法兰机构制造技术

本发明专利技术提供一种法兰机构，能够抑制在装配孔和毂部之间发生卡住。法兰机构(30)具有：固定法兰(31)，其具备圆筒状的毂部(311)、刀具装配部(311a)和对切削刀具(20)的侧面(211a)进行支承的支承法兰部(313)；按压法兰(32)，其具有装配孔(321)，装配孔的内周(321a)支承于刀具装配部，该按压法兰(32)与固定法兰(31)夹持切削刀具(20)；以及固定螺母(33)，其将按压法兰(32)固定于固定法兰(31)，内周(321a)具有：引导部，其从固定螺母侧朝向切削刀具侧扩径；避让部，其从切削刀具侧朝向固定螺母侧扩径；以及支承棱部，其形成于引导部和避让部之间，按压法兰的支承棱部与刀具装配部接触并被其支承。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及法兰机构。
技术介绍
在对半导体晶片等被加工物进行精密的切削加工时，广泛使用被称作切割装置的切削装置。在切割装置中，利用被装配在主轴的前端的法兰机构夹持的切削刀具来切削被加工物(例如，参照专利文献1)。法兰机构构成为包括以下部分：固定法兰，其固定于主轴；按压法兰，其在与固定法兰之间夹持切削刀具；以及固定螺母，其将按压法兰固定于固定法兰。关于法兰机构，在形成于固定法兰的、与主轴的轴线平行地突出的毂部贯插于切削刀具的贯插孔的状态下，将按压法兰的装配孔装配于毂部，将固定螺母与毂部的外螺纹螺合，由此切削刀具被固定法兰和按压法兰夹持并固定。并且，在法兰机构中，按压法兰的装配孔的内径设定得比毂部的外径稍大至毂部能够插入于贯插孔中的程度。这里，装配孔的内径与毂部的外径的差被设定得小，以便使固定法兰的轴线和按压法兰的轴线位于同一轴线上。现有技术文献专利文献1：日本特开2005－191096号公报在这样的法兰机构中，装配孔的内径与毂部的外径的差是微小的，因此存在如下问题：在将按压法兰装配于固定法兰时，若按压法兰相对于固定法兰稍微倾斜，则会发生装配孔和毂部容易嵌合的、所谓的卡住。并且，法兰机构是要求组装精度的，因此，若由于卡住而对装配孔的内周或毂部的外周受造成损伤，则可能会不满足其组装精度，需要修理或更换。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种法兰机构，能够防止在装配孔和毂部之间发生卡住。为了解决上述课题并达成目的，本专利技术为一种法兰机构，所述法兰机构固定于被支承成能够旋转的主轴的前端，夹持对被加工物进行切削加工的环状的切削刀具，所述法兰机构的特征在于，所述法兰机构具有：固定法兰，其具有：圆筒状的毂部，其在前端部的外周形成有外螺纹；刀具装配部，其形成于毂部的轴向中间部，对切削刀具的内周面进行支承；以及支承法兰部，其形成为从毂部的轴向后端部向半径方向外侧突出，对切削刀具的一个侧面进行支承；环状的按压法兰，其在中心具有装配孔，该装配孔供毂部插入，该装配孔的内周支承于刀具装配部，通过该按压法兰与固定法兰夹持切削刀具；以及环状的固定螺母，其与毂部的外螺纹螺合，将按压法兰固定于固定法兰，夹持切削刀具的插套于毂部的按压法兰的装配孔的内周具有：引导部，其从切削刀具侧朝向固定螺母侧缩径，对按压法兰向毂部的插套进行引导；避让部，其从固定螺母侧朝向切削刀具侧缩径；以及支承棱部，其形成于引导部和避让部之间，按压法兰的支承棱部与固定法兰的刀具装配部接触而支承于所述刀具装配部。并且，在上述法兰机构中，优选引导部形成为曲面。专利技术效果根据本专利技术，在使内周扩径的引导部和避让部之间形成的支承棱部与固定法兰的刀具装配部接触，由此按压法兰被支承于刀具装配部，因此起到下述效果：能够减小刀具装配部相对于内周的接触面积，能够抑制在装配孔和毂部之间发生卡住。附图说明图1是示出实施方式的切削装置的结构例的立体图。图2是示出实施方式的法兰机构的结构例的剖视图。图3是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解立体图。图4是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解剖视图。图5是示出曲面部的剖视图。图6是示出按压法兰相对于固定法兰倾斜的状态的剖视图。图7是示出利用实施方式的法兰机构夹持厚度大的切削刀具的状态的剖视图。标号说明11：主轴；20：切削刀具；21a：内周面；211a：一个侧面；30：法兰机构；31：固定法兰；311：毂部；311a：刀具装配部；311d：外螺纹；312：主轴装配部；313：支承法兰部；32：按压法兰；321：装配孔；321a：内周；323a：引导部；323b：支承棱部；323c：避让部；33：固定螺母。具体实施方式参照附图对用于实施本专利技术的方式(实施方式)进行详细说明。本专利技术不受以下的实施方式中记载的内容限定。并且，以下记载的结构要素中，包括本领域技术人员容易想到的、实质上相同的结构要素。而且，以下记载的结构能够适当组合。并且，在不脱离本专利技术的主旨的范围能够进行结构的各种省略、置换或变更。〔实施方式〕图1是示出实施方式的切削装置的结构例的立体图。图2是示出实施方式的法兰机构的结构例的剖视图。图3是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解立体图。图4是示出实施方式的法兰机构的结构例的分解剖视图。图5是示出曲面部的剖视图。图1所示的切削装置1是利用图3所示的法兰机构30所夹持并固定的切削刀具20对被加工物进行切削的加工装置。切削装置1如图1所示地构成为包括：卡盘工作台2、移动构件3、摄像构件4和切削构件5。被加工物不特别限定，但例如为板状的半导体晶片或光器件晶片、板状的无机材料基板、板状的延展性材料等板状的各种加工材料。在本实施方式中，对在被加工物的表面形成有多条相互正交的分割预定线的情况进行说明。卡盘工作台2抽吸保持被加工物。卡盘工作台2形成为圆盘状，上表面形成为与水平方向平行的平面。卡盘工作台2由多孔陶瓷构成，并与未图示的真空抽吸源连接。移动构件3在X轴方向、Y轴方向和Z轴方向上使卡盘工作台2和切削构件5相对移动。移动构件3构成为包括X轴移动构件3a、Y轴移动构件3b和Z轴移动构件3c。X轴移动构件3a将卡盘工作台2支承成能够相对于主体部6在X轴方向(相当于切削进给方向)上相对移动。Y轴移动构件3b将切削构件5支承成能够相对于主体部6在Y轴方向(相当于分度进给方向)上相对移动。Z轴移动构件3c将切削构件5支承成能够相对于主体部6在Z轴方向(相当于切入进给方向)上相对移动。各移动构件3a～3c例如由马达、滚珠丝杠、螺母等构成。摄像构件4在切削加工前对分割预定线(间隔道)进行摄像，以便将切削构件5相对于被加工物的间隔道进行对准调节。摄像构件4例如为使用了CCD(Charge Coupled Device，电荷耦合元件)图像传感器的照相机等。切削构件5对被加工物实施切削加工。切削构件5如图3所示地构成为包括旋转驱动构件10、切削刀具20、法兰机构30和固定构件40。旋转驱动构件10以高速旋转驱动切削刀具20。旋转驱动构件10具备主轴11、主轴壳体12和未图示的马达。在主轴11的前端以能够装卸的方式固定法兰机构30，主轴11相对于主轴壳体12被支承成能够旋转。主轴11形成为朝向前端缩径的圆锥台形状。如图3和图4所示，在主轴1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种法兰机构，其固定于被支承成能够旋转的主轴的前端，夹持对被加工物进行切削加工的环状的切削刀具，所述法兰机构具有：固定法兰，其具有：圆筒状的毂部，其在前端部的外周形成有外螺纹；刀具装配部，其形成于所述毂部的轴向中间部，对切削刀具的内周面进行支承；以及支承法兰部，其形成为从所述毂部的轴向后端部向半径方向外侧突出，对所述切削刀具的一个侧面进行支承；环状的按压法兰，其在中心具有装配孔，所述装配孔供所述毂部插入，所述装配孔的内周支承于所述刀具装配部，通过所述按压法兰与所述固定法兰夹持所述切削刀具；以及环状的固定螺母，其与所述毂部的所述外螺纹螺合，将所述按压法兰固定于所述固定法兰，夹持所述切削刀具的插套于所述毂部的所述按压法兰的所述装配孔的内周具有：引导部，其从所述固定螺母侧朝向所述切削刀具侧扩径，对所述按压法兰向所述毂部的插套进行引导；避让部，其从所述切削刀具侧朝向所述固定螺母侧扩径；以及支承棱部，其形成于所述引导部和所述避让部之间，所述按压法兰的所述支承棱部与所述固定法兰的所述刀具装配部接触而支承于所述刀具装配部。

【技术特征摘要】
2013.10.31 JP 2013-2272631.一种法兰机构，其固定于被支承成能够旋转的主轴的前端，夹持对被加工物
进行切削加工的环状的切削刀具，
所述法兰机构具有：
固定法兰，其具有：圆筒状的毂部，其在前端部的外周形成有外螺纹；刀具装配
部，其形成于所述毂部的轴向中间部，对切削刀具的内周面进行支承；以及支承法兰
部，其形成为从所述毂部的轴向后端部向半径方向外侧突出，对所述切削刀具的一个
侧面进行支承；
环状的按压法兰，其在中心具有装配孔，所述装配孔供所述毂部插入，所述装配
孔的内周支承于所述刀具装配部，通过所述按压法...

【专利技术属性】
技术研发人员：畑亮，奥鸣研悟，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：日本;JP