一种高强度的机械手臂、控制方法以及机械手装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种高强度的机械手臂、控制方法以及机械手装置，包括呈线性依次铰接的前臂以及多个关节臂，还包括气囊以及气路系统；气囊粘附在前臂上，且用于支撑前臂，气路系统用于控制气囊腔体内的气压；通过气路系统对所述气囊充气，使所述气囊达到额定气压，以支撑前臂。本发明专利技术不改变现有机械手臂材质以及重量的前提下，通过在前臂上设置额定气压的气囊，在前臂的强度降低时，气囊可给予前臂一定的支撑力，使机械手臂的定位更加精准，防止前臂由于强度低产生晃动或偏移等现象，减少工作误差，同时可提高机械手臂的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体集成电路
，更具体的，涉及一种高强度的机械手臂、控制方法以及机械手装置。
技术介绍
机械手是目前在机械人
中得到最广泛实际应用的自动化机械装置，在工业制造、医学治疗、娱乐服务、军事以及太空探索等领域都能见到它的身影。尽管它们的形态各有不同，但它们都有一个共同的特点，就是能够接受指令，精确地定位到三维(或二维)空间上的某一点进行作业。机械手也广泛应用于半导体集成电路制造
中，由于集成电路的制造对于硅片的洁净度有极高的要求，因此，在半导体制造工厂中，取放、传输硅片的工作通常由硅片机械手进行。所述硅片机械手包括机械臂、控制机械臂移动的驱动系统以及安装在机械臂一端用于承载硅片的手爪三部分构成。通常，硅片机械手装置的工作过程包括:先将手爪夹持硅片；接着，机械臂在驱动系统的控制下，实现水平方向、垂直方向的平移或转动，带动手爪及硅片移动；当硅片移动到预定位置后，机械手装置从硅片上移开。现有的半导体领域内使用的机械手臂通常需要具备耐酸碱的特性，因此，机械手臂的材料往往为碳纤维、铝等材料。然而，当机械手悬臂尺寸增大时，尤其表现在机械臂的长度大大增加时，由本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高强度的机械手臂，包括前臂以及至少两个关节臂；所述前臂与所述关节臂呈线性轴连接，所述前臂的末端设有容纳盖，其特征在于，还包括：气囊，至少为一个，粘附在所述前臂上，用于支撑所述前臂；所述气囊上设有进气口、出气口以及第一压力表，所述第一压力表用于检测所述气囊腔体内的气压；气路系统，安装于所述容纳盖内并与所述气囊连通，用于控制所述气囊腔体内的气压；其包括与所述进气口连接的进气管路，以及与所述出气口连接的出气管路，所述进气管路上设有第一启闭阀，所述出气管路上设有第二启闭阀；其中，通过控制第一启闭阀以及第二启闭阀的开关，使所述气路系统对所述气囊充气，直至所述气囊达到额定气压，以支撑所述前臂。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李广义，何金群，赵宏宇，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11