中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明涉及一种圆片级穿硅通孔TSV的制作方法,首先在硅片正反两面淀积氧化硅绝缘层,然后在正反两面的光刻胶上形成TSV图形,将TSV图形转移至硅片上;进行湿法腐蚀直至形成穿硅通孔;随后,湿法腐蚀掉硅片两面的氧化层;再次使用热氧化工艺在硅片...
  • 本发明涉及一种基于永磁铁和自动传输装置的样品极化系统,其特征在于包括永磁铁、自动传输装置、连接杆、导轨和盛放样品的小车,所述的导轨一端位于所述的永磁铁中心,另一端位于样品极化后进行物理化学性能测试的测点;所述的连接杆连接小车和自动传输装...
  • 本发明提供一种非对称柔性通信收发机及通信系统。根据本发明所述收发机,柔性通信控制单元按照非对称的通信要求,输出上行和下行独立变化的发射/接收控制信息给柔性频率合成单元生成发射/接收参考信号;发射时,柔性发射单元基于所述发射参考信号且按所...
  • 本发明涉及一种非规则准循环低密度奇偶校验码构造方法,包括以下步骤:确定待设计的校验矩阵的基矩阵的行参数和列参数;按行遍历所有列,利用汉诺塔数列构造生成矩阵H1;由公式pj,l=f(j+l)+j得到该位置的循环置换矩阵偏移值,将循环置换矩...
  • 本发明提供一种非易失性随机存储器件(100),其包括由若干存储单元块(111)构成的存储单元阵列(110)以及和所述存储单元阵列(110)相连接的外围电路;所述外围电路包括用于根据地址输入信息选中相应存储单元块的地址译码电路(120)、...
  • 本发明涉及一种相变存储器多级存储系统该系统包括由若干个相变存储单元(511、512)构成的相变存储阵列(510)、与所述相变存储阵列相连的行译码器(520)、列译码器(530)、写驱动电路(730)以及读出功能电路(720);所述行列译...
  • 本发明公开了一种光能捕获与存储微能源演示系统及制作方法。该系统包括4片串联的太阳电池(每片4.2V),两块串联的聚合物锂电池,太阳电能捕获与存储电路单元,该单元包括光敏传感器,LED灯,电控单元,在有光照条件下,太阳电池捕获光能储存于锂...
  • 本发明涉及一种传声器阵列结构可变的低空目标定位与跟踪系统,包括设置在监控区域内的多个传声器阵列节点,所述传声器阵列节点与监控中心实现通讯连接,所述传声阵列节点用于采集监控区域内的声音信号,一旦检测到目标后,对目标声音信号进行分析处理得到...
  • 本发明涉及一种用于无线传感网的低时延且能耗平衡的路由方法,包括以下步骤:网络初始化,每个节点建立自身的深度权值和邻居表,其中,深度权值等于节点距离sink节点的最短跳数成正比;将要传输的分组分为两种类型:时延敏感分组和非时延敏感分组,并...
  • 本发明提供一种基于有源带阻滤波网络的超宽带发射机。该超宽带发射机至少包括:包括正脉冲产生支路及负脉冲产生支路的调制脉冲发生器;包括分别连接在所述正脉冲产生支路输出端及负脉冲产生支路输出端的两条缓冲支路的第一缓冲模块;连接两条缓冲支路输出...
  • 本发明提供一种“H”形梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括:第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层;其中,第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔;所述中间结构层包括:形成在具有双器件层的含氧硅基片的边框、...
  • 本发明提供一种弯折形弹性梁的电容式加速度传感器及制备方法。该传感器至少包括:第一电极结构层、中间结构层及第二电极结构层;其中,第一电极结构层与第二电极结构层分别设置有电极引出通孔;所述中间结构层包括:基于具有双器件层的含氧硅基片所形成的...
  • 本发明提供一种石墨烯的制备方法,在氢气和惰性气氛下将半导体基底加热至810~910℃,保持该温度不变且通入碳源,采用化学气相沉积的方法在所述半导体基底表面进行反应,反应完毕后关闭碳源,并在氢气和惰性气氛下冷却至室温,完成在所述半导体基底...
  • 本发明涉及一种自锁圆片键合结构及制作方法,所述自锁圆片键合结构是通过键合下圆片上的凹槽结构和键合上圆片的凸台结构进行镶嵌形成自锁微结构,通过下凹槽结构和上凸台结构之间的键合材料键合或直接键合完成上下键合圆片的键合。其制作方法的特征是凹槽...
  • 本发明提供一种微机械谐振器,所述微机械谐振器至少包括:构成惠斯通电桥结构的谐振振子对,其中,所述谐振振子对包括两个具有轴对称结构的谐振振子结构、主支撑梁、第一耦合梁、第一锚点、第二锚点、驱动电极。与传统的电容驱动-压阻检测微机械谐振器相...
  • 本发明提供一种双平衡式三倍频器。该双平衡式三倍频器至少包括:工作在基波频段的90°第一输入电桥;均工作在基波频段且分别连接所述90°第一输入电桥的一个输出端的两个90°第二输入电桥;分别连接一个90°第二输入电桥的一个输出端的4个倍频电...
  • 本发明提供一种基于非易失随机存储器的嵌入式设备的休眠及唤醒系统,应用于嵌入式设备的操作系统中,其至少包括:一中央处理器及一具有CPU状态备份区和用以存储内存动态信息的系统RAM区的非易失随机存储器,该中央处理器接收到休眠信号时,挂起内存...
  • 本发明提供一种基于单存储器的嵌入式设备的启动系统,其至少包括:中央处理器,系统总线,外围总线设备,以及一单类型存储器,其中,所述单类型存储器通过所述系统总线与所述中央处理器连接,所述单类型存储器划分有启动程序存储区、内核存储区、文件系统...
  • 本发明提供一种于石墨烯表面制备高k栅介质薄膜的方法,先将石墨烯置于氧化物分子束外延室,并使所述氧化物分子束外延室保持预设的气压及预设的温度;然后向所述氧化物分子束外延室通入金属蒸气束流与氧化剂气流,使其于所述石墨烯表面反应并沉积形成金属...
  • 本发明提供一种于多层石墨烯表面制备高k栅介质的方法,首先于两层或两层以上的石墨烯表面采用直流磁控溅射法制备金属薄膜,以在所述石墨烯表面引入悬挂键;然后采用化学腐蚀法去除所述金属薄膜,并对所述石墨烯表面进行清洗和干燥;最后利用H2O为氧化...