中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5243项专利

  • 本实用新型公开了一种通过测量设于气体检测腔内控温镜面的结露温度测定气体含水量的直读式数字显示微水仪。它的检测部分设有光敏的结露监测电路以及镜面温度测量、气体含水量的换算与显示和(或)打印电路。它具有使用方便,检测效率高以及数据准确、可靠...
  • 本实用新型公开了一种不依赖肉眼判断镜面结露,能够自动检测气体露点的镜面露点仪。它的检测部分设有光敏的结露监测电路以及由此监测电路控制的镜面温度测量电路。它具有使用方便、检测效率高以及数据准确、可靠等诸多优点。
  • 本实用新型公开了一种新的离子轰击减薄装置,它既可以选用氩离子束流轰击样品,又可以选用碘离子束流轰击样品,设在样品室两侧的碘蒸气升华腔为形成碘离子束提供碘蒸气流。利用这种装置能够制备更多种材料的薄膜样品,满足透射电子显微镜的观测需求。
  • 一种用冷却液降低镜面温度观测气体露点的镜面露点仪,它有一个调节冷却液容器与镜面感温棒之间相对位置的升降机构,使镜面温度得到有效控制,以此提高露点测试的灵敏度与精确度。
  • 本实用新型公开了一种由一个钯栅MOS器件与一个无钯层金属栅MOS器件组成互补电路的氢气检测装置,它能消除各种环境与非环境因素的影响,提供稳定可靠的纯净氢敏输出。其特征在于它包括一个由钯栅MOS器件与无钯层金属栅MOS器件组成的互补氢气检...
  • 本实用新型涉及一种激光快速测量室内有害气体的装置,包括在激光器的输出光路上设置一分光镜,分光镜输出激光分成两束,一束输出光对准所设置的室内有害气体通道的端口,在通过室内有害气体通道输出的光路上设置第一光电探测器,分光镜输出的另一束光路上...
  • 本实用新型公开了一种由压力传感器、保护罩、标有深度刻度的管状直柄以及检测仪表等部分组成的比重计。它具有测量性能准确、可靠以及适应范围较广等诸多优点。
  • 非破坏性定量检测砷化镓单晶化学配比的方法;利用X射线双晶衍射仪测量半绝缘砷化镓单晶片的晶格常数a↓[m];采用实时仪器校正X射线双晶衍射仪产生的误差,以高纯(11个″9″)、无位错硅单晶片为标准样品,每次测量晶格常数后,测量标准样品的晶...
  • 一种通过测量输运性质确定稀磁半导体镓锰砷铁磁转变温度的方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤1:将镓锰砷样品刻蚀成霍尔元件形状,采用铟压焊技术制作电极,该电极与恒流源和电压表连接;步骤2:将步骤1所述的霍尔元件放入闭循环制冷系统中;步骤3...
  • 本发明涉及半导体晶片测量技术领域,特别是一种半导体晶片亚表面损伤层的测量方法。该方法利用了偏振调制光谱技术,通过测量材料表面内相互垂直的两个方向上反射系数的各向异性光谱,根据光谱中在带隙能量或者其它临界点能量附近处的各向异性信号强弱,从...
  • 本发明涉及半导体材料测试技术领域,特别是一种具有外加磁场的深能级瞬态谱样品台装置及其测量方法。样品台装置,包括:样品1、样品台2、聚四氟乙烯片D、永久磁铁C、防护罩A和无氧紫铜块B。测量方法包括:在半导体材料深能级测量过程中,通过调节无...
  • 一种显微拉曼谱仪与近红外光谱仪的联合测试系统,包括:可见光显微拉曼光谱仪,该谱仪包括了样品平台和工作在可见光范围的探测器;反射镜位于可见光显微拉曼光谱仪的光路上;透镜位于反射镜折射的光路上;三维调节架位于透镜的光路上;多模石英光纤的一端...
  • 本发明涉及一种采用激光探测室内有害气体浓度的系统,包括在激光器的输出光路上设置一分光镜,分光镜输出激光分成两束,一束输出光对准所设置的室内有害气体通道的端口,在通过室内有害气体通道输出的光路上设置第一光电探测器,分光镜输出的另一束光路上...
  • 本发明公开了一种增强磁圆偏振二向色性信号和提高信噪比的测量系统,该系统包括光源、单色仪、第一凸透镜、渥拉斯顿棱镜、光弹调制器、光弹调制器控制器、第二凸透镜、变温磁体系统、探测器,以及锁相放大器。利用本发明,增强了测量信号并提高了信噪比;...
  • 一种用于疾病诊断的光学生物芯片及制备方法,是在垂直腔面发射激光器阵列本身的优越性,硅探测器阵列很高的灵敏度和微电子机械系统技术而得到的。具体方案是先在底面出光的垂直腔面发射激光器阵列的出光面上加工若干个微米量级的反应池以及与之相连的若干...
  • 本发明一种鉴别样品是否含有微小半导体碳纳米管束的方法,其特征在于,该方法包括:测试单壁碳纳米管样品的吸收光谱或者拉曼光谱;根据吸收光谱或者拉曼光谱来确定单壁碳纳米管样品中半导体碳纳米管的带隙;选择与较宽带隙半导体碳纳米管电子能级所对应激...
  • 一种短小光波导芯片的测量方法,是使用由激光器、输入透镜光纤、芯片、凸透镜、显示屏、输出透镜光纤和探测设备组成的设备进行的测量,包括:首先对经解理露出了波导端面的芯片用粘合剂粘在一段反光的材料上;在芯片的输入端采用输入透镜光纤引入光信号,...
  • 一种激光器发散角测量仪,其特征在于,其中包括:    一旋转微调架1,该旋转微调架可旋转微调,该旋转微调架安装在底座上;    一二维微调架固定于旋转微调架上,该二维微调架可在X、Y轴方向微调;    一柱型配合件,该柱型配合件固定于二...
  • 一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒为光纤压强传感器的主体,该支撑筒为一筒状,其下端侧壁的同轴处开有一圆孔;一膜片,该膜片位于支撑筒的底部,以封闭支撑筒的下端;一光纤光栅,该光纤光栅固定在膜片的上面,该光纤光栅...
  • 一种膜片式光纤压强传感器,其特征在于,包括:一支撑筒,该支撑筒的下端为用于感受压强的膜片,其侧壁开有两圆孔;一光纤光栅,该光纤光栅安装于支撑筒内,其两端穿过支撑筒侧壁的两圆孔,用于测量压强;一端盖,该端盖安装在支撑筒的上端,以密封该支撑...