反应腔室和半导体设备制造技术

本发明专利技术提供一种反应腔室，该反应腔室包括腔体和位置检测机构，该位置检测机构包括传感器和反射板，所述传感器和所述反射板分别设置在所述腔体的底壁和顶壁上，所述传感器包括光发射件和光接收件，所述光接收件的接收面与所述反射板的反射面平行，所述反射板用于反射所述光发射件所发射的光线，所述光接收件能够接收所述反射板所反射的光线，所述反射板与所述腔体的顶壁之间、所述光接收件的接收面与所述腔体的底壁之间均形成有预设夹角。相应地，本发明专利技术还提供一种半导体设备。与现有技术相比，本发明专利技术检测反应腔室内有无基片时的准确性有所提高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体设备制造
，具体涉及一种反应腔室和包括该腔室的半导体设备。
技术介绍
S0G(silicon on glass)指的是玻璃上的娃材料，它是充分利用玻璃良好的透光性、电绝缘性和化学稳定性以及硅良好的电学性能制备的一种特殊的SOI (silicon oninsulator)材料。用玻璃作为衬底材料制备的SOG材料不仅具有良好的电学性能，而且具有特殊的光电性能，广泛应用在太阳能电池和平板液晶显示器等光电设备中。检测有无片结构广泛用于半导体设备中，也是半导体设备中十分重要的结构。半导体设备在运行过程中时刻需要检测晶片当前位置，来确定下一步动作。主要需要检测位置有装载腔与传输腔之间，传输腔与预热腔之间，传输腔与工艺腔之间，通过这些点的检测可以判定晶片的当前所处位置，以进行下一步操作。现有技术中检测有无片的方法主要是安装传感器和反射板，如图1所示，在腔体10上对应设置有传感器20和反射板30,传感器20的光发射件发射光线,在传感器20与反射板30之间无基片的情况下，当入射光线40经过反射板30反射后被传感器20的光接收件接收，且接收的反射光线50的光值大于传感器20的预设值，从而可以判断传感器20与反射板30之间无基片。如图2所示，在传感器20与反射板30之间设置有基片(该基片为石圭片60)的情况下，当传感器20的光发射件发射的入射光线40被娃片60挡住时,没有反射光线50或反射光线50很少，此时传感器20的光接收件接收到的光值小于预设值，从而可以判断传感器20与反射板30之间设置有基片。但是，这种方法仅适用于基片为硅片的情况，如图3所示，当基片为SOG片70时，由于SOG材料的基本结构主要由顶层硅、中间的S12绝缘层以及玻璃衬底组成，因此，传感器20的所反射的入射光线40会射到SOG片70的玻璃衬底上，而SOG片70能够很大程度的反射入射光线，导致传感器20的光接收件接收到的反射光线50光值大于预设值，从而错误地判断传感器与反射板之间无基片，进而影响生产效率。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种反应腔室和半导体设备，以准确的判断反应腔室内是否设置有基片。为了实现上述目的，本专利技术提供一种反应腔室，该反应腔室包括腔体和位置检测机构，该位置检测机构包括传感器和反射板，所述传感器和所述反射板分别设置在所述腔体的底壁和顶壁上，所述传感器包括光发射件和光接收件，所述光接收件的接收面与所述反射板的反射面平行，所述反射板用于反射所述光发射件所发射的光线，所述光接收件能够接收所述反射板所反射的光线，所述反射板与所述腔体的顶壁之间、所述光接收件的接收面与所述腔体的底壁之间均形成有预设夹角。优选地，所述预设夹角在(0°，10° ]范围内。优选地，所述传感器与所述腔体之间、以及所述反射板与所述腔体之间均设置有支撑组件，设置在所述传感器与所述腔体之间的所述支撑组件使所述光接收件的接收面与所述腔体的底壁之间形成所述预设夹角，设置在所述反射板与所述腔体之间的所述支撑组件使所述反射板与所述腔体的顶壁之间形成所述预设夹角。优选地，所述支撑组件包括固定部和与该固定部相连的连接部，所述固定部设置在所述腔体上，所述传感器设置在该传感器与所述腔体之间的支撑组件的连接部上，所述反射板设置在该反射板与所述腔体之间的支撑组件的连接部上，所述固定部和所述连接部之间形成有所述预设夹角。优选地，所述固定部与所述连接部铰接。优选地，所述支撑组件还包括调节部，所述调节部与所述固定部的一端相连，所述固定部的另一端与所述连接部的一端铰接，所述连接部的另一端能够沿所述调节部移动。优选地，所述调节部上设置有刻度标记。优选地，所述调节部与所述固定部铰接，所述调节部与所述连接部之间设置有可拆卸的固定件。优选地，所述固定部包括第一固定臂、第二固定臂和第三固定臂，所述连接部包括第一连接臂、第二连接臂、第三连接臂和第四连接臂，所述第三固定臂连接在所述第一固定臂的一端和所述第二固定臂的一端之间，所述第三连接臂连接在所述第一连接臂的一端与所述第二连接臂的一端之间，所述第四连接臂连接在所述第一连接臂的另一端和所述第二连接臂的另一端之间，且所述第四连接臂通过连接销铰接在所述第一固定臂的另一端和所述第二固定臂的另一端之间，所述调节部固定在所述第三固定臂上，所述第三连接臂上设置有安装孔，所述调节部穿过所述安装孔。相应地，本专利技术还提供一种半导体设备，包括反应腔室，其中，所述反应腔室为本专利技术所提供的上述半导体设备。在本专利技术中，所述反射板与腔体的顶壁之间、所述传感器的光接收件的接收面和腔体的底壁之间均形成有预设夹角，当所述传感器与所述反射板之间无基片时，所述传感器的光接收件可以接收到反射光线，从而判断所述传感器与所述反射板之间无基片；当所述传感器与所述反射板之间设置有基片时，所述传感器的光接收件接收不到反射光线，从而判断所述传感器与所述反射板之间有基片。本专利技术对基片的检测时不限于基片的材料，不仅适用于对硅片的检测，也适用于对SOG片的检测，与现有技术相比，提高了基片检测的精确度，增大了适用范围。【附图说明】附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的【具体实施方式】一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中:图1所示的是现有技术中腔室内无基片时的检测示意图；图2所示的是现有技术中腔室内设置硅片时的检测示意图；图3所示的是现有技术中腔室内设置SOG片时的检测示意图；图4所示的是本专利技术所提供的实施方式中腔室内无基片时的检测示意图；图5所示的是本专利技术所提供的实施方式中腔室内设置有基片时的检测示意图；图6所示的是本专利技术所提供的支撑组件的侧试图；图7所示的是本专利技术所提供的支撑组件的俯视图。附图标记说明10、腔体；20:传感器；30:反射板；40:入射光线；50:反射光线；60:硅片；70 =SOG片；80:支撑组件；81:固定部；82:连接部；83:调节部；84:可拆卸的固定件；85:连接销；811:第一固定臂；812:第二固定臂；813:第三固定臂；821:第一连接臂:822:第二连接臂；823:第三连接臂；824:第四连接臂；90:基片。【具体实施方式】以下结合附图对本专利技术的【具体实施方式】进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的【具体实施方式】仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。作为本专利技术的一方面，提供一种反应腔室，该反应腔室包括腔体10和位置检测机构，如图3和图4所7K,该位置检测机构包括传感器20和反射板30,传感器20和反射板30分别设置在腔体10的底壁和顶壁上，传感器20包括光发射件和光接收件，所述光接收件的接收面与反射板30的反射面平行，反射板30用于反射所述光发射件所发射的入射光线40，所述光接收件可以接收反射板30所反射的光线，反射板30与腔体10的顶壁之间、所述光接收件的接收面与腔体10的底壁之间均形成有预设夹角。在本专利技术中，反射板30和腔体10的顶壁之间、所述光接收件的接收面和腔体10的底壁之间均形成有预设夹角，如图4所示，当传感器20与反射板30之间无基片时，传感器20的光发射件所发射的入射光线40经过反射板30的反射，反射光线50可以被所述光接收件接收，从而判断传感器20与反射板30之间无基片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种反应腔室，该反应腔室包括腔体和位置检测机构，该位置检测机构包括传感器和反射板，所述传感器和所述反射板分别设置在所述腔体的底壁和顶壁上，所述传感器包括光发射件和光接收件，所述光接收件的接收面与所述反射板的反射面平行，所述反射板用于反射所述光发射件所发射的光线，所述光接收件能够接收所述反射板所反射的光线，其特征在于，所述反射板与所述腔体的顶壁之间、所述光接收件的接收面与所述腔体的底壁之间均形成有预设夹角。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李雪菲，
申请(专利权)人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11