【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】，本专利技术涉及二氧化钒薄膜及其制备方法。本专利技术是要解决现有的VO2薄膜在可见光区的透过率低的技术问题，本专利技术的波纹结构二氧化钒薄膜，由基片和附着在基片表面的二氧化钒层组成，其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。制法：一、利用射频磁控溅射方法在基片表面制备V2O5薄膜；二、热处理使V2O5转变成VO2薄膜；三、离子束溅射自组装，得到波纹结构的VO2薄膜。本专利技术的波纹结构二氧化钒薄膜在见光透过率最高接近70％，可作为智能窗使用，而且薄膜具有重复率高，方法简单的特点，适合工业化生产。【专利说明】
本专利技术涉及二氧化钒薄膜及其制备方法。
技术介绍
太阳光能量是取之不尽用之不竭的能源，其中，45%是可见光，49%是红外光，由于智能可控的高性能材料发展滞 后，对可见光的开发利用率不是很高，所以能有效的发掘一种利用太阳光能量的功能材料成为新材料技术发展的当务之急。另外当今社会近30~40%能源用于建筑物加热、制冷、通风和照明等用途，空调的使用是消耗能量最大的部分。通过玻璃进行室内室外能量交换是有效节约能源的关键领域，在建筑物玻璃上涂上薄膜材料，在...
【技术保护点】
一种波纹结构二氧化钒薄膜，其特征在于该薄膜由基片和附着在基底表面的二氧化钒层组成，其中二氧化钒层的表面形貌呈波纹状。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王锐，张昱屾，吴晓宏，李杨，仇兆忠，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙江;23
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