高多层半导体测试板的钻孔方法技术

技术编号:11440292 阅读:135 留言:0更新日期:2015-05-13 10:28
一种高多层半导体测试板的钻孔方法,包括:提供基板;将所述基板分成多个等份,得到多个全等的钻孔区;在每个钻孔区内以等间距方式布设多个对位标,所述对位标在水平和垂直方向分别对齐设置;在每个对位标上对应放置一个第一铜盘,经曝光和蚀刻去除每个第一铜盘的部分区域,得到第一定位环和位于所述第一定位环内的第一圆板;及对每个钻孔区内的每个第一圆板进行冲孔得到多个通孔且所述通孔的孔径小于所述第一圆板的径长;及进行分区对位钻孔。上述钻孔方法中,由于对位标在横轴方向和纵轴方向对齐设置,从而提高局部对位精度,进而可使高多层半导体测试板整体对位精度提高。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种高多层半导体测试板的钻孔方法,其特征在于,包括:提供基板;将所述基板分成多个等份,得到多个全等的钻孔区;在每个钻孔区内以等间距方式布设多个对位标,所述对位标在水平和垂直方向分别对齐设置;在每个对位标上对应放置一个第一铜盘,经曝光和蚀刻去除每个第一铜盘的部分区域,得到第一定位环和位于所述第一定位环内的第一圆板;对每个钻孔区的每个第一圆板进行冲孔得到多个通孔,所述通孔的孔径小于所述第一圆板的径长;及采取CCD抓取定位进行分区对位钻孔。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李艳国史宏宇李娟
申请(专利权)人:广州兴森快捷电路科技有限公司宜兴硅谷电子科技有限公司深圳市兴森快捷电路科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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