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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有4303项专利
一种光子芯片的制备方法及光子芯片技术
本发明涉及半导体光电技术领域,特别涉及一种光子芯片的制备方法及光子芯片。通过提供一光子结构;所述光子结构包括支撑衬底和位于所述支撑衬底上的钽酸锂层;在所述钽酸锂层上形成图形化的光刻胶层;以所述图形化的光刻胶层为掩膜,对所述钽酸锂层进行刻...
一种蚕丝蛋白皮层电极、蚕丝蛋白电极器件及制备方法技术
本发明涉及生物材料加工与脑功能探测领域,尤其涉及一种蚕丝蛋白皮层电极、蚕丝蛋白电极器件及制备方法。通过基于预制的蛋白溶液,静置挥发得到蛋白膜;对蛋白膜按照目标定向结晶方向进行拉伸处理,并固定干燥预设时长,得到拉伸后的蛋白膜;获取硅基掩膜...
一种高容差集成可调硅光谐振器及其制备方法技术
本发明涉及一种高容差集成可调硅光谐振器及其制备方法,所述硅光谐振器由多模干涉耦合器(1)、第一热移相器(2)、第二热移相器(3)、跑道型波导(4)和模式转换器(5)组成;所述多模干涉耦合器(1)和第一热移相器(2)组成马赫曾德尔型光开关...
生化检测微流控芯片及其检测方法技术
本发明提供一种生化检测微流控芯片及其检测方法,所述生化检测微流控芯片包括玻璃载体,所述玻璃载体内形成有光传输介质和样品池;所述样品池形成有延伸至所述玻璃载体表面的进样通道和出样通道。其是使用玻璃一体化成型的微流控芯片,其能够实现核酸病毒...
一种测试装置及测试方法制造方法及图纸
本发明提供一种测试装置及测试方法,测试装置包括:线缆、测试板、芯片安装位、样品转接架、连接装置和探测杆;测试板上设置了M个内置孔,M为大于1的自然数;芯片安装位设置于测试板上,用以安装芯片;连接装置设置于测试板上,用以将测试板与样品转接...
一种多栅指GaN HEMT器件的静态热阻提取方法技术
本发明提供一种多栅指GaN HEMT器件的静态热阻提取方法,该结合二维物理仿真、三维有限元热仿真和红外热成像测试,考虑了多栅指GaN HEMT器件沟道内不均匀的热耗散功率分布以及栅指间和栅指内的电热耦合效应,最终与红外热成像结果进行对比...
一种蛋白微针的制备方法及一种蛋白微针技术
本申请涉及微针制造技术领域,特别涉及一种蛋白微针的制备方法及一种蛋白微针。本申请采用图案化刻蚀法对蛋白薄膜进行刻蚀,以制备蛋白微针,具有微针边缘光滑、成品率高、加工均一性好,适用于大规模生产等优点。
采用反应-扩散机理的器件老化模型以及建模方法技术
本发明提供一种采用反应‑扩散机理的器件老化模型以及建模方法。所述模型包括退化阶段模型与恢复阶段模型,退化阶段模型和恢复阶段模型均分为第一周期和后续周期,第一周期的退化阶段模型采用第一时间指数描述阈值电压的变化,第一周期的恢复阶段模型采用...
单沟道微热导检测器及其制备方法技术
本发明提供一种单沟道微热导检测器及其制备方法,在基板中集成了导电连接件,用于替代外接引线,避免了接触电阻的形成,减小了检测器的零点误差和噪声干扰;取消了参考沟道,将参考沟道的热敏电阻直接制备于基板中,避免了参考沟道中气流扰动形成的噪声,...
采用电荷俘获-释放机理的器件老化模型以及建模方法技术
本发明提供一种采用电荷俘获‑释放机理的器件老化模型以及建模方法。所述采用电荷俘获‑释放机理的器件老化模型包括退化阶段模型与恢复阶段模型,退化阶段和恢复阶段模型均分为第一周期和后续周期,第一周期采用第一系列拟合参数描述阈值电压的变化,后续...
集成电容角度传感器的MEMS万向节器件及其制备方法技术
本发明涉及一种集成电容角度传感器的MEMS万向节器件及其制备方法,其中,MEMS万向节器件还包括内轴电容角度传感器、外轴电容角度传感器以及垂直隔离结构;内轴差分电容角度传感器,包括一对内轴角度传感电容;外轴差分电容角度传感器,包括一对外...
一种核酸提取电磁控装置制造方法及图纸
本发明提供一种核酸提取电磁控装置,所述核酸提取电磁控装置包括电磁控制件和圆柱形磁铁,所述电磁控制件包括依次上下设置的上层线圈组和下层线圈组;所述上层线圈组包括设于同一平面上的若干个呈矩阵分布的第一平面线圈;所述下层线圈组包括设于同一平面...
一种声表面波传感器制造技术
本发明涉及一种声表面波传感器,包括:衬底;压电薄膜,设置在所述衬底上;输入端换能器和输出端换能器,均设置在所述压电薄膜上;所述输入端换能器和输出端换能器之间形成检测区域;第一反射端,设置在所述电薄膜上,并位于所述输入端换能器形成检测区域...
具有片上惠斯通电桥的微热导检测器及其制备方法技术
本发明提供一种具有片上惠斯通电桥的微热导检测器及其制备方法,在基板中集成了导电连接件,用于替代外接引线,减少了外接引线产生的接触电阻,减少了检测器的噪声干扰,提高了检测器的信噪比,从而降低了检测器的检测限,且对外仅提供四个焊盘接口,方便...
一种基于DNA框架结构的纳米光学编码技术及应用制造技术
本申请涉及生物技术领域,具体涉及一种基于DNA框架结构的纳米光学编码技术及应用。通过在DNA四面体构型上组装不同的荧光分子的荧光共振能量转移效应作为编码信息,并构建纳米编码探针检测系统,利用磁珠与捕获链形成复合物,捕获链与靶标分子的一部...
一种雾计算网络的资源调度方法技术
本发明涉及一种雾计算网络的资源调度方法,包括以下步骤:确定需要卸载辅助计算任务的卸载雾节点;遍历所述卸载雾节点的辅助雾节点,获取所述辅助雾节点的计算资源信息和通信效率信息;根据所述计算资源信息和通信效率信息对所述辅助雾节点进行综合评价,...
一种基于多尺度融合的野外小目标检测方法技术
本发明涉及一种基于多尺度融合的野外小目标检测方法,包括:接收野外可见光图像,并对所述野外可见光图像进行对比度增强处理;将对比度增强处理后的野外可见光图像输入至多尺度融合小目标检测模型,得到目标检测结果;其中,多尺度融合小目标检测模型包括...
一种提高匀胶平整性及均匀性的方法技术
本发明涉及一种提高匀胶平整性及均匀性的方法,包括如下步骤:提供任意衬底,将吸附性材料固定在衬底边缘,形成结合体;将结合体吸附在匀胶机上匀胶,即得到表面胶层厚度均匀的衬底。本发明解决了现有光刻技术中因胶层厚度不均匀导致的掩模版和衬底不能完...
一种基于SiCOI的主动激发式无线无源高温热流传感器制造技术
本发明涉及一种基于SiCOI的主动激发式无线无源高温热流传感器,所述传感器由下至上依次包括:SiCOI晶圆(10)、下绝缘层(20)、下金属层(30)、上绝缘层(40)和上金属层(50)。本发明利用无线传输特性提高了测量的精确度,避开信...
一种太赫兹近场成像装置、信号提取方法制造方法及图纸
本发明涉及一种太赫兹近场成像装置、信号提取方法。近场成像装置包括:光源,用来产生照明光束;分束器,用来将光源发出的所述照明光束转化为第一参考光束和第一探测光束;参考光路,包括电光晶体和第一反射镜,所述参考光路通过调节所述电光晶体的主轴方...
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