一种基于光纤超声超结构光栅的声光可调滤波器，启特征在于它由产生反射谱线的光纤光栅、超声辐射器、聚能器、超声吸收器、声吸收材料以及支架构成；在超声辐射器和光纤光栅之间安装聚能器，超声辐射器与聚能器面积大的一端表面粘结；光纤光栅的另一端安装...

本发明涉及一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用。其特征在于所述的扭转微镜面位于上电极和下电极构成的隔离空间内，其扭转的角度随驱动器的上电极和下电极施加的电压调节。其制作方法是利用ＭＥＭＳ中的光刻、腐蚀、键合、溅射和等离子硅深刻蚀...

本发明提供了一种利用可调性光子晶体自准直效应实现光束控制的方法、制作的光束调节器及应用。其特征在于在自准直效应的频率范围内，该器件具有特殊的光束控制原理。利用可调介质参量，例如非线性极化率，和光子能带结构的相互作用，对自准直点附近的色散...

本发明涉及一种基于双光纤椭圆光斑准直器的２×２ＭＥＭＳ光开关。其特征在于：（１）光开关采用一对双光纤椭圆光斑准直器和ＭＥＭＳ微镜耦合而成；（２）双光纤椭圆光斑准直器的出射光束束腰光斑为椭圆形光斑，即在两个互相垂直方向上的光斑半径不相等；...

本发明涉及一种椭圆光斑的光纤准直器（ｃｏｌｌｉｍａｔｏｒ）。其特征在于：（１）光纤准直器的出射光斑为椭圆形光斑，即在两个垂直方向上的光斑半径不相等；（２）光纤准直器的准直透镜包含柱面，将圆形光斑变成椭圆光斑；（３）准直透镜表面镀增透膜以...

一种微小直径的光耦合装置，包括光纤、球透镜、保护套或保护胶，其特征在于，（１）．两个球透镜表面镀以增透膜，使其结合部位熔融，构成透镜系统，其球心距离满足光学设计要求；（２）．不带倾角的光纤端面位于球透镜系统的焦点位置上，与透镜系统熔融在...

本实用新型涉及一种微机械光开关，属于微机械领域。其特征在于（１）上、下两电极分别位于二个形状相似的二个外框架内，含上电极的上外框架放在另一外框架上面，彼此由绝缘氧化物层绝缘；（２）４个Ｖ型槽位于上电极所在的外框架的上表面，它们与镜子均呈...

本发明涉及一种氢氧化钾溶液对（１００）硅上＜１００＞晶向的凸角补偿方法，属于微机械领域。其特征在于本发明提出了“工”字形和“Ｙ”形二种凸角补偿方法，给出相应的计算公式。“工”形补偿可获得方正的反射面，“Ｙ”形补偿的微镜，反射面呈底角为７...

本发明涉及基于微机械技术的Ｎ×Ｎ光开关，其特征在于先制作２Ｎ个１×Ｎ或Ｎ×１光开关，然后将１×Ｎ或Ｎ×１光开关的输入输出系用全连接熔接。采用压电材料作为驱动方式，包括输入输出光纤阵列、夹持板、聚焦透镜、反射镜和驱动装置的连接方式。所采用...

本发明涉及一种一维紫外到可见光波段光子晶体的材料及制备方法，属于光电子技术领域。其特征在于以石英作衬底，利用超高真空电子束蒸发在石英衬底上交替生长ＳｉＯ↓［２］、ＴｉＯ↓［２］薄膜，各５～１０层，设计ＳｉＯ↓［２］薄膜厚度１０ｎｍ～９６...

本发明涉及一种基于｛１００｝晶面硅锭制作的红外闪耀光栅结构。其关键是对｛１００｝晶面硅锭进行特定角度θ↓［ｃ］切割形成基片，再对基片进行常规半导体工艺，包括光刻、氧化、各向异性湿法腐蚀等，从而制作出特定的闪耀光栅倾角，实现闪耀光栅结构；...

本发明涉及一种采用一次离子交换工艺在玻璃基片上制作平面集成Ｂｒａｇｇ波导光栅的方法。其特征在于所述的方法采用微细加工工艺在玻璃基片表面制作出周期性条形扩散窗口，而后将玻璃基片放入含有高极化率掺杂离子的熔盐中进行离子交换，离子交换过程中通...

本发明涉及一种玻璃基硅光波导材料的制备方法。该材料是以玻璃为衬底，硅为导波层。其制备方法为：将绝缘体上的硅材料（ＳＯＩ）的顶层硅和玻璃片的抛光面常规清洗、烘干后进行键合，键合后利用自停止效应去除ＳＯＩ硅片的底层硅。该材料和制作工艺的优点...

本发明提供了一种玻璃光波导的制作方法，其主要特征是：首先通过离子交换工艺制备平板光波导，而后采用干法刻蚀或者湿法腐蚀工艺在平板光波导的基础上获得条形光波导或者脊形光波导。制作工艺是（１）用离子交换工艺在玻璃的表面获得扩散层；（２）通过光...

本发明涉及一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及其制备方法。针对微观下静电驱动力小的问题，采用硅梁和二氧化硅膜作为共同支撑部件，共同支撑中间可动部件。既增加了支撑强度又提高了静电力驱动下的位移；针对用梁支撑的可动结构在后续工艺中粘上...

本发明涉及一种波导和光纤的耦合方法，其特征在于采用调节架单向调整光纤和波导，利用探测器监控方法确定光纤和波导相对位置，使用一对放电电极释放的放电电弧，熔融光纤和波导，达到低损耗的光纤和波导耦合的方法。其主要在于利用调节架对光纤和波导进行...

本发明提供了一种基于光子晶体自准直的偏振分束器及其分束方法。其特征在于：首先选定一光子晶体，含有两个偏振态且频率为所述光子晶体的自准直频率的入射电磁波经该光子晶体后，将会发生自准直效应，两个偏振态将沿不同方向传播，实现偏振分束。本发明利...

本发明提供一种二维光子晶体自准直马赫－曾特尔干涉仪及其设计方法，其中所述的设计方法包括如下步骤：步骤１、选定材料，确定材料折射率，选择正方晶格光子晶体的类型，确定结构参数；步骤２、利用平面波展开法计算该结构的等频图，得到具有自准直现象的...

本发明涉及一种工业用毫米波避碰雷达系统，由天线、收发组件、中频放大电路、函数发生器、信号处理及报警、电源等六个单元组成。特征是函数发生器产生的三角波作为收发组件中的压控震荡器的调制信号，送入压控荡器，使之产生频率按三角波变化的毫米波信号...

本发明涉及一种全固态集成小型毫米波防撞雷达装置，其特征在于，由天线、收发组件、线性调制单元、中频放大系统、信号处理系统、声光显示报警装置六个单元组成，采用２４ＧＨＺ的高频载波以及收发小型平面微带天线。线性调制单元产生一幅度、偏置和频率可...