本发明涉及一种微机械加速度计圆片级封装工艺，其特征在于，采用粘接键合和深反应离子刻蚀微机械体加工工艺技术相结合，所述的圆片级封装工艺步骤是：使用各向异性腐蚀溶剂氢氧化钾双面同时腐蚀出保护腔体和未穿通的引线通孔；使用干刻蚀型苯丙环丁烯，涂...

本发明涉及一种用波形比较法进行冲击加速度传感器横向响应的测试方法，利用波形比较法，将标准加速度传感器和待测试加速度传感器同时安装到金属杆上，金属杆自由落下与金属砧发生碰撞产生高幅值的冲击加速度，并利用双通道数据采集方式直接记录冲击碰撞过...

本发明涉及一种对称直梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。其特在于所述的加速度传感器由一个中心对称的质量块、外部支撑框架、质量块与外部支撑框架相连接的八根上下对称直弹性梁结构以及上、下盖板组成。每根直弹性梁的一端连接在与弹性梁平行的质...

本发明涉及一种Ｌ梁压阻式微型加速度计及其制作方法，包括支撑主框架体、弹性梁、质量块、盖板等，其特征在于所述的汤型梁呈Ｌ形，Ｌ形弹性梁的长臂与支撑主框架体的边框相连，质量块通过Ｌ形弹性梁支撑悬于支撑边框体的中间，Ｌ形弹性梁的短臂与质量块上...

本发明涉及硅基带锁止功能的阈值可调加速度开关传感器及制作方法，其特征在于所述的加速度开关传感器是由绝缘衬底上的锚区和硅框架、单端固支在锚区的低阻硅悬臂梁、绝缘衬底上的金属静电驱动导电定极板、悬臂梁下表面上的绝缘介质层、介质层上金属接触电...

本发明涉及一种基于闪耀光栅和热堆探测器的微型集成光栅光谱仪及制作方法，其特征在于由盖板、热堆阵列芯片和光栅芯片按顺序集成组合而成；其中盖板包括一个两面腐蚀的通光孔和下表面的浅槽；热堆阵列芯片的支撑框架支撑整个膜结构；热堆位于介质薄膜上面...

本发明涉及分子印迹聚合物和荧光共轭聚合物构建的复合材料、制备及应用，其特征在于所述的复合材料由荧光共轭聚合物、连接单元和分子印迹聚合物，其中连接单元作为荧光共轭聚合物侧键与荧光轭聚合物共价连接，同时连接单元与分子印迹聚合物共价连接。制备...

本ＤＮＡ微通道电泳芯片检测仪，由运动机构、芯片台的控制、光路对焦、图象监测、步进电机控制、用户工作界面等组成。其中，四色微通道电泳根据共聚焦荧光检测原理设计，电泳微芯片采用微电子机械工艺加工，并应用高灵敏度激光诱导荧光检测方法，由计算机...

本发明涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端处质量检测灵敏度...

本实用新型的同工酶生化检测微系统包括微流控制芯片和温控装置及电泳电极模块。本实用新型的分析仪器包括：光源和光学元件模块、信号采集处理及仪器自动控制模块和用户工作界面模块等组成。本实用新型采用微流控芯片电泳作为一种新型的技术平台具有快速高...

本实用新型涉及一种模拟受体信号分子的多肽生物芯片结构，其特征在于所述的多肽芯片是在玻璃底层（１）上镀金表面膜（２），再在其上固定葡聚糖凝胶层（３），而所述的葡聚糖凝胶层（３）连有一个多肽分子上的６－氨基己酸作为连接臂（１０），连接臂（１...

一种电泳微芯片的制作方法，其特征在于该方法包括下列步骤：（１）电泳微芯片的设计：根据电泳微芯片的功能要求，结合相应的工艺条件，考虑以下几个参数：进样泳道和分离泳道的宽度、长度、管道的形状（包括弯道、弧度、不规格形状等）和管道间的距离等进...

一种毛细管电泳芯片分离检测尿蛋白的方法，其特征在于首先通过微加工工艺制作石英介质的毛细管电泳芯片，然后在管道中冲入筛分介质，并在加样池中加入检测样品，最后将加样后的毛细管电泳芯片置于光学检测平台上，各池中插入相应电极，施加适当时序和幅值...

一种微生化检测和分析方法，包括紫外检测，其特征在于，将预处理后的待测样品加入微通道芯片中进行电泳，在电场的作用下，不同长度的片段将按不同的迁移率分开，通过单色仪光检测口，样品吸收特定波长的光产生吸收峰，再通过光路系统进行会聚和光电倍增管...

本发明提供了一种无损检测Ⅲ－Ⅴ族化合物半导体ＩｎＰ与ＧａＡｓ基材料的直接键合结构质量的方法。对ＩｎＰ－ＧａＡｓ直接键合结构减薄为１００－２５０μｍ，进行红外吸收光谱特性的二维扫描探测发现，某些区域在波长３．５１μｍ附近出现吸收峰，表明该...

本发明提供一类适用于电化学电容－电压（ＥＣＶ）方法测量锑化物半导体材料载流子浓度剖面分布电解液，目的在于提高电化学电容－电压方法测量锑化物材料载流子浓度的准确性。其基本特征在于：基础溶液为酒石酸钾钠的水溶液；在测量不同导电类型（ｐ型或ｎ...

本发明提出了一种玻璃微流控芯片及制作方法，更确切地说是一种基于ＳＵ－８光敏胶做中间层的微流控芯片及制作方法，本发明采用玻璃作衬底材料，ＳＵ－８做中间层，芯片制作过程对玻璃表面的平整度不敏感。本方法通过一层稀释的ＳＵ－８层实现先光刻显影制...

本发明涉及一种微流体芯片电泳分离检测同工酶活性的方法，其特征在于首先通过微加工工艺制作石英介质的微流体芯片，然后在芯片微管道中加入同工酶反应所需要的辅酶、底物、缓冲液及筛分介质等各种成分，并在加样池中加入待检测样品，最后将加样后的微流体...

本发明涉及一种醛基修饰的蛋白质芯片基片及其制作方法，其特征在于以普通玻璃基片或硅片作为载体，将活性官能基团醛基引入基片表面，生成能够有效牢固固定蛋白质的蛋白质芯片基片。其置备方法主要包括羟基化、ＡＰＴＥＳ的自组装和对苯二甲醛的组装三步。...

一种生物大分子纯化回收的方法及装置，所述的方法是利用电泳电极的选择性切换通过电泳方式将待回收纯化的生物大分子导入收集池，从而完成生物大分子的回收纯化。首先在位于主泳道两端的电极上加载电压，使得样品在主泳道上得以分离。同时通过光学检测方法...