利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法技术

本发明专利技术涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法及悬臂梁的制作，特征在于在悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的特异性识别的敏感膜，利用振幅为零处在高阶模态下质量检测灵敏度为零，而自由端处质量检测灵敏度最大的特性，通过同时记录悬臂梁的各个模态在检测前后频率的变化，得到各个敏感位置所吸附的不同物质的质量，从而实现用单根悬臂梁检测多种物质。本发明专利技术的特点是结构简单、制作方便、容易实现以及扩展性好等特点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的以及悬臂梁 的制作方法。本专利技术属于微机械传感器领域。
技术介绍
传感器是测量仪表及检测系统的基础。传统的传感器通过改变电阻、电 容或电感等电学量来测量压力、温度、位移等非电量，并以电压和电流信号输出。在传感器和控制电路之间需要增加A/D转换器，这不仅降低了系统的 可靠性、响应速度和测量精度，而且增加了成本。谐振式传感器的输出量是 频率信号，精度及分辨率高，长期稳定性好，可通过简单的数字电路实现与 计算机的接口，从而省去结构复杂、价格昂贵的A/D转换装置。发展谐振式 传感器，适应以微处理器为中心的数字控制系统是传感器发展的重要方向之 一但是，现已使用的谐振式传感器(如谐振筒、谐振梁、谐振膜、谐振弯管) 结构尺寸较大，构造复杂，价格昂贵，谐振频率和灵敏度低。随着微电子技 术和微机械加工技术的发展及在传感器中的应用，用微机械加工技术制造出 的微机械谐振式传感器，引起了人们的特别兴趣。微机械谐振式传感器的敏 感元件是用微电子和微机械工艺制作的微悬臂梁、微桥(双端固支梁)、方膜 (或圆膜)等谐振子，利用其谐振频率、振幅或相位等作为本文档来自技高网...

【技术保护点】
利用单根微机械悬臂梁实现多种物质检测的方法，其特征在于在单根微机械悬臂梁高阶弯曲模态振幅为零处和微机械悬臂梁的自由端处表面分别淀积不同的待测物质的敏感膜，通过扫频得到检测前后的各阶模态谐振频率，从而计算出不同物质的吸附质量。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：于海涛，李昕欣，李俊纲，许鹏程，陈滢，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]