中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5243项专利

  • 一种在紫外写入二氧化硅波导上制备布拉格光栅的方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)在硅衬底或二氧化硅衬底上依次形成下包层,波导层和上包层;(2)通过紫外写入法在波导层中形成波导;(3)对紫外写入波导进行载氢;(4)然后在波导上写入布拉格...
  • 本发明涉及集成光路芯片技术领域,特别是一种采用双层结构的混合集成光路芯片。该混合集成光路芯片中,将混合集成光路芯片分为器件层与光线路层,光在两层之间典型的光行进路线为:由光纤输入、行进至光线路层、行进至器件层通过独立器件、行进至光线路层...
  • 本发明一种降低光谱仪器中杂散光的结构,其特征在于,包括:一光阑,该光阑为多边形结构的一盒体;一色散元件,该色散元件置入在光阑内而形成一种封闭结构。其可降低光谱仪器中的杂散光。
  • 一种用标准工艺制作磷硅酸玻璃层光波导及集成的方法,其特征在于,其步骤包括:步骤1:在硅衬底上的中间生长二氧化硅层;步骤2:在硅衬底上、二氧化硅层的两端,分别制作阱和有源区,一端形成光源,另一端形成探测器;步骤3:在二氧化硅层上淀积磷硅酸...
  • 本发明涉及光谱分析技术领域,一种扩展截止滤光片工作波长的结构及其使用方法,该结构包括底板、截止滤光片、光学晶片组、晶片固定器和转动装置。将转动装置安放在底板上,用晶片固定器固定截止滤光片和与之匹配的光学晶片组,并将它们安装在设计的转动装...
  • 本发明一种用标准工艺制作金属间氧化层光波导的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤一:在衬底上生长第一二氧化硅层;步骤二:在衬底上制作光源和探测器;步骤三:在二氧化硅层上淀积磷硅酸玻璃;步骤四:在磷硅酸玻璃上淀积第一金属层作波导下包层;步...
  • 本发明涉及基于SOI材料的光子晶体分束器,包括一SOI材料衬底,在SOI衬底刻蚀产生硅柱,该硅柱呈正方晶格或六方晶格排列,硅柱高度为SOI顶层硅的厚度,在完整晶格结构中省去一行硅柱分别形成分束器的输入波导、两路输出波导;输入波导夹在两路...
  • 本发明涉及二维光子晶体技术领域,特别是在低频范围内拥有很大的绝对禁带相对值的正方晶格二维光子晶体。与通常人工设计的光子晶体原胞有所不同,原胞被分割为10×10个包含高折射率和低折射率介电材料的正方形象素结构,高折射率介电材料和低折射率介...
  • 本发明涉及一种光纤合束器制作方法。本发明提供的光纤合束器制作方法,包括取两根同型光纤按一定的曲率、抛磨深度进行抛磨,然后用折射率匹配胶在抛磨面进行拼接;待粘接处胶固化后进行垂直切割,再在切割面处粘接下一级光纤的端面;不断重复上述过程,从...
  • 一种3dB耦合波导实现阵列波导光栅输出平坦化的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:取一阵列波导光栅;步骤2:在阵列波导光栅的输入端的末端加入一3dB耦合波导,该3dB耦合波导与阵列波导光栅中的输入波导构成3dB耦合器,从而实现阵列波...
  • 本发明一种采用损耗微调波导实现阵列波导光栅通道均匀性的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:取一阵列波导光栅;步骤2:在阵列波导光栅的输出波导的末端加入损耗微调波导,从而实现阵列波导光栅的输出通道均匀。
  • 一种利用凹区作选择区域外延制作平面型集成有源波导的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:在衬底上光刻腐蚀出凹陷区域;步骤2:在凹陷区域内制作介质掩膜图形条;步骤3:在上述含介质掩膜图形条的衬底上同时外延生长缓冲层和有源波导层,形成介质...
  • 一种通水通气光纤手柄的结构,包括:一手柄左侧外壳,一手柄右侧外壳,用固定钉将两外壳安装成一体;一水气按钮组件固定在手柄外壳内;一水气按钮组件支架,固定钉将水气按钮组件与水气按钮组件支架固定在一起;一进水进气舱,该进水进气舱位于手柄外壳内...
  • 本发明一种可集成多信道色散补偿器,其特征在于,包括:一衬底;一第一纳米线波导,该第一纳米线波导制作在衬底上;一第二纳米线波导,该第二纳米线波导制作在衬底上;一第一光栅,该第一光栅制作在第一纳米线波导上,光信号被第一光栅耦合出第一纳米线波...
  • 一种双电容MOS硅基高速高调制效率电光调制器,包括一衬底;一二氧化硅掩埋层位于衬底上;一p型单晶硅层为衬底上的单晶硅,在p型单晶硅层的两侧形成栅氧化层;一p+注入层制作在p型单晶硅层的上面;一n型单晶硅层制作在二氧化硅掩埋层上及p型单晶...
  • 一种混合集成单纤三向器,包括:一衬底;一粗波分复用器制作在衬底的上面;一第一输入波导制作在衬底上;一输出波导制作在衬底上,位于粗波分复用器的另一侧;一波导制作在衬底上;一第二输入波导制作在衬底上,其一端与粗波分复用器相连;一激光器混合集...
  • 本发明公开了一种单模光子晶体偏振分束器,包括一二维光子晶体,在所述光子晶体上的平行相邻的第一线缺陷光子晶体波导和第二线缺陷光子晶体波导形成的定向耦合器结构,所述第一线缺陷光子晶体波导的长度大于所述第二线缺陷光子晶体波导,所述第一线缺陷光...
  • 一种光纤光栅压强传感器,其结构为:两根不同波长的第一光纤光栅和第二光纤光栅,形成传感器,第一光纤光栅封装在毛细管内,以屏蔽外界的压强;第一光纤光栅和第二光纤光栅轴向地并用低弹性模量的胶封灌固定在一金属桶状容器内部;金属桶侧壁开有压力孔,...
  • 一种光纤管道液压传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒为圆筒状结构,其下部有一圆孔,该支撑筒的内壁沿轴向粘接有两凸台,用于安装光纤光栅;一内筒,该内筒安装于支撑筒内部,该内筒的开口一端有一凸缘,该凸缘的外径与支撑筒的内径相同,该内...
  • 本发明涉及光纤切割设备技术领域,公开了一种光纤切割装置,该装置包括:固定装置,用于固定待切割的光纤,通过主轴与下部的切割装置固定连接;切割装置,用于环切光纤,与位于其上部的固定装置固定连接。本发明提供了一种价格低廉,性能优异,体积小,重...