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本实用新型涉及一种微机械光开关，属于微机械领域。其特征在于（１）上、下两电极分别位于二个形状相似的二个外框架内，含上电极的上外框架放在另一外框架上面，彼此由绝缘氧化物层绝缘；（２）４个Ｖ型槽位于上电极所在的外框架的上表面，它们与镜子均呈４５...该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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本实用新型涉及一种微机械光开关，属于微机械领域。其特征在于（１）上、下两电极分别位于二个形状相似的二个外框架内，含上电极的上外框架放在另一外框架上面，彼此由绝缘氧化物层绝缘；（２）４个Ｖ型槽位于上电极所在的外框架的上表面，它们与镜子均呈４５...