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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种全光学微机械非致冷红外热成像芯片结构及制作方法技术
本发明涉及一种全光学微机械非致冷红外热成像芯片的结构及制作方法,所述的非制冷红外热成像芯片是由框架、弯折梁、可动微镜和长条形开口组成,其中,框架与中间悬浮的可动微镜构成像素元的冷结区和热结区;弯折梁连接框架和可动微镜;弯折梁由作为结构的...
用湿法腐蚀工艺制作截面为直角三角形的纳米梁加工方法技术
本发明涉及一种用湿法腐蚀工艺制作截面为直角三角形的纳米梁加工方法,其特征在于利用(100)晶向硅材料各向异性腐蚀特性,纳米梁形成后腐蚀即自动停止;形成梁的横截面为直角三角形,所述直角三角形的斜而为(111)面,侧面是(110)面,底面是...
一种悬臂梁结构、制作方法及应用技术
本发明涉及一种以硅各向异性腐蚀为关键技术制造的悬臂梁结构和制作方法,属于微电子机械系统领域。其特征在于,悬臂梁的断面为五边形,悬臂梁上表面为单晶硅(100)晶面,悬臂梁下表面由两个(111)晶面组成。悬臂梁结构是由各向异性腐蚀出来的,由...
由静电驱动大位移的微结构制造技术
本发明提供一种静电驱动垂直方向大位移变形的微结构,属于光电子器件领域。它由A、B两个部分紧密结合而成。它由A、B两个部分紧密结合而成,A、B之间相互绝缘,A部上的组件有外框架、左右两个副悬臂梁、左右两个副质量块、主悬臂梁、主质量块;B部...
一只传感器实现车辆加速或减速/刹车分级显示方法及装置制造方法及图纸
本发明涉及一种用一只加速度传感器实现车辆加速或减速/刹车方法及装置。特征在于在车辆上只放置一只加速度传感器,利用传感器对车辆行驶中速度改变的敏感特性,将车辆向前的加速度或刹车/减速信号经简便电路处理后,分别对车辆向前加速度显示及对刹车/...
一种纳米材料中间体的制备方法技术
本发明涉及一种纳米材料中间体的制备方法,其特征在于将金属单质(Ti、V、Zr、Co)和合金(TiMn基、Zr基、Mg基、稀土系)直接与氢反应,生成金属氢化物,而在金属氢化物分解过程中,膨胀的晶格发生收缩,经多次氢化物的形成与分解反应后,...
氢化球磨法制备纳米金属材料制造技术
本发明涉及氢化球磨法制备纳米金属材料,其特征在于与氢发生氢化反应的金属或合金装入球磨罐,罐的密封盖上安装有可承受10MPa的通气阀门;将球磨罐加热至100~250℃,抽真空至10↑[-3]Pa,保持15分钟;通入压力4~8MPa的氢气保...
稀土储氢合金的氢粉化容器及其粉化的方法技术
本发明涉及一种储氢合金的氢粉化容器及其粉化的方法,其特征在于所述的粉化容器为直立的容器,在容器的内部有一个承料器,承料器为带有折边的盘状体,在盘状体的平面上开有小孔,承料器通过中间的孔安放在一个支架上,支架安放在氢粉化容器的底部,承料器...
一种能承受高压或真空的球磨罐制造技术
本实用新型涉及一种能承受高压或真空的球磨罐,包括罐体、罐盖,其特征在于罐体的顶部有一圆形的沟槽,沟槽内放置一个截面上部为V字型凹槽的密封圈,在沟槽外侧均匀分布有六个固定用的螺孔,在罐盖的下部有一与罐体顶部V字型凹槽的密封圈相对应的圆形的...
一种液-液萃取装置及萃取方法制造方法及图纸
本发明涉及了一种液-液萃取装置及萃取方法,其特征在于所述的装置由圆盘部件和驱动马达构成;其中圆盘部件(1)包含两个或两个以上的微管道网络单元;所述的微管道网络单元在圆盘上以圆盘圆心为基点呈圆形阵列排布;每个微管道网络单元靠近圆心的一端连...
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