氮化钛沉积系统技术方案

本发明专利技术提供了一种氮化钛沉积系统，包括腔体组件和承载手臂，所述腔体组件可拆卸地安装于所述承载手臂。本发明专利技术使得承载手臂与腔室组件之间可拆卸安装，这样一来，在维护时，可以将整个腔室组件(Chamber Lid)整体拆除，将组装时间以及气室(Gas Box)等的清洁时间放到预防性维护过程之外，从而减少预防性维护所需时间，提高机台利用率。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种氮化钛沉积系统，其特征在于：包括腔体组件和承载手臂，所述腔体组件可拆卸地安装于所述承载手臂。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：万成，邰晓东，柳小敏，刘玮，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31