一种半导体热处理设备的加热装置、维修件及维修方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种半导体热处理设备的加热装置、维修件及维修方法，该装置包括炉体保温层、加热丝以及将加热丝固定在保温层上的支撑绝缘件，还包括辅助维修绝缘件。辅助维修绝缘件架设在需特殊加固绝缘的两段相邻加热丝之间，其形状为小写的“h”形，包括支撑连接部和从支撑连接部垂直延伸出去的第一、第二和第三凸缘，第一和第二凸缘共面且沿支撑连接部相反方向延伸，第三凸缘与第一和第二凸缘平行，且与第二个凸缘方向相同，第二凸缘与第三凸缘之间的支撑连接部用于隔开相邻的所述变形加热丝和正常加热丝之间。因此，本发明专利技术能在加热丝变形需要维修和绝缘件有破损脱落的时候，将辅助维修绝缘件安装在有问题的加热丝处，确保加热丝可以继续安全使用。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术涉及，该装置包括炉体保温层、加热丝以及将加热丝固定在保温层上的支撑绝缘件，还包括辅助维修绝缘件。辅助维修绝缘件架设在需特殊加固绝缘的两段相邻加热丝之间，其形状为小写的“h”形，包括支撑连接部和从支撑连接部垂直延伸出去的第一、第二和第三凸缘，第一和第二凸缘共面且沿支撑连接部相反方向延伸，第三凸缘与第一和第二凸缘平行，且与第二个凸缘方向相同，第二凸缘与第三凸缘之间的支撑连接部用于隔开相邻的所述变形加热丝和正常加热丝之间。因此，本专利技术能在加热丝变形需要维修和绝缘件有破损脱落的时候，将辅助维修绝缘件安装在有问题的加热丝处，确保加热丝可以继续安全使用。【专利说明】
本专利技术涉及集成电路制造
，更具体地说，涉及一种用于热处理设备的加热丝部件的维修安装固定结构和维修安装固定方法。
技术介绍
在半导体热处理设备中，例如，立式扩散/氧化炉，是集成电路生产线前工序的重要工艺设备半导体之一。请参阅图1，图1所示为现有技术中立式热处理设备的局部结构示意图。如图所示，在半导体工艺热处理设备中，热处理装置主要包括设置在外侧的炉体外壳1、炉体保温层2、炉体内的反应腔室4(tube)、晶舟(boat)+晶圆(wafer)6以及保温筒5。加热元件3安装在保温层2的内表面上，给反应腔室4内的晶圆6加热，以进行硅片工艺中的扩散、退火、合金、氧化、薄膜生长等工艺。请参阅图2和图3，图2为图1中所示立式热处理设备中包括加热丝在内的炉体局部安装结构示意图，图3为图2中所示立式热处理设备中包括加热丝在内的炉体局部的剖面示图。如图所示，作为发热体的加热元件3通常包括加热丝31和将加热丝31固定在保温层2上的绝缘件32组成。最常用的安装形式为，加热丝31绕成螺旋状，贴着炉体外壳I的保温层2内壁面安装，支撑绝缘件32嵌入保温层2，并按一定的间距，将加热丝31安装在保温层2的内表面上。在上下相邻两圈加热丝31之间的间距，通常由固定在保温层2上的绝缘件32来维持保证，这样的绝缘件32将加热丝31按一定的间距上下分隔开。为了避免加热丝31在反复使用后因为变形或长时间高温下软化与相邻的加热丝31接触，在保温层2的圆周上设置有若干列绝缘件32。理论上绝缘件32列数越多，对于加热丝31越安全，但不利的影响是过多的绝缘件32会增加发热的能耗，提高炉体的成本。请参阅图4，图4为图2中所示立式热处理设备中加热丝经使用出现了变形的结构示意图。这种情况下的变形，通常是在热处理装置使用了一段时期之后，加热丝31在工艺温度和待机温度之间反复工作之后出现的变形，这是一种不可逆的变形。如果不及时采取措施，任其发展下去，有可能会使得相邻的两段加热丝31接触短路。另外，由于上述绝缘件32的材料大多为陶瓷等，在烧制工艺上的缺陷等原因，在使用过程中，会出现破碎脱落的情况，这时就会给此处的加热丝31带来不安全的隐患。请参阅图5，图5为图2中所示立式热处理设备中加热丝的支撑绝缘件32破损情况下的结构示意图。如图所示，破损后的绝缘件32脱落后，此处的加热丝31会出现悬空并失去支撑，很容易与相邻的加热丝31接触短连。因此，如何能维护消除上述两种不安全的隐患，成为目前业界急需解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种半导体热处理设备的加热装置，其主要包括了一种辅助维修绝缘件。在加热丝变形需要维修的时候，将辅助维修绝缘件安装在有问题的加热丝处，当支撑加热丝的绝缘件有破损脱落的，可将辅助维修绝缘件安装在破损的绝缘件附近，确保加热丝的安全性。为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下:一种半导体热处理设备的加热装置，其包括炉体保温层、加热丝以及将所述加热丝固定在所述保温层上的支撑绝缘件，其中，所述加热丝绕成螺旋状，贴着所述炉体保温层的内壁面安装，所述支撑绝缘件嵌入所述保温层，并按一定的间距，将所述加热丝安装在所述保温层的内表面上，其还包括辅助维修绝缘件。辅助维修绝缘件架设在需加固绝缘的两段相邻加热丝之间，其形状为小写的” h”形，包括支撑连接部和从支撑连接部垂直延伸出去的第一、第二和第三凸缘，第一和第二凸缘共面且沿所述支撑连接部相反方向延伸，第三凸缘与第一和第二凸缘平行，且与第二个凸缘方向相同，第二凸缘与第三凸缘之间的支撑连接部用于隔开相邻的所述变形加热丝和正常加热丝。作为可选择的技术方案，所述第一和第二凸缘分别放置于两段相邻加热丝与保温层之间，所述支撑连接部位于变形加热丝和变形方向相邻加热丝之间，所述第三凸缘放置在加热丝远离保温层的一面。作为可选择的技术方案，所述第三凸缘和第二凸缘安装后，其延伸方向与重力方向相同。作为可选择的技术方案，所述第一个凸缘延伸的距离大于所述第二个凸缘延伸的距离。作为可选择的技术方案，所述第三凸缘延伸的距离大于所述第一个凸缘延伸的距离。作为可选择的技术方案，所述第一、第二、第三凸缘与支撑连接部由陶瓷制成。作为可选择的技术方案，所述第一、第二、第三凸缘与支撑连接部一体成型制作。作为可选择的技术方案，所述第一、第二、第三凸缘的端点具有圆角或倒角特征。为实现上述目的，本专利技术还提供另一种技术方案如下:一种半导体热处理设备的加热装置的维修方法，在已经出现变形的加热丝和与变形方向相邻的加热丝之间，安装上述辅助维修绝缘件，其包括如下安装步骤:将所述第一和第二凸缘分别放置于两段相邻加热丝与保温层之间，所述支撑连接部位于变形加热丝和变形方向相邻加热丝之间，所述第三凸缘放置在加热丝远离保温层的一面。优选地，所述第三凸缘和第二凸缘安装后，其延伸方向与重力方向相同。为实现上述目的，本专利技术还提供又一种技术方案如下:一种半导体热处理设备的加热装置的维修方法，在修补支撑绝缘件有破损脱落情况下，安装上述辅助维修绝缘件包括如下安装步骤:将第一和第二凸缘分别放置于两段需加固绝缘的相邻加热丝与保温层之间，支撑连接部位于有破损脱落支撑绝缘件处的两段相邻加热丝之间，第三凸缘放置在加热丝远离保温层的一面。较佳地，第三凸缘和第二凸缘安装后，其延伸方向与重力方向相同。为实现上述目的，本专利技术还再提供了一种技术方案如下:一种辅助维修绝缘件，用于半导体热处理设备的加热装置，其架设在需加固绝缘的两段相邻加热丝之间，形状为小写的” h”形，包括支撑连接部和从支撑连接部垂直延伸出去的第一、第二和第三凸缘，第一和第二凸缘共面且沿所述支撑连接部相反方向延伸，第三凸缘与第一和第二凸缘平行，且与第二个凸缘方向相同，第二凸缘与第三凸缘之间的支撑连接部用于隔开相邻的所述变形加热丝和正常加热丝之间。从上述技术方案可以看出，本专利技术提供的装置能防止相邻两段加热丝接触，在需要修补的两相邻加热丝之间，设置一个修补绝缘部件，将两段加热丝有效的绝缘开，避免加热丝在长时间使用后的变形或高温下软化与相邻加热丝接触短连。同时，对修补绝缘部件的结构也做了特别的设计，能够保证在绝缘子安装到两段相邻的加热丝之间后，不会自行脱落下来。【专利附图】【附图说明】图1所示为现有技术中立式热处理设备的局部结构示意图图2为图1中所示立式热处理设备中包括加热丝在内的炉体局部剖面图图3为图2中所示立式热处理设备中包括加热丝在内的炉体局部，沿A-A箭头方向的剖面图图4为图2中所示立式热处理设备中加热丝经使用出现了变形的示意图图5为图2中所示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙少东，董金卫，赵燕平，周厉颖，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：