夹持式搬运治具制造技术

本实用新型专利技术是有关于一种夹持式搬运治具，包括有一底板、一承板以及多个夹持器，底板的四周边缘设有多个凹槽；承板放置于底板的上方，用以承载一晶圆片；在每一凹槽内设有对应的夹持器，每一夹持器包括有一顶推部、一与弹簧相连的连结部及一容置于凹槽的基部。其中，在多个夹持器夹持承板的状态下，每一弹簧的弹簧拉力使每一夹持器倾斜一角度并顶抵承板及晶圆片。由此，本实用新型专利技术在高压气体及砂浆的冲刷下，仍具有高度的固定性且不易产生破片，同时有助于产能的提升。

【技术实现步骤摘要】

本技术是关于一种夹持式搬运治具，尤指一种适用于太阳能面板工艺的夹持式搬运治具。
技术介绍
过去制作太阳能板时，其表面所用于吸收光能的晶圆片是为一般已知的亮面材质，然而，近几年研宄发现，若改变晶圆片的表面特性，例如:通过一种新式的湿式喷沙工艺，将过去常用的亮面材质改良为雾化表面，可在每单位面积下增加约为0.12%的太阳能转换率，其累积的转换电量是相当可观的。然而，上述的湿式喷沙工艺将在晶圆片的上表面施以高压干燥空气与砂浆的交互作用，若仍采用传统真空吸附或简易夹持的固定承载座形式，因晶圆片的厚度仅200微米，若没有完全贴附固定于承载座上，将会大幅提升破片及晶圆片位移的机率，以至于降低产能及良率。创作人缘因于此，本于积极创作的精神，亟思一种可以解决上述问题的夹持式搬运治具，几经研宄实验终至完成本技术。
技术实现思路
本技术的主要目的是在提供一种夹持式搬运治具，主要用于太阳能面板制作的湿式喷沙工艺中，以强化承载座对于晶圆片的夹持能力，在高压气体及砂浆的冲刷下，仍具有高度的固定性且不易产生破片，同时有助于产能的提升。为达成上述目的，本技术的夹持式搬运治具，包括有:一底板、一承板以及多个夹持器，底板的四周边缘设置有多个凹槽；承板放置于底板的上方，用以承载一晶圆片；在每一凹槽内设有对应的夹持器，每一夹持器包括有一顶推部、一连结部及一基部，基部容置于凹槽中，连结部是以一弹簧连接底板，顶推部邻近承板及晶圆片。其中，在多个夹持器夹持承板的状态下，每一弹簧的弹簧拉力使每一夹持器倾斜一角度并顶抵承板及晶圆片。由此，承板及晶圆片的各方向均匀受弹簧力的顶抵作用，使得二者之间不会产生相对滑移，可在恶劣的外在环境下，保有晶圆片的完整性。相对地，在多个夹持器未夹持承板的状态下，可通过一控制单元控制多个致动器顶抵每一基部，使每一夹持器朝相反侧倾斜一角度并未顶抵承板及晶圆片。由此，通过上述步骤可抵销夹持器的弹簧拉力，用以进行装载或卸除承板上的晶圆片。或者，在多个夹持器未夹持承板的状态下，可通过一控制单元控制多个致动器拉动每一顶推部，使每一夹持器朝相反侧倾斜一角度并未顶抵该承板及该晶圆片。由此，通过上述步骤可抵销夹持器的弹簧拉力，用以进行装载或卸除承板上的晶圆片。上述夹持式搬运治具可置放于一输送带上。由此，在批次量产的过程中，每一夹持式搬运治具可接续地置放于输送带上，用以进行连续性的湿式喷砂工艺或其他表面处理作业。上述承板可具有多个中空流道，且承板的上表面具有与多个中空流道连通的多个气孔。由此，在卸除晶圆片的过程中，可利用多个中空流道与多个气孔吹送出气体，产生气浮的效果，使得晶圆片漂浮在承板上，避免取出晶圆片时，因黏着于承板上的附着力作用而发生破片的情况。上述多个夹持器是分别设置于承板的四侧边，且每一夹持器可分别等距设置于承板的每一侧边。由此，通过前述夹持器的设置方式，提供各方向上均等的夹持力，使得晶圆片稳固地夹持于承板之上，且不易产生破片的情况。【附图说明】以上概述与接下来的详细说明皆为示范性质是为了进一步说明本技术的申请专利范围。而有关本技术的其他目的与优点，将在后续的说明与附图加以阐述，其中:图1是本技术第一较佳实施例的夹持式搬运治具的立体图。图2是本技术第一较佳实施例的夹持式搬运治具的分解图。图3是本技术第一较佳实施例的夹持式搬运治具在夹持状态下的A-A剖视图。图4是本技术第一较佳实施例的夹持式搬运治具在未夹持状态下的A-A剖视图。图5是本技术第二较佳实施例的夹持式搬运治具在未夹持状态下的A-A剖视图。【具体实施方式】请参阅图1及图2，是本技术第一较佳实施例的夹持式搬运治具的立体图及分解图。图中出示一种夹持式搬运治具I包括有一底板2、一承板3及多个夹持器4，并将一晶圆片31置放于承板3上。其中，本技术的夹持式搬运治具I是用于太阳能面板制作的湿式喷沙工艺中，以强化承载座对于晶圆片31的夹持能力，且在批次量产的过程中，每一夹持式搬运治具I是接续地置放于输送带(图未示)上，用以进行连续性的湿式喷砂工艺或其他表面处理作业。在本实施例中，夹持式搬运治具I是为一方形设计，由底部至顶部依序为底板2、承板3并在承板3上承载一晶圆片31，各组件的形状不以方形为限，可为其他种类的对称图形。底板2四周边缘设置有多个凹槽21，在本实施例中是为3*3的配置格局且为对称排列，其中，每一凹槽21是以一限位座211对夹持器4进行限位，使得夹持器4仅于该座体的容置空间内移动。因此，每一夹持器4是对应上述凹槽21，分别设置于承板3的四侧边且每一夹持器4可分别等距设置于承板3的每一侧边，提供各方向上均等的夹持力，使得晶圆片31稳固地夹持于承板3之上，且不易产生破片的情况。在所述承板3内另具有多个中空流道32，且承板3的上表面具有与多个中空流道32连通的多个气孔33。由此，在卸除晶圆片31的过程中，可利用多个中空流道32与多个气孔33吹送出气体，产生气浮的效果，使得晶圆片31漂浮在承板3上，避免取出晶圆片31时，因黏着于承板3上的附着力作用而发生破片的情况。接着，请同时参阅图3，是本技术第一较佳实施例的夹持式搬运治具在夹持状态下的A-A剖视图。如图所示，每一夹持器4包括有一顶推部41、一连结部42及一基部43，基部43容置于凹槽21的限位座211中，该连结部42是以一弹簧5连接底板2凸设的一固定柱20，以提供一弹簧拉力。此外，在本实施例中，连结部42并未设置于该夹持器4的质心位置，反而略为向上偏移，使得顶推部41因偏心效果较为邻近承板3及晶圆片31。由此，每一夹持器4的顶推部41向内顶抵而产生了整体性的夹持作用。因此，如图3所示，在多个夹持器4夹持承板3的状态下，该每一弹簧5的弹簧拉力使每一夹持器4倾斜一角度并顶抵承板3及晶圆片31。由此，承板3及晶圆片31的各方向均匀受弹簧力的顶抵作用，使得二者之间不会产生相对滑移，在恶劣的外在环境下，例如在本实施例在表面雾化的过程中会受到连续性的湿式喷砂的冲刷，但仍具有绝佳的固定性并保有晶圆片31的完整性。相对地，请参阅图4及图5，是本技术第一较佳实施例的夹持式搬运治具在夹持状态下的A-A剖视图，及第二较佳实施例的夹持式搬运治具在未夹持状态下的A-A剖视图。如图所示，若欲从夹持状态转换为未夹持状态，则可通过下述两种方式来进行:如图4所揭露的第一较佳实施例，是通过一控制单元控制多个致动器顶抵每一基部43，使每一夹持器4朝相反侧倾斜一角度并未顶抵承板3及晶圆片31，其最终位置就如图中虚线轮廓所示。同样地，如图5所揭露的第二较佳实施例，是通过一控制单元控制多个致动器拉动每一顶推部41，使每一夹持器4朝相反侧倾斜一角度并未顶抵承板3及晶圆片31，其最终位置就如图中虚线轮廓所示。由此，通过上述步骤可抵销夹持器的弹簧拉力，用以进行装载或卸除承板上的晶圆片。上述实施例仅是为了方便说明而举例而已，本技术所主张的权利范围自应以权利要求范围所述为准，而非仅限于上述实施例。【主权项】1.一种夹持式搬运治具，其特征在于，包括有: 一底板，其四周边缘设置有多个凹槽； 一承板，放置于该底板的上方，用以承载一晶圆片；以及 多个夹持器，每一夹持器包括有一顶推部、一连结部本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹持式搬运治具，其特征在于，包括有：一底板，其四周边缘设置有多个凹槽；一承板，放置于该底板的上方，用以承载一晶圆片；以及多个夹持器，每一夹持器包括有一顶推部、一连结部及一基部，该基部容置于该凹槽中，该连结部以一弹簧连接该底板，该顶推部邻近该承板及该晶圆片；其中，在该多个夹持器夹持该承板的状态下，该每一弹簧的弹簧拉力使每一夹持器倾斜一角度并顶抵该承板及该晶圆片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖文正，游原昇，何明果，
申请(专利权)人：拓志光机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71