粒子检测装置及粒子检测方法制造方法及图纸

技术编号:12653785 阅读:143 留言:0更新日期:2016-01-06 11:45
本发明专利技术提供可判别生物粒子与非生物粒子的粒子检测装置及粒子检测方法。粒子检测装置具有:测定被测定粒子上所产生的第1至第3光的强度测定值的光测定器(20);存储装置(350),保存在第1范围内记录有第1及第2类粒子的识别边界中的第3光的强度的第1边界信息、在第2范围内记录有识别边界中的第3光的强度的第2边界信息、以及在识别边界所包围的单元格内记录有第1类粒子标识符、在识别边界未包围的单元格内记录有第2类粒子标识符的识别信息;和粒子判定部(302),在根据第1及第2光的强度测定值获取了第1类粒子的标识符,且第3光的强度测定值在第1及第2边界值之间时,判断被测定粒子为第1类粒子。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及检测技术,涉及。
技术介绍
在生物超净间等超净间(clean room)中,使用粒子检测装置,检测并记录飞散的微生物粒子和非微生物粒子(例如,参照专利文献I及非专利文献I)。根据粒子的检测结果,可以掌握超净间的空调设备的劣化情况。此外,有时也会对在超净间制造的产品附加超净间内的粒子的检测记录作为参考资料。光学式的粒子检测装置,例如,吸引超净间中的气体,向吸引气体照射光。气体中含有微生物粒子或非微生物粒子的话,被光照射到的粒子就会发出荧光、或者在粒子上产生散射光。因此,通过检测荧光和散射光,可以检测气体中所含的微生物粒子和非微生物粒子的数量和大小等。此外,除超净间外,也希望有技术可以正确检测流体中的粒子(例如,参照专利文献2)。粒子发出的荧光强度,有时会根据粒子的种类而不同。此外,粒子上产生的散射光的强度有时也会根据粒子的种类而不同。因此,有提案提出,根据荧光的强度及散射光的强度,判断粒子为生物粒子还是非生物粒子的方法(例如,参照专利文献3)。现有技术文献专利文献专利文献I日本特开2011-83214号公报专利文献2日本特开平8-29331号公报专利文献3美国专利申请公开第2013/0077087号说明书非专利文献非专利文献I长谷川伦男等,《気中微生物y 7少夕4 Λ検出技術応用(气体中微生物实时检测技术与其应用)》,株式会社山武,azbil Technical Review(阿自倍尔技术综述)2009年12月号,第2-7页,2009年
技术实现思路
专利技术要解决的课题为了提高判断粒子为生物粒子还是非生物粒子的精度,需要提高判断基准的精度。但是,高精度的判断基准可能会造成计算机系统中所需的内存容量增大、处理速度下降。因此,本专利技术的目的之一是提供可判别生物粒子与非生物粒子、对计算机系统负担较低的。用于解决课题的手段根据本专利技术的方式,提供一种粒子检测装置,具备有:(a)光测定器,测定被测定粒子上所产生的各自波长不同的第I光的强度的测定值、第2光的强度的测定值及第3光的强度的测定值;(b)第I边界信息保存部,其保存第一边界信息,该第I边界信息在第I光的强度及第2光的强度的二维表中,将第I类粒子和第2类粒子的识别边界中的第3光的强度记录于第I范围内;(C)第2边界信息保存部,其保存第2边界信息,该第2边界信息在二维表中,将识别边界中的第3光的强度记录于第2范围内;(d)识别信息保存部,其保存识别信息,该识别信息在二维表的识别边界所包围的单元格内记录第I类粒子的标识符、在识别边界未包围的单元格内记录第2类粒子的标识符;(e)信息取得部,根据第I光的强度的测定值及第2光的强度的测定值,从识别信息中获取第I类粒子或第2类粒子的标识符,并从第I边界信息及第2边界信息中,获取识别边界中的第3光的强度的第I边界值及第2边界值;(f)粒子判定部,当获取到第I类粒子的标识符、且第3光的强度的测定值在第I边界值及第2边界值之间时,判断被测定粒子为第I类粒子;在获取到第I类粒子的标识符、且第3光的强度的测定值不在第I边界值及第2边界值之间,或者获取到第2类粒子的标识符时,判断被测定粒子为第2类粒子。在上述粒子检测装置中,可以是第I及第2光为荧光波段的光、第3光为散射光。或者,也可以是第I至第3光为荧光波段的光。此外,可以是第I类粒子为生物粒子,第2类粒子为非生物粒子。或者,也可以是第I类粒子为非生物粒子,第2类粒子为生物粒子。在上述粒子检测装置中,第I及第2边界信息可以是用灰阶表示第3光的强度的图像。此外,第I及第2边界信息也可以是灰度等级图像。另外,第3光的强度测定值可以转换为灰阶中的灰阶值。此外,第I边界信息的图像可以相当于从显示第3光的强度的坐标的上方观察包含示出识别边界的多元函数的第I至第3光的强度的三维坐标系得到的图像,第2边界信息的图像可以相当于从显示第3光的强度的坐标的下方观察包含多元函数的三维坐标系得到的图像。在上述粒子检测装置中,识别信息可以相当于将包含示出识别边界的多元函数的第I至第3光的强度的三维坐标系,在示出第3光的强度的坐标的任意值处截取得到的图像。或者,识别信息可以相当于将包含示出识别边界的多元函数的第I至第3光的强度的三维坐标系,在多元函数中的第3光的强度的最大值与最小值的中间值处截取得到的图像。此外,识别信息可以是二值图像。上述粒子检测装置还可以具有:记录光测定器的劣化信息的劣化信息记录部;和根据劣化信息,校正第I光的强度、第2光的强度以及第3光的强度测定值中的至少一个的校正单元。或者,上述粒子检测装置还可以具备有:记录光测定器的劣化信息的劣化信息记录部;和根据劣化信息,校正第I边界信息及第2边界信息的校正单元。此外,根据本专利技术的方式,提供一种粒子检测方法,包含以下步骤:(a)测定被测定粒子上所产生的各自波长不同的第I光的强度的测定值、第2光的强度的测定值及第3光的强度的测定值;(b)准备第I边界信息,该第I边界信息在第I光的强度及第2光的强度的二维表中,将第I类粒子和第2类粒子的识别边界中的第3光的强度记录于第I范围内;(c)准备第2边界信息,该第2边界信息在二维表中,将识别边界中的第3光的强度记录于第2范围内;(d)准备识别信息,该识别信息在二维表的识别边界所包围的单元格内记录第I类粒子的标识符、在识别边界未包围的单元格内记录第2类粒子的标识符;(e)根据第I光的强度的测定值及第2光的强度的测定值,从识别信息中获取第I类粒子或第2类粒子的标识符,并从第I边界信息及第2边界信息中获取识别边界中的第3光的强度的第I边界值及第2边界值;(f)当获取到第I类粒子的标识符、且第3光的强度的测定值在第I边界值及第2边界值之间时,判断被测定粒子为第I类粒子;在获取到第I类粒子的标识符、且第3光的强度的测定值不在第I边界值及第2边界值之间,或者获取到第2类粒子的标识符时,判断被测定粒子为第2类粒子。在上述粒子检测方法中,可以是第I及第2光为荧光波段的光、第3光为散射光。或者,也可以是第I至第3光为荧光波段的光。此外,可以是第I类粒子为生物粒子、第2类粒子为非生物粒子。或者,也可以是第I类粒子为非生物粒子、第2类粒子为生物粒子。在上述粒子检测方法中,第I及第2边界信息可以是用灰阶表示第3光的强度的图像。此外,第I及第2边界信息可以是灰度等级图像。另外,第3光的强度测定值可以转换为灰阶中的灰阶值。此外,第I边界信息的图像可以相当于从显示第3光的强度的坐标的上方观察包含示出识别边界的多元函数的第I至第3光的强度的三维坐标系得到的图像,第2边界信息的图像可以相当于从显示第3光的强度的坐标的下方观察包含多元函数的三维坐标系得到的图像。在上述粒子检测方法中,识别信息可以相当于将包含示出识别边界的多元函数的第I至第3光的强度的三维坐标系,在显示第3光的强度的坐标的任意值处截取得到的图像。或者,识别信息可以相当于将包含示出识别边界的多元函数的第I至第3光的强度的三维坐标系,在多元函数中的第3光的强度的最大值与最小值的中间值处截取得到的图像。此外,识别信息可以是二值图像。上述粒子检测方法还可以包含以下步骤:记录测定第1、第2及第3光的强度测定值的光测定器的劣化信息;根据劣化信息,校正第I光的强度、本文档来自技高网...
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【技术保护点】
一种粒子检测装置,其特征在于,具有:光测定器,测定被测定粒子上所产生的各自波长不同的第1光的强度的测定值、第2光的强度的测定值及第3光的强度的测定值;第1边界信息保存部,其保存第1边界信息,所述第1边界信息在所述第1光的强度及所述第2光的强度的二维表中,将第1类粒子和第2类粒子的识别边界中的所述第3光的强度记录于第1范围内;第2边界信息保存部,其保存第2边界信息,所述第2边界信息在所述二维表中,将所述识别边界中的所述第3光的强度记录于第2范围内;识别信息保存部,其保存识别信息,所述识别信息在所述二维表的所述识别边界所包围的单元格内记录所述第1类粒子的标识符、在所述识别边界未包围的单元格内记录所述第2类粒子的标识符;信息取得部,根据所述第1光的强度的测定值及所述第2光的强度的测定值,从所述识别信息中获取所述第1类粒子或所述第2类粒子的标识符,并从所述第1边界信息及所述第2边界信息中,获取所述识别边界中的所述第3光的强度的第1边界值及第2边界值;和粒子判定部,当获取到所述第1类粒子的标识符、且所述第3光的强度的测定值在所述第1边界值及所述第2边界值之间时,判断所述被测定粒子为所述第1类粒子;在获取到所述第1类粒子的标识符、且所述第3光的强度的测定值不在所述第1边界值及所述第2边界值之间,或者获取到所述第2类粒子的标识符时,判断所述被测定粒子为所述第2类粒子。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:细居智树小原太辅古谷雅衣笠静一郎
申请(专利权)人:阿自倍尔株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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