本实用新型专利技术提供一种具有跳线结构的探针卡，包括：基板，设置于所述基板上的探针，设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应连接的金手指，以及设置于所述金手指上的测试连接点，还包括第一跳线和第二跳线，所述第一跳线和第二跳线分别与不同的两根所述金手指连接，本实用新型专利技术使得传统的探针卡无需更改现有两端结构的设计，也无需重新做光罩，就能实现四端测量法对电阻量测具有较高准确性和重复性的优点，从而大大节约了制作探针卡的成本。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术提供一种具有跳线结构的探针卡，包括：基板，设置于所述基板上的探针，设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应连接的金手指，以及设置于所述金手指上的测试连接点，还包括第一跳线和第二跳线，所述第一跳线和第二跳线分别与不同的两根所述金手指连接，本技术使得传统的探针卡无需更改现有两端结构的设计，也无需重新做光罩，就能实现四端测量法对电阻量测具有较高准确性和重复性的优点，从而大大节约了制作探针卡的成本。【专利说明】具有跳线结构的?米针卡
本技术涉及半导体测试装置，尤其涉及一种具有跳变结构的探针卡。
技术介绍
探针卡是一种测试工具，主要对裸芯进行测试，连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。半导体业界通过探针卡对常用的电阻进行测量的方法主要有两端测量法和Kelvin (开尔文)四端测量法:如图1所示，两端测量法对测试结构R的量测简单快捷，只需要两个量测单元(分别为SMUl和GND)，其缺点是连接量测单元的电缆的电压差计入了系统内部压降而造成测量误差，使测量结果不真实，在需要高精确性小阻值量测时有一点局限性。如图2所 示，Kelvin四端测量法需要四个量测单元(分别为SMU1、SMU2、SMU3和GND), Kelvin四端测量法能够准确量测到测试结构R两端的电压差，具有较高量测准确性，但是测试结构R在版图布局时需设计四端，每一端分别连出到测试结构R的一个焊盘上，再通过测试结构R上的四个焊盘分别连出到四个量测单元上。目前很多现有产品随着先进工艺的发展而引入一些具有阻值很小的特殊金属互连层(UTM，RDL, TSV等)，然而传统后端工艺与金属层电阻的相关性都比较大。由于探针卡对具有特殊金属互连层的芯片进行晶片验收测试(Wafer Acceptable Test, WAT)的测试结构以及进行可靠性测试的测试结构仍然使用两端结构设计方法，所以只能使用两端测量法。如果使用两端测量法测试其电阻，由于系统寄生的阻值，其结果的准确性和重复性都比较差。此外，很多现有的相关结构也都是沿用传统的两端连出设计，全部更改为四端连出设计需要重新生产光罩，产生的费用很高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种具有跳线结构的探针卡，使得传统的探针卡无需更改现有两端结构的设计，也无需重新做出光罩，就能实现四端测量法对电阻量测具有较高准确性和重复性的优点。为了解决上述问题，本技术提供一种具有跳线结构的探针卡，包括:基板，设置于所述基板上的探针，设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应连接的金手指，以及设置于所述金手指上的测试连接点，还包括第一跳线和第二跳线，所述第一跳线和第二跳线分别与不同的两根所述金手指连接。进一步的，每个所述金手指上设置有两个测试连接点，其中一个测试连接点用于接入信号，其中另一个测试连接点用于输出信号。进一步的，所述第一跳线和第二跳线分别均为插入拔出式跳线，所述第一跳线和第二跳线均通过插入于所述金手指上的一测试连接点与所述金手指连接。进一步的，将所述第一跳线连接的一根金手指对应连接的探针，与一测试结构的一端上设置的焊盘连接，将所述第二跳线连接的一根金手指对应连接的探针，与所述测试结构的另一端上设置的焊盘连接。进一步的，所述第一跳线和第二跳线均为具有导电性的金属材料所制成的跳线。进一步的，所述基板的形状为圆形。进一步的，所述探针位于所述基板的中央，所述探针连接点围绕所述探针呈圆形排列，所述金手指与所述探针连接点对应呈圆形排列。进一步的，所述基板上还设置有接地连接点。进一步的，所述基板上还设置有卡持机构。进一步的，所述探针的个数为20?40个。与现有技术相比，本技术公开的具有跳线结构的探针卡，包括:基板，设置于所述基板上的探针，设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应连接的金手指，以及设置于所述金手指上的测试连接点，还包括第一跳线和第二跳线，所述第一跳线和第二跳线分别与不同的两根所述金手指连接，由于通过对传统探针卡的跳线设计，使得传统的探针卡无需更改现有两端结构的设计，也无需重新做出光罩，就能解决传统的探针卡采用两端测量法量测电阻而无法消除系统寄生阻值的缺点，并能实现四端测量法对电阻量测具有较高准确性和重复性的优点。并且，本技术公开的具有跳线结构的探针卡也没要求增加测试的硬件配置和成本，在IC制造中对制造成本控制具有相当大的重要贡献。【专利附图】【附图说明】图1为传统探针卡对电阻进行两端测量法的结构示意图；图2为传统探针卡对电阻进行四端测量法的结构示意图；图3为本技术一实施例中具有跳线结构的探针卡的结构示意图；图4为本技术一实施例中具有跳线结构的探针卡对电阻进行四端量测法的结构示意图；图5为本技术一实施例中具有跳线结构的探针卡降低两端量测法误差的结果比较示意图。【具体实施方式】为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的【具体实施方式】做详细的说明。当然本技术并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本技术的保护范围内。其次，本技术利用示意图进行了详细的表述，在详述本技术实施时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应以此作为对本技术的限定。为了解决上述问题，本技术一实施例中提供一种具有跳线结构的探针卡的结构示意图，请参考图3，包括基板101，设置于所述基板101上的探针103、设置于所述基板101上与所述探针103通过所述基板101内电路相连的探针连接点105，设置于所述基板101上与所述探针连接点105对应连接的金手指107，以及设置于金手指107上的测试连接点109，所述具体跳线结构的探针卡还包括第一跳线Illa和第二跳线111b，所述第一跳线Illa和所述第二跳线Illb分别与不同的两根所述金手指107连接。在本技术中，通过在传统探针卡上增加跳线设计，使得传统的探针卡无需更改现有两端结构的设计，也无需重新做出光罩，就能对常用电阻实现四端量测法，从而解决了传统的探针卡采用两端测量法量测电阻而无法消除系统寄生阻值的缺点，并能实现四端测量法对电阻量测具有较高准确性和重复性的优点。并且，本技术公开的具有跳线结构的探针卡也没要求增加测试的硬件配置和成本，在IC制造中对制造成本控制具有相当大的重要贡献。本实施例中的所述第一跳线Illa和第二跳线Illb并不局限于一种探针卡，还可增加到使用于任何两端结构设计的探针卡，例如还可以为其他形式的探针卡。进一步的，所述第一跳线Illa和第二跳线Illb均为具有导电性的金属材料所制成的跳线，其目的在于所述第一跳线Illa和第二跳线Illb均将其连接的金手指进行电学连接，从而使分别与所述第一跳线Illa和第二跳线Illb连接的金手指对应连接的探针也进行电学连接。进一步的，所述金手指107的一端通过导线与对应的探针连接点105相连，所述金手指107的另一端设有两个测试连接点109，在测试过程中，两个测试连接点109均与一测试机台信号相连，例如，其本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种具有跳线结构的探针卡，包括：基板，设置于所述基板上的探针，设置于所述基板上与所述探针通过所述基板内电路相连的探针连接点，设置于所述基板上与所述探针连接点对应连接的金手指，以及设置于所述金手指上的测试连接点，其特征在于，还包括第一跳线和第二跳线，所述第一跳线和第二跳线分别与不同的两根所述金手指连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王笃林，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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