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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
在大失配衬底上生长表面无裂纹的GaN薄膜的方法技术
一种在大失配衬底上生长表面无裂纹的GaN薄膜的方法,包括如下步骤:步骤1:选择一大失配衬底;步骤2:在大失配衬底上生长一层氮化物复合缓冲层,该氮化物复合缓冲层可以缓解晶格失配,并且阻止回熔刻蚀反应;步骤3:在氮化物复合缓冲层上生长一层G...
一种高密度低寄生的电容装置制造方法及图纸
本发明公开了一种电容装置,包括:一个由多晶硅栅、栅氧及连接到一起的源、漏和N阱构成的PMOS电容,其中源、漏和N阱连接到电容装置的A端口,多晶硅栅连接到电容装置的B端口;同一层金属之间的第一电容,该同一层金属由两个连接到电容装置A端口和...
一种高密度低寄生的电容装置制造方法及图纸
本发明公开了一种高密度低寄生的电容装置,包括:一个由多晶硅栅、栅氧及连接到一起的源、漏和N阱构成的PMOS电容;多晶硅栅与第一层金属之间的第一电容;同一层金属之间的第二电容,其中该同一层金属由金属方块阵列构成,且每一个金属方块与其相邻的...
HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器制造技术
一种HPT结构的InAs/GaSb超晶格红外光电探测器,包括:一GaSb衬底,利用分子束外延方法在GaSb衬底上依次制备出GaSb缓冲层、GaSb收集区、InAs/GaSb超晶格基区、AlGaAsSb基区、AlGaAsSb发射区以及Ga...
带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器及其制作方法技术
一种带有分布布拉格反射镜的波导光栅耦合器,所述耦合器采用绝缘体上的硅材料,包括:一硅衬底;一限制层,该限制层制作在硅衬底上;一顶硅层,该顶硅层制作在限制层上,在该顶硅层的表面制作有衍射光栅,在衍射光栅的一侧制作有反射光栅,在衍射光栅的另...
一种绝缘体上的硅基光栅耦合器及其制作方法技术
一种绝缘体上的硅基光栅耦合器,所述耦合器采用绝缘体上的硅材料,包括:一硅衬底;一限制层,该限制层制作在硅衬底上;一顶硅层,该顶硅层制作在限制层上,在该顶硅层的表面制作有光栅,在该顶硅层一侧靠近光栅处为锥形波导,该锥形波导大于80μm,与...
单分散硫化亚铜半导体纳米晶的制备方法技术
一种单分散硫化亚铜半导体纳米晶的制备方法,包括如下步骤:步骤1:以金属有机铜化合物作为铜原料,脂肪族硫醇作为硫原料;步骤2:将铜原料和硫原料加入到高沸点溶剂中,搅拌均匀,进行加热反应,得到反应液;步骤3:将反应液冷却至室温;步骤4:向反...
利用三维极化感应空穴气提高LED发光效率的方法技术
一种利用三维极化感应空穴气提高LED发光效率的方法,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在衬底上依次生长低温成核层、低温缓冲层、n型层、有源区、宽禁带势垒层和p型层,形成外延片;步骤3:在外延片上面的一侧进行刻蚀,刻蚀深度到达n型...
紧凑型瞬时微波频率光子测量系统技术方案
本发明公开了一种紧凑型瞬时微波频率光子测量系统,包括:接收天线、微波功率放大器、高速直调激光器、环行器、可调谐相移光栅、可调谐M-Z干涉仪、第一高速光子探测器、第二高速光子探测器和比较器。微波信号加载到了一个波长可调谐、直接调制激光器上...
基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器制造技术
一种基于马赫-曾德尔结构的硅基光波导温度传感器,是利用其透射光谱对温度的敏感性来实现对温度的传感,包括:一激光器;一Y型波导,该Y型波导的一端为入射波导,入射波导的一端有一第一正锥,该Y型波导的第一正锥通过光纤与激光器连接;该Y型波导的...
一种改进非晶硅太阳电池性能的方法技术
本发明公开了一种改进非晶硅太阳电池性能的方法,其特征在于,该方法通过改进非晶硅薄膜太阳电池i/p界面来实现,是在p层为纳米硅的条件下,在非晶硅薄膜太阳电池的i/p界面处插入纳米硅缓冲层,形成双纳米硅层结构。将双纳米硅层结构应用于电池后,...
基于微环谐振器结构的全光逻辑异或非门结构制造技术
本发明公开了一种基于微环谐振器结构的全光逻辑异或非门结构,该结构包括第一纳米线波导、第二纳米线波导和微环谐振腔,其中第一纳米线波导与第二纳米线波导互相平行,微环谐振腔位于第一纳米线波导与第二纳米线波导之间,且微环谐振腔与第一纳米线波导之...
一种平面相变存储器的制备方法技术
一种平面相变存储器的制备方法,包括如下步骤:在衬底上生长一层绝缘材料层和基底材料层;去除基底材料层的四边,形成侧墙的基底;在其表面及侧面淀积侧墙材料层;采用干法回刻形成侧墙;用湿法腐蚀去除基底材料层,只保留纳米尺寸的侧墙;在该侧墙材料层...
光纤海底地震仪制造技术
本发明公开了一种光纤海底地震仪,包括:球型壳(10),用于光纤海底地震仪的内部结构保护;安装于球型壳(10)内部的支座(30);安装于支座(30)上的至少一支光纤加速度计(21),用于测量地震波信号,其尾纤通过光缆(22)引出;安装于球...
垂直相变存储器的制备方法技术
一种垂直相变存储器的制备方法,包括如下步骤:步骤1:在衬底上生长第一金属层作为底部电极;步骤2:在第一金属层上淀积第一绝缘材料层;步骤3:采用微纳加工技术将该第一绝缘材料层制作成纳米尺寸的绝缘柱体;步骤4:在第一金属层上和绝缘柱体的表面...
全侧壁锯齿状粗化发光二极管芯片的制备方法技术
本发明涉及LED芯片技术领域,公开了一种全侧壁锯齿状粗化发光二极管芯片的制备方法。该方法基于传统LED工艺流程,在不增加任何工艺步骤的基础上,通过合理的版图设计,实现LED芯片全侧壁粗化。在不增加任何生产成本的前提下,能有效提高LED的...
三角形GaN基发光二极管芯片的对称电极制造技术
本发明公开了一种三角形GaN基发光二极管芯片的对称电极,属于LED芯片技术领域。LED芯片形状为三角形,N型电极的焊盘位于三角形芯片的顶角,N型条形电极自N型焊盘出发沿三角形LED芯片的边缘环绕一周,P型电极的焊盘位于三角形芯片的中心,...
平行四边形GaN基发光二极管芯片的对称电极制造技术
本发明公开了一种平行四边形GaN基发光二极管芯片的对称电极,属于LED芯片技术领域。LED芯片形状为非矩形的平行四边形,N型焊盘位于平行四边形的一个角上,N型条形电极自N型焊盘出发沿平行四边形边缘环绕一周,P型电极的焊盘位于平行四边形芯...
一种背光面黑硅太阳能电池结构及其制作方法技术
本发明公开了一种背光面黑硅太阳能电池结构,该结构包括:硅基衬底;在硅基衬底正面制作的陷光材料层;以及在硅基衬底背面制作的广谱吸收黑硅材料层。本发明同时公开了一种制作背光面黑硅太阳能电池结构的方法。利用本发明,能充分利用黑硅材料广谱吸收的...
一种广谱吸收的黑硅太阳能电池结构及其制作方法技术
本发明公开了一种广谱吸收的黑硅太阳能电池结构,该结构由上至下依次包括:迎光面广谱陷光层;p型硅基衬底;n型磷扩散层;以及背光面广谱吸收黑硅层。本发明同时公开了一种广谱吸收的黑硅太阳能电池结构的制作方法。利用本发明,可充分利用黑硅材料的特...
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