基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器制造技术

本发明专利技术的基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器，主要由悬臂梁耦合结构、T型结和直接加热式微波功率传感器构成。悬臂梁耦合结构中，两个悬臂梁在CPW中央信号线上方，结构相同，用于耦合部分待测信号，通过锚区与T型结相连，两个悬臂梁之间CPW传输线的电长度为λ/8。悬臂梁下方的CPW中央信号线上覆盖了一层Si

【技术实现步骤摘要】
基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器
本专利技术提出了一种基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器，属于微电子机械系统(MEMS)的

技术介绍
在微波
，相位是微波信号的重要参数之一，微波信号相位检测在微波信号的产生、传播和接收的各个环节中都有着极其重要的作用，是电磁测量不可缺少的一部分。在实际应用中，微波信号相位检测系统可用于测量物体的方位角、提取运动物体的多普勒频移、相控阵雷达以及测量器件的相位特性等。微波信号相位检测的方法主要有两种：信号分解法和矢量合成法。矢量合成法同信号分解法相比，具有结构原理简单、工作频带宽、无源检测等优点，同时易通过已经成熟的MEMS工艺实现，实现微波信号检测系统的小型化和集成化。
技术实现思路
技术问题:本专利技术的目的是提供一种基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器，通过悬臂梁耦合结构耦合部分待测信号，直接式微波功率传感器检测微波功率大小，实现了毫米波相位的在线测试，具有结构简单的优点。技术方案：为解决上述技术问题，本专利技术提出了一种基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器。该相位检测器的实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器，其特征是：相位检测器的实现结构选择高阻Si为衬底，传输线材料为Au，主要由悬臂梁耦合结构(12)、T型结和直接加热式微波功率传感器构成；悬臂梁耦合结构(12)左右对称，由CPW中央信号线(3)、传输线地线(4)、悬臂梁(5)、悬臂梁锚区(6)构成，在悬臂梁(5)的下方有一层Si

【技术特征摘要】
1.一种基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器，其特征是：相位检测器的实现结构选择高阻Si为衬底，传输线材料为Au，主要由悬臂梁耦合结构(12)、T型结和直接加热式微波功率传感器构成；悬臂梁耦合结构(12)左右对称，由CPW中央信号线(3)、传输线地线(4)、悬臂梁(5)、悬臂梁锚区(6)构成，在悬臂梁(5)的下方有一层Si3N4介电层(11)；悬臂梁耦合结构(12)的第三端口(1-3)和第四端口(1-4)分别与第一T型结的第八端口(3-1)和第二T型结的第十一端口(4-1)相连，待测信号从第三T型结的第五端口(2-1)输入，第三T型结的第六端口(2-2)和第一T型结的第九端口(3-2)相连，第七端口(2-3)与第二T型结的第十二端口(4-2)相连，第一T型结的第十端口(3-3)接第一直接加热式微波功率传感器，第二T型结的第十三端口(4-...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，严嘉彬，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏,32