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本发明提供了一种氮化钛沉积系统，包括腔体组件和承载手臂，所述腔体组件可拆卸地安装于所述承载手臂。本发明使得承载手臂与腔室组件之间可拆卸安装，这样一来，在维护时，可以将整个腔室组件(Chamber Lid)整体拆除，将组装时间以及气室(Gas...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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