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本发明提供了一种靶材组件及其制备方法。所述靶材组件包括背板，所述背板包括背面和与背面相对的固定面，在所述背板内设有水路，所述靶材组件还包括：设置于所述背板背面的凹槽，所述凹槽与水路贯通，且凹槽截面宽度大于水路截面宽度，使凹槽截面与水路截面呈...
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