【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及蒸镀设备领域，特别涉及一种蒸镀载板及蒸镀装置。
技术介绍
在制造OLED(OrganicLightEmittingDiode，有机发光二极管)时，使用坩埚将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上。其中，坩埚和OLED基板均置于真空的蒸镀腔室内，且OLED基板通过蒸镀载板固定于坩埚的上方。目前的蒸镀载板包括载板，载板上设有针脚孔，在蒸镀时，先使用粘性吸盘胶将OLED基板粘附在载板的下表面上，再将载板转入蒸镀腔室，使用坩埚将用于制作OLED的有机材料蒸镀到OLED基板上，蒸镀完成后，翻转载板以使载板上设置OLED基板的一面朝上，操作人员操作针脚装置使针脚装置的顶针由下至上穿过载板上的针脚孔，并将OLED基板顶起，从而使蒸镀载板和OLED基板分离。在实现本专利技术的过程中，专利技术人发现现有技术至少存在以下问题：现有技术中通过针脚装置的顶针施加的外力使OLED基板与蒸镀载板分离，在顶针顶起OLED基板的位置，OLED基板局部受力较大，容
【技术保护点】
一种蒸镀载板，其特征在于，所述蒸镀载板包括载板和降粘部，所述降粘部设置在所述载板上，有机发光二极管OLED基板通过敏感胶固定在所述载板的一侧表面上，所述降粘部用于在蒸镀完成后降低所述敏感胶的粘性。
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀载板，其特征在于，所述蒸镀载板包括载板和降粘部，所述降
粘部设置在所述载板上，有机发光二极管OLED基板通过敏感胶固定在所述载
板的一侧表面上，所述降粘部用于在蒸镀完成后降低所述敏感胶的粘性。
2.根据权利要求1所述的蒸镀载板，其特征在于，所述敏感胶为光敏胶或
热敏胶。
3.根据权利要求2所述的蒸镀载板，其特征在于，所述敏感胶为热敏胶，
所述降粘部包括冷却管道和低温流体供应部，所述冷却管道设置在所述载板上，
且所述冷却管道的位置与所述载板上涂热敏胶的位置对应；
蒸镀完成后，所述低温流体供应部通过其输出端与所述冷却管道的输入端
连通，通过其输入端与所述冷却管道的输出端连通，所述低温流体供应部用于
向所述冷却管道提供低温流体。
4.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述降粘部还包括第一
单向阀和第二单向阀，所述第一单向阀设置在所述低温流体供应部的输出端与
所述冷却管道的输入端之间，所述第二单向阀设置在所述低温流体供应部的输
入端与所述冷却管道的输出端之间。
5.根据权利要求4所述的蒸镀载板，其特征在于，所述降粘部还包括第一
流量调节阀和第二流量调节阀，所述第一流量调节阀设置在所述第一单向阀和
所述冷却管道的输入端之间，所述第二流量调节阀设置在所述冷却管道的输出
端与所述第二单向阀之间。
6.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述载板内部设有空腔，
所述冷却管道设置在所述空腔内。
7.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述载板背离所述OLED
\t基板的一侧表面上设有凹槽，所述凹槽的位置与所述载板上涂有热敏胶的位置
对应，所述冷却管道安装在所述凹槽内。
8.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述低温流体为冷却水、
低温乙醇或液态氮。
9.根据权利要求3所述的蒸镀载板，其特征在于，所述蒸镀载板还包括针
脚装置，所述载板上设有针脚孔，在所述敏感胶的粘...
【专利技术属性】
技术研发人员：上官荣刚，孙力，王欣欣，马凯葓，万想，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。