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中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术
中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利
一种氧化硅填充的GST相变浅沟槽像素级电控超表面结构及其加工方法技术
本发明涉及一种氧化硅填充的GST相变浅沟槽像素级电控超表面结构及其加工方法,所述超表面结构自下而上包括硅衬底、氧化硅层和顶层ITO电极;所述氧化硅层内设有浅沟槽,所述浅沟槽内自下而上沉积有底层ITO电极和GST纳米柱;所述GST纳米柱通...
机构评价模型的构建方法及装置制造方法及图纸
本发明公开了一种机构评价模型的构建方法及装置,所述方法包括:获取样本机构的样本机构基础元素、样本科研能力元素以及样本机构承载力元素;提取样本结构化数据集以及样本非结构化数据集;将样本非结构化数据集转化成样本浮点数向量,并将样本结构化数据...
一种硅表面生长石墨烯薄膜的方法技术
本发明涉及一种硅表面生长石墨烯薄膜的方法,其包括如下步骤:S1,提供硅衬底;S2,通过温度梯度场产生活性碳原子浓度增强场,通入碳源气体,在硅衬底上通过CVD生长得到厚度为3nm‑5nm的石墨烯薄膜。根据本发明的硅表面生长石墨烯薄膜的方法...
一种有效提高IGBT用硅晶圆抛光速率的化学机械抛光液制造技术
本发明涉及一种有效提高IGBT用硅晶圆抛光速率的化学机械抛光液,包括含有多氮杂环结构的水溶性小分子、磨料、碱性化合物和水。本发明提供的化学机械抛光液可以显著提高IGBT用硅晶圆抛光速率,有效提升了硅晶圆表面的化学反应活性,增强了抛光过程...
一种厚度均匀的石墨烯薄膜的制备方法技术
本发明涉及一种厚度均匀的石墨烯薄膜的制备方法,其包括如下步骤:S1,提供金属单晶薄膜衬底;S2,在1060℃‑1070℃下,通入流量比为(100‑200):(20‑30)的氢气和气态碳源的混合气体,在金属单晶薄膜衬底上通过CVD生长得到...
气相色谱芯片结构及其制备方法技术
本发明提供了一种气相色谱芯片结构及其制备方法,通过在硅基板设置贯穿所述硅基板的蛇形或螺旋形微沟道、载气通道以及检测腔体,采用键合上下盖板密封形成三明治结构的完整流路,从而实现微沟道、载气通道以及检测腔体的三维集成,进而消除分立器件的连接...
一种低轨卫星通信系统动态跳波束方法和卫星通信系统技术方案
本发明涉及一种低轨卫星通信系统动态跳波束方法和卫星通信系统,其中,方法包括:以最小化小区数量为目标,最小中心间距为约束,构建小区划分模型,并对所述小区划分模型进行求解,得到小区划分结果;以最小化卫星间最大负载差距为目标,所述小区划分结果...
用于量子电压基准的超导结阵列的量化分析方法及电路技术
本发明提供一种用于量子电压基准的超导结阵列的量化分析方法:首先,提供m组约瑟夫森结阵列,并设定m组约瑟夫森结阵列所对应的离散参数;其次,为任意一组约瑟夫森结阵列施加微波电流和偏置电流,得到偏置电流与输出电压之间的第一对应关系;再次,调整...
一种利用分子束外延生长砷化铟量子点单光子源的方法技术
本发明涉及一种利用分子束外延生长砷化铟量子点单光子源的方法,包括如下步骤:(1)在衬底上通过静止生长的方式利用分子束外延生长砷化铟量子点,调整铟束流大小为适合砷化铟量子点生长的速率;(2)根据反射式高能电子衍射仪观察砷化铟量子点形成的生...
糖尿病前期呼出气体生物标志物组合物及其识别方法、筛选方法、装置、介质、程序产品和终端制造方法及图纸
本申请属于糖尿病前期的早期诊断技术领域,特别是涉及糖尿病前期呼出气体生物标志物组合物及其识别方法、筛选方法、装置、介质、程序产品和终端。本申请提供了一种糖尿病前期呼出气体的标志物筛选方法,筛选出糖尿病前期的生物标志物组合物,包括十一烷、...
一种IGBT用掺杂硅晶圆抛光的化学机械抛光液制造技术
本发明涉及一种IGBT用掺杂硅晶圆抛光的化学机械抛光液,包括胍基化合物、磨料、碱性化合物、水和其他添加剂。本发明提供的化学机械抛光液可以显著提高IGBT用硅晶圆抛光速率,同时提升表面光洁度,抑制缺陷形成,延长抛光液使用寿命,具备良好的化...
氢火焰离子化检测器及其制备方法技术
本发明提供一种氢火焰离子化检测器及其制备方法,将氢气出口与助燃气体出口设置为夹角θ为0°<θ≤180°的对流出口,以减小氢气和助燃气体在燃烧腔内混合时的流速,形成驻留区,增加气体在火焰中的驻留时间,有利于火焰稳定并得到充分燃烧;由第一偏...
电路评估方法、优化方法、装置、系统、终端及计算机存储介质制造方法及图纸
本申请提供一种电路评估方法、优化方法、装置、系统、终端及计算机存储介质,其中,电路评估方法包括:获取当前生产工艺下电路各波动参数范围和各仿真参数值;基于各波动参数范围,结合预设的工艺角参数框架,获取各工艺角;对于各工艺角,分别结合各仿真...
一种雷达信号智能分选方法及系统技术方案
本发明涉及一种雷达信号智能分选方法,包括以下步骤:获取雷达信号的脉冲描述参数,得到待分选数据;根据方位角对所述待分选数据进行预分选处理,得到若干簇;将每个簇中的所述待分选数据分别划分为指定大小的多个组,提取特征参数后得到待分选数据集;将...
一种基于均匀圆阵的盲分离稀疏重构相干信号测向方法技术
本发明涉及一种基于均匀圆阵的盲分离稀疏重构相干信号测向方法,包括以下步骤:获取均匀圆阵的接收信号并进行预处理;利用盲分离算法分离出预处理后的所述接收信号中的独立信源,得到各个所述独立信源的导向向量估计;针对每个所述独立信源,根据其导向向...
气相色谱集成芯片、制备方法及其应用技术
本发明提供一种气相色谱集成芯片、制备方法及其应用,将惠斯通电桥与微色谱柱进行集成,可提供兼具分离检测和流速检测功能的气相色谱集成芯片,且可有效减小因分立器件的连接造成的死体积,便于气相色谱系统的微型化,提高测量灵敏度;可实现对流经气相色...
串联纳米线探测器制造技术
本技术提供一种串联纳米线探测器,串联纳米线探测器包括衬底及形成于其上的探测结构,探测结构包括M个纳米线、2M个连接线及M个电阻,M个纳米线串联,M个电阻通过2M个连接线分别并联于M个纳米线的两端,M为大于或等于2的自然数;其中,纳米线及...
一种抑制横波的体声波谐振器及其制备方法技术
本发明提出一种抑制横波的体声波谐振器及其制备方法,其中,体声波谐振器包括第二衬底、第一电极层、第一负载层、第二电极层、第二负载层、第一介质层以及夹在第一电极层和第二电极层之间的压电层,其中压电层包括至少一层压电薄膜或者由多层压电薄膜和/...
一种约瑟夫森结势垒层厚度的监测方法技术
本发明提供一种约瑟夫森结势垒层厚度的监测方法,包括:提供一衬底,形成约瑟夫森结于衬底的一面,约瑟夫森结包括依次堆叠于衬底上的第一超导材料层、势垒层及第二超导材料层,对第二超导材料层的上表面进行区域划分,确定厚度测量区,形成图形化的光刻层...
一种跳频信号判决门限值自适应调整方法技术
本发明涉及一种跳频信号判决门限值自适应调整方法,包括以下步骤:获取待测信号的功率谱,计算得到平均功率谱和最大保持谱;将平均功率谱偏移至最大保持谱底噪附近,并将偏移后的平均功率谱作为初始门限值;判断是否存在跳频信号,若存在跳频信号则根据信...
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