【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种靶材组件，包括：背板，所述背板包括背面和与背面相对的固定面；在所述背板内设有水路，其特征在于，还包括：设置于所述背板背面的凹槽，所述凹槽与水路贯通，且凹槽截面宽度大于水路截面宽度，使凹槽截面与水路截面呈阶梯状；嵌于凹槽内的盖板，所述盖板置于阶梯部。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：潘杰，姚力军，王学泽，高建，
申请(专利权)人：余姚康富特电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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