中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明涉及一种SOI的表面处理方法,包括以下步骤:S1.提供两片硅晶圆分别作为器件片和支撑片;S2.将器件片或器件片和支撑片进行热氧化,得到埋氧层;S3.对热氧化后的器件片进行离子注入;S4.对器件片进行键合前预退火处理,随后冷却至室温...
  • 本发明涉及一种基于碳化木天然结构的多巴胺电化学传感器及其制备方法与应用,所述电化学传感器的工作电极修饰有碳化木‑ZnO纳米线‑ZIF‑8。本发明的电化学传感器使用碳化木作为基底,将碳化木整块切割后使用导电碳浆粘贴在工作电极上,保证导电性...
  • 本发明涉及一种太赫兹扫描隧道显微镜及其光路校准方法,其中,太赫兹扫描隧道显微镜(STM)包括:太赫兹量子级联激光器模块、准直可见光源、光路调节系统、COP透镜和热探测阵列以及位于真空腔体内的TPX透镜、探针架和样品槽。本发明使用COP透...
  • 本发明涉及一种利用碳源浓度梯度制备多层石墨烯的方法,包括以下步骤:S1.将可实现双面碳源浓度梯度的金属衬底置于化学气相沉积系统中;所述实现双面碳源浓度梯度的方法包括对金属衬底进行单面封装;S2.通入气态碳源,在所述金属衬底两面形成碳源浓...
  • 本发明涉及一种基于岭回归的MWC欠奈奎斯特采样结构的宽频带感知方法,包括:利用MWC采样结构作为前端构建基本信号模型;基于基本信号模型采用CTF模块构造欠采样框架V,利用欠采样框架V对MMV问题的进行求解,得到宽频带信号的支撑集合;中,...
  • 本发明涉及一种基于量子效应的电流标准源装置,包括:第一微波源、第一可编程约瑟夫森电压标准模块、第一量子霍尔电阻模块和低温电阻比较仪。第一微波源用于产生提供给第一可编程约瑟夫森电压标准模块的第一微波;第一可编程约瑟夫森电压标准模块和第一量...
  • 本发明涉及一种论文投稿登记系统,包括投稿申请模块、论文匹配模块、发表登记模块、数据上传模块、费用登记模块和表格上传模块;投稿申请模块用于获取申请人提交的投稿申请信息;论文匹配模块用于根据投稿申请信息在已发表论文数据库中进行检索,并将投稿...
  • 本发明涉及一种基于SPI接口的相变存储器写入电路及方法,其中,电路包括:N位地址寄存器、2M位输入数据寄存器、N‑K位相变存储器写地址寄存器、K位写地址译码器、2K位写入掩码寄存器和2M+K位写数据寄存器。本发明通过将SPI接口接收的至...
  • 本发明涉及一种基于可逆金属电沉积的可见‑红外窄谱动态调控器件及其构建方法,所述器件从上到下依次设置顶部基底层、多层膜结构、电解质层和底部透明电极层;所述顶部基底层和多层膜结构共同组成工作电极,通过控制外部电压在工作电极上进行可逆的沉积与...
  • 本发明涉及一种功率器件短路结温评估方法、设备及介质,其中,方法包括:获取待评估功率器件的漏源电压数据序列、栅源电压数据序列和漏极电流数据序列;构建基于物理信息神经网络模型的短路电热方程;在所述物理信息神经网络模型的训练过程中引入所述短路...
  • 本发明提供一种宽带后台校准模块、方法及时间交织模数转换器,其中,宽带后台校准模块包括时钟源、N个误差补偿单元及N个误差估计单元,N为大于等于2的自然数;时钟源用于提供N个时钟信号,各时钟信号具有预设的相位差;各误差估计单元的输入端一一对...
  • 本发明涉及一种光IO发射端,包括:类载板;转接板,位于所述类载板上,并与所述类载板连接;驱动模块,位于所述转接板上,并与所述转接板连接;折叠迈克尔逊调制器模块,位于所述转接板上,并与所述转接板连接;所述驱动模块与所述折叠迈克尔逊调制器模...
  • 本发明公开了一种石墨烯/铜复合薄膜层层堆叠的高导电铜薄膜及其制备方法和应用,该制备方法包括如下步骤:S1,提供绝缘衬底,以高纯铜源为材料,采用物理气相沉积工艺在衬底表面沉积厚度为50nm‑800nm的铜薄膜;S2,采用化学气相沉积工艺在...
  • 本发明公开了一种石墨烯‑铜共沉积装置,所述石墨烯‑铜共沉积装置包括:金属沉积单元,用于实现金属沉积;石墨烯沉积单元,用于实现石墨烯生长沉积;以及样品传输单元;其中,所述金属沉积单元和所述石墨烯沉积单元位于同一沉积室中,所述样品传输单元用...
  • 本发明提供一种基于同步辐射光的300mm大硅片缺陷检测系统及其缺陷表征方法,基于布拉格衍射原理,可以实现对大尺寸、高精度表征;另外,本发明的被测晶体固定在转台上,且在转台的带动下可沿俯仰角转动,在被测晶体转动过程中可以获得一系列的二维衍...
  • 本发明提供一种光谱仪系统,包括光谱仪芯片,其包括相机和位于相机的探测面上的超表面;超表面包括多种纳米孔或纳米柱阵列,通过不同纳米孔或纳米柱产生的表面等离激元来分别实现对不同波长光的选择性吸收;相机检测待测光经过超表面的不同纳米孔或纳米柱...
  • 本发明涉及一种基于信道感知用户聚类和自适应波束成形的干扰抑制方法,包括:收集所有接入的地面用户的信道信息,并根据所述信道信息对所述地面用户进行分组;以低地球轨道卫星通信系统的频谱效率最大为目标,构建自适应波束成形决策模型;将所述分组的结...
  • 本发明涉及一种基于多智能体的通信系统节点接入智能切换方法,包括:构建包含通信时延、切换频率、网络拥塞和连接稳定性的多目标优化模型;以所述多目标优化模型的最优解为目标,以航空器为智能体,基于多智能体深度确定性策略梯度的协同切换决策算法完成...
  • 本发明涉及一种集循环肿瘤细胞捕获培养检测于一体的微流控芯片及其使用方法,所述微流控芯片包括富集层(100)及培养层(200),所述富集层(100)的下表面和所述培养层(200)的上表面紧密贴合;所述富集层(100)的下表面设有进样口(1...
  • 本发明提供一种混合驱动的MEMS器件及其制备方法,在第一衬底中形成第一致动结构,在第一致动结构上形成压电复合薄膜层,对第一电极层和第二电极层施加相反电性的电压,压电层在逆压电效应的作用下产生形变,带动第一致动结构的可动端发生位移;在第二...