与晶圆支撑件30相连。上柱体221上可以设置有螺纹孔，螺杆或者螺钉可以穿过晶圆支撑件30之后与螺纹孔螺纹连接。如图2所示，套筒的上端设置有上孔，下柱体222止抵在在上孔的下侧壁下方，上柱体221穿设在上孔内。这样通过下柱体222和上孔的下侧壁之间的配合，可以保证活动件22和套筒之间的配合可靠性。可选地，如图1和图3所示，晶圆支撑件30为晶圆支撑环，多个柔性组件20关于晶圆支撑环的中心均匀分布。通过合理布置多个柔性组件20，可以使得机械手在取放晶圆时晶圆支撑件30传递给每个柔性组件20的冲击力大小接近，从而可以保证晶圆支撑件30的水平稳定性，进而可以便于机械手取放晶圆。根据本技术的一个优选实施例，晶圆支撑装置100还可以包括：水平调整件，晶圆支撑件30上设置有调节孔，水平调整件连接在晶圆支撑件30和柔性组件20之间，而且水平调节件通过调节其在调节孔的位置对晶圆支撑件30进行水平调整。这样通过设置水平调整件，可以使得晶圆支撑件30处于水平状态，位于晶圆支撑件30上的晶圆处于水平状态，从而可以便于机械手取放晶圆，以及可以保证晶圆的放置稳定性。如图1和图3所示，晶圆支撑件30上设置有多个安装孔31，每个安装孔31处对应设置有支撑凸起32，多个安装孔31与柔性组件20在晶圆支撑件30的周向上间隔开分布。支撑凸起32可以用于支撑晶圆，通过设置多个支撑凸起32，可以使得晶圆各处受到的支撑力均匀，从而可以保证晶圆在晶圆支撑件30上的可靠性。根据本技术的一个优选实施例，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括：基板；柔性组件，所述柔性组件为多个且连接在所述基板上；晶圆支撑件，所述晶圆支撑件连接在多个所述柔性组件上。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆支撑装置，其特征在于，包括：基板；柔性组件，所述柔性组件为多个且连接在所述基板上；晶圆支撑件，所述晶圆支撑件连接在多个所述柔性组件上。2.根据权利要求1所述的晶圆支撑装置，其特征在于，每个所述柔性组件包括：固定件，所述固定件固定在所述基板上；活动件，所述活动件与所述晶圆支撑件相连；弹性件，所述弹性件设置在所述固定件和所述活动件之间。3.根据权利要求2所述的晶圆支撑装置，其特征在于，所述固定件为套筒，所述套筒的上端敞开，所述弹性件设置在所述套筒内且所述活动件可活动地设置在所述套筒上。4.根据权利要求3所述的晶圆支撑装置，其特征在于，所述活动件为柱体且包括上柱体和下柱体，所述上柱体连接在所述下柱体的上方，所述下柱体与所述弹性件相连且适于设置在所述套筒内，所述上柱体的一部分适于伸出所述套筒。5.根据权利要求4所述的晶圆支撑装置，其特征在于，所述套筒的上端设置有上孔，所述下...

【专利技术属性】
技术研发人员：王国栋，许振杰，王同庆，李昆，路新春，
申请(专利权)人：天津华海清科机电科技有限公司，清华大学，
类型：新型
国别省市：天津,12