氮化钛/碳化钛涂层及其制备方法及具有该涂层的被覆件技术

一种氮化钛/碳化钛涂层，该涂层是由氮化钛纳米层和碳化钛纳米层交替沉积形成的多层复合涂层。由于形成氮化钛/碳化钛多层复合涂层，使得该氮化钛/碳化钛涂层同时具备良好的韧性及较高的硬度。本发明专利技术还包括一种氮化钛/碳化钛涂层的制备方法及具有该涂层的被覆件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种硬质涂层及其制备方法及具有该涂层的被覆件。
技术介绍
在摩擦、腐蚀或力学加载环境下，工具或零件的使用寿命主要由其表面性能决定。因此，工程上常使用硬质耐磨涂层作为工具表面的保护镀层。氮化钛（TiN）涂层因具有较高的硬度（21GPa）和良好的韧性而成为最普遍应用的硬质涂层。然而，随着金属切削加工技术的发展，氮化钛（TiN）涂层在硬度等方面已经不能满足进一步地要求。碳化钛（TiC）相比于氮化钛（TiN）具有更高的硬度（28GPa）及耐磨性，但涂层韧性较差，脆性大，涂层偏厚时容易从基底剥落而使涂层失效。因此，目前生产上需要一种同时具备良好的韧性及硬度的硬质涂层。
技术实现思路
鉴于以上内容，有必要提供一种同时具备良好的韧性及硬度的氮化钛/碳化钛涂层及其制备方法及具有该涂层的被覆件。一种氮化钛/碳化钛涂层，该涂层是由氮化钛纳米层和碳化钛纳米层交替沉积形成的多层复合涂层。一种氮化钛/碳化钛涂层的制备方法，包括以下步骤：提供基体；在该基体表面交替溅射氮化钛纳米层及碳化钛纳米层以形成氮化钛/碳化钛多层复合涂层，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种氮化钛/碳化钛涂层，其特征在于：该涂层是由氮化钛纳米层和碳化钛纳米层交替沉积的多层复合涂层。

【技术特征摘要】
1.一种氮化钛/碳化钛涂层，其特征在于：该涂层是由氮化钛纳米层和碳化钛纳米层交替沉积的多层复合涂层。
2.如权利要求1所述的氮化钛/碳化钛涂层，其特征在于：相邻的该氮化钛纳米层与该碳化钛纳米层构成一个两层单元，每两层单元中，该碳化钛纳米层的厚度范围为10~80nm，该氮化钛纳米层的厚度范围为10~60nm。
3.如权利要求2所述的氮化钛/碳化钛涂层，其特征在于：该多层复合涂层的每一个两层单元中，该碳化钛纳米层的厚度为50nm，该氮化钛纳米层的厚度为50nm。
4.如权利要求1所述的氮化钛/碳化钛涂层，其特征在于：该涂层的总涂层厚度为1μm。
5.一种氮化钛/碳化钛涂层的制备方法，包括以下步骤：
提供基体；
在该基体表面交替溅射氮化钛纳米层及碳化钛纳米层以形成多层复合涂层，其中该氮化钛纳米层是在氩气及氮气中溅射钛靶材的方法获得，该碳化钛纳米层是在氩气中溅射碳化钛化合物靶材的方法获得。
6.如权利要求5所述的氮化钛/碳化钛涂层的制备方法，其特征在于：在氩气及氮气中溅射钛靶以获得该氮化钛纳米层的步骤中，溅射条件如下：钛靶的功率为5000~14000W，氮气流量为100~300mln/mi...

【专利技术属性】
技术研发人员：方骏飞，王文宝，
申请(专利权)人：基准精密工业惠州有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44