一种扭转梁大位移的微机械光开关制造技术

本实用新型专利技术涉及一种微机械光开关，属于微机械领域。其特征在于（１）上、下两电极分别位于二个形状相似的二个外框架内，含上电极的上外框架放在另一外框架上面，彼此由绝缘氧化物层绝缘；（２）４个Ｖ型槽位于上电极所在的外框架的上表面，它们与镜子均呈４５度角；扭转梁通过扭转梁固定点固定于外框架底部，扭转梁和可动上电极相连；镜子竖直位于可动上电极的前端；（３）下电极固定在低于外框架的表面的平面面上，形成一个空间。当上外框架叠在其上并施加电压时，上、下电极间产生电压差，使上电极受到向下运动的力带动扭转梁产生扭力使镜子向下移动，处于“开”状态。因而具有驱动电压低、镜子位移大、结构的谐振频率高特点，使开关速度达十分之一毫秒量级。（*该技术在2012年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种微机械光开关，更确切地说，涉及一种通过扭转梁扭转产生大位移的微机械光开关。属于微机械领域。据有关报道，日本人近年来用电磁力驱动，尽管可使镜子位移达几百个微米，但是不利于集成化生产。对于静电驱动的光开关，工程上要求驱动电压不能太高，所以驱动力有限。常用的方法是减小悬臂梁的弹性常数，例如增加悬臂梁的长度，从而导致结构所占面积增大，且使开关速度减慢。由此可见，设计出一种驱动电压较低而镜子位移又足够大，能有效的切换光路而又有利于集成化生产、开关速度又快的微机械光开关，已成为人们的一种期望。本技术的目的是通过设计出一种新型结构的微机械光开关实施的。其特征在于(1)微机械光开关的上、下两电极分别位于二个形状相似的上、下二个外框架内，两个外框架之间由绝缘氧化物层彼此绝缘，而含上电极的外框架放在另一外框架上面。(2)自对准方案设计的四个V型槽位于上电极所在的外框架的上表面，它们与镜子均呈45度角；扭转梁是通过扭转梁固定点固定于外框架底部，扭转梁和可动上电极相连。镜子竖直尽可能位于可动上电极的前端，4根光纤分别固定于V型槽内，每根光纤的轴线和镜子的夹角也是45度。(3)下电极固定在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扭转梁大位移的微机械光开关，包括自对准方案设计出４个Ｖ型槽，其特征在于：（１）上、下两电极分别位于二个形状相似的二个外框架内，含上电极的上外框架放在另一外框架上面，彼此由绝缘氧化物层绝缘；（２）４个Ｖ型槽位于上电极所在的外框架的 上表面，它们与镜子均呈４５度角；扭转梁通过扭转梁固定点固定于外框架底部，扭转梁和可动上电极相连；镜子竖直位于可动上电极的前端；（３）下电极固定在低于外框架的表面的平面面上，形成一个空间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王浙辉，李铁，王跃林，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]