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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种玻璃微透镜阵列及其制备方法技术
本发明提供一种玻璃微透镜阵列及其制备方法,通过将模塑工艺与局部热回流工艺相结合,成功制备出尺寸和矢高均突破传统工艺限制的玻璃微透镜阵列,且局部热回流工艺能够使玻璃衬底的表面分子软化,从而大幅度降低微透镜表面的粗糙度,显著提升光学透射效率...
一种基于绕组顺序的平面变压器漏感控制方法技术
本发明涉及一种基于绕组顺序的平面变压器漏感控制方法,包括:将一匝原线圈放置在第一层,并执行以下确定流程:计算前序绕组末尾处的磁场强度,并根据所述磁场强度确定放置在所述前序绕组的末尾的一匝线圈的类型,得到临时绕组;其中,前序绕组为已经确定...
约瑟夫森结并联电阻结构及其制备方法技术
本发明提供一种约瑟夫森结并联电阻结构及其制备方法,该约瑟夫森结并联电阻结构的制备方法包括以下步骤:提供一衬底,于衬底上表面形成包括第一超导层、绝缘材料层及第二超导层的叠层结构;基于叠层结构依次定义底电极及包括绝缘层及顶电极的结区结构;形...
基于呼出气体生物标志物组合的糖尿病并发症识别方法技术
本发明提供一种基于呼出气体生物标志物组合的糖尿病并发症识别方法,所述标志物选自异戊二烯、丙酮、异丙醇、苯、甲苯、乙苯、对二甲苯、十一烷和十四烷中的一种或多种。本发明提供了一种安全、方便、高效且非侵入性的诊断方法,以便及时监测人体健康状况...
一种AsSeTe选通管材料及选通管单元制造技术
本发明涉及一种AsSeTe选通管材料及选通管单元,所述AsSeTe选通管材料的化学通式为AsxSeyTez,式中0.1≤x≤0.5,0.2≤y≤0.6,z=1‑x‑y。本发明中AsSeTe选通管材料可通过调控As、Se、Te的原子配比或...
一种并行多器官芯片及其制备方法技术
本发明提供一种并行多器官芯片及其制备方法,包括进液干道、并行多条支路和出液干道;进液干道通过各个分岔点依次连接各个并行的支路的入口,出液干道通过各个分岔点依次连接各个并行的支路的出口;进液干道的微通道截面沿着液体的流向在除了第一个分岔点...
一种基于NiO键合的全GaN Cascode结构的单片集成器件及其制备方法技术
本发明涉及一种基于NiO键合的全GaN Cascode结构的单片集成器件及其制备方法,由下至上包括衬底、缓冲层和AlGaN/GaN异质结;在所述AlGaN/GaN异质结的D‑mode GaN器件区域生长有NiO栅极,在所述AlGaN/G...
变压器油劣化检测方法、装置、终端及计算机存储介质制造方法及图纸
本申请提供一种变压器油劣化检测方法、装置、终端及计算机存储介质,其中,变压器油劣化检测方法包括:基于预设的测试磁场强度组,向变压器油循环管路发射对应的各测试射频磁场脉冲序列,以获取对应的各测试回波链信号;对各测试回波链信号分别进行逆拉普...
基于呼出气体生物标志物组合的糖尿病识别方法技术
本发明提供一种基于呼出气体生物标志物组合的糖尿病识别方法,所述标志物选自异戊二烯、丙酮、异丙醇、苯、甲苯、乙苯、对二甲苯、十一烷和十四烷中的一种或多种。本发明提供了一种安全、方便、高效且非侵入性的诊断方法,以便及时监测人体健康状况、预防...
微腔增强单光子结构、制备方法及微腔增强光量子芯片技术
本发明提供一种微腔增强单光子结构、制备方法及微腔增强光量子芯片,通过在波导层附近形成薄膜电阻,并在其两端形成电极,利用薄膜电阻的局域加热效应改变相应的量子点的温度,进而调控量子点的发光波长,通过精确控制薄膜电阻的加热功率,可以实现对量子...
一种压电调谐的麦克风传感器及制作方法技术
本发明提供一种压电调谐的麦克风传感器及制作方法,采用压电驱动实现最优灵敏度调控,不仅具有低噪声、高灵敏度、高集成度和大工作带宽等优点,还可以避免静电调控导致的吸合效应造成失效,有着进一步提高信噪比和工作带宽的优势;另外,采用表面工艺完成...
一种模拟域移相器网络相位误差的空口校准方法技术
本发明涉及一种模拟域移相器网络相位误差的空口校准方法,应用于MIMO通信系统,包括以下步骤:建立信号发射端到信号接收端的信道模型H;保持信道静态不变,令信号接收端周期性发送设定数量的正交导频信号S;根据信道模型H构建导频接收信号的观测模...
一种用于弱磁信号测量的磁屏蔽箱及屏蔽效能估算方法技术
本发明提供一种用于弱磁信号测量的磁屏蔽箱及屏蔽效能估算方法,其中磁屏蔽箱包括无磁支撑框架以及屏蔽机构;无磁支撑框架呈长方体且至少沿长方体的棱边设置,用于支撑屏蔽机构,其中,无磁支撑框架内部中空以容纳待测物;屏蔽机构至少包括N层板层结构、...
一种用于SERS检测的水凝胶微流控芯片及其制备方法技术
本发明公开了一种用于SERS检测的水凝胶微流控芯片及其制备方法。该芯片包括三层结构,自下而上依次为:载玻片、PDMS中间层及PDMS流道层,PDMS中间层设有水凝胶嵌入区域用于放置SERS基底;PDMS流道层设有加样口、蛇形通道、检测区...
MEMS微镜阵列芯片、模块及光学扫描设备制造技术
本发明提供MEMS微镜阵列芯片、模块及光学扫描设备,包括多个微镜结构、衬底、垂直引线结构及电容角度传感结构。本发明集成电容传感器的微镜阵列芯片实现阵列级实时角度检测与反馈控制及高精度扫描角度检测、快速驱动、抗干扰;同时频分复用隔离信号降...
一种无人机射频信号识别方法、设备及介质技术
本发明涉及一种无人机射频信号识别方法、设备及介质,其中,方法包括:采集待识别的无人机射频IQ数据,并对待识别的无人机射频IQ数据进行短时傅里叶变换,得到无人机时频图;将待识别的无人机射频IQ数据和无人机时频图输入至开放集无人机射频信号识...
一种调控气体传感器线性度的方法技术
本发明涉及一种调控气体传感器线性度的方法,包括如下步骤:采用悬臂‑程序升温脱附方法定量测量金属氧化物半导体表面氧物种的种类和含量,通过气相还原法调控特定氧物种的含量用以提高气体传感器对不同气体检测的线性度。本发明结合悬臂‑TPD定量检测...
一种无源器件的工艺参数确定方法、尺寸优化方法、缺陷判定方法、存储介质技术
本发明提供一种无源器件的工艺参数确定方法、尺寸优化方法、缺陷判定方法、存储介质,包括:提供同一器件工艺下的多种不同版图尺寸的无源器件的晶圆,测试并得到无源器件的性能参数的分析结果;利用性能参数的分析结果和蒙特卡洛仿真来确定工艺参数的实际...
离子检测模块制造技术
本技术提供一种离子检测模块,基于微流控技术制备单通道的离子检测模块,所述离子检测模块自上而下包括腔体和底板,且所述腔体和所述底板进行密封连接,通过在测试腔底部设置环状对电极和工作电极,且电极表面均通过电镀金层,提高测试灵敏度和准确性;通...
一种胞吐监测用电化学传感器及其制备方法与应用技术
本发明涉及一种胞吐监测用电化学传感器及其制备方法与应用,所述电化学传感器的工作电极修饰有多维纳米混合材料;所述多维纳米混合材料通过以多孔碳化木作为基底,在所述基底上原位生长氧化锌纳米线与有机框架化合物而得。本发明的电化学传感器能够在固定...
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