(酰胺氨基烷烃)金属化合物及使用所述金属化合物制备含金属的薄膜的方法技术

本发明专利技术公开了一种由通式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物和一种使用所述金属化合物制备含该金属的薄膜的方法。(所述式中，M代表金属原子；R1代表具有1‑6个碳原子的直链、支链或环状的烷基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1‑3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环。Z代表具有1‑10个碳原子的直链或支链的亚烷基(但是，可选地，其一部分可形成环)。配位体的数目由n表示，n为1‑3中的一个整数，并且等于金属M的化合价数。但是，排除M为Li(锂)、Be(铍)、Ge(锗)或Nd(钕)的情况，M为Mg(镁)且R1为甲基的情况，M为Zn(锌)且R1为甲基的情况，M为Bi(铋)且R1为叔丁基的情况。此外，当n为2或更大时，两个或多个配位体可以彼此相同或不同。)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种由式(1)表示的(酰胺氨基烷烃)金属化合物：其中M代表钴；R1代表异丙基、仲丁基、叔丁基或叔戊基；R2和R3可以彼此相同或不同，各自独立地代表具有1‑3个碳原子的直链或支链的烷基，或R2和R3可以与它们连接的氮原子一起形成一个经取代的或未经取代的5元或6元环；Z代表具有1‑10个碳原子的直链或支链的亚烷基(可选地，其一部分可形成环)；且n代表配位体的个数，与金属(M)的化合价相等，并且代表2；条件是两个配位体可以彼此相同或不同。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：藤村整，金户宏树，白井昌志，二瓶央，
申请(专利权)人：宇部兴产株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP