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本发明的基于硅基悬臂梁T型结直接加热在线式毫米波相位检测器，主要由悬臂梁耦合结构、T型结和直接加热式微波功率传感器构成。悬臂梁耦合结构中，两个悬臂梁在CPW中央信号线上方，结构相同，用于耦合部分待测信号，通过锚区与T型结相连，两个悬臂梁之间...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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