【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提出一种测试探针卡，在所述探针卡上具有多个探针，所述测试探针卡上还包括第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽的开口的形状不同。本技术测试探针卡采用定位槽代替现有技术中的定位孔，由于定位槽为非通孔，因此，杜绝了探针卡在安装过程中的一切误操作，提高了整个测试系统的安全性和有效性。【专利说明】测试探针卡
本技术涉及半导体
，特别涉及一种测试探针卡。
技术介绍
测试探针卡的应用面在半导体领域是非常广泛的。半导体测试过程中，探针卡是连接测试设备和被测对象(芯片、测试结构)的重要媒介。常用的测试探针卡照片的正面图如图1所示，探针卡的中心区为探针区14，具有若干探针11，在探针卡10上具有长方形定位孔12和圆形定位孔13，左右两侧的定位孔的形状不同，可以防止探针卡在安装过程左右颠倒。在测试设备探针卡的安装托盘上设置对应于定位孔的左右两个定位销，防止探针卡在测试过程出现移动。图2为图1中沿剖面线AB的剖视图，由图2可见，图1中的左右两个定位孔均为通孔。目前定位孔的设计无法避免探针卡正反面安装倒置的情况发生。若是由于误操作导致探针...
【技术保护点】
一种测试探针卡，在所述探针卡上具有多个探针，其特征在于，所述测试探针卡上还包括第一定位槽和第二定位槽，所述第一定位槽和所述第二定位槽的开口的形状不同。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王小宝，周柯，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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