信越化学工业株式会社专利技术

信越化学工业株式会社共有3967项专利

  • 本发明提供于高能射线下为高感度、高分辨率、高对比度且能形成图案宽的变异(LWR)及图案的面内均匀性(CDU)小的图案的聚合物、抗蚀剂组成物及图案形成方法。一种聚合物,是因曝光而产生酸,且因此酸的作用而改变对于显影液的溶解性的聚合物,其特...
  • 本发明是从含有重稀土元素的熔融盐电解残渣中回收重稀土元素进行再利用的方法,包括:通过将熔融盐电解残渣的粗粒和氟化材料混合并煅烧来对熔融盐电解残渣的粗粒进行氟化处理的工序;将经氟化处理的熔融盐电解残渣的粗粒粉碎,得到熔融盐电解残渣的粉末2...
  • 本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料、以及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料,含有:包含下式(1)表示的锍盐的酸产生剂。式中,R
  • 本发明的质量评价方法包含:生成评价用硅的工序,在反应器20内生长多晶硅的同时,生长从芯线9沿径向延伸的单晶硅;以及使用所述单晶硅进行评价的工序。晶硅进行评价的工序。晶硅进行评价的工序。
  • 本发明是一种非水电解质二次电池用负极活性物质的制造方法,所述非水电解质二次电池用负极活性物质包含硅化合物颗粒,所述硅化合物颗粒包含锂,所述非水电解质二次电池用负极活性物质的制造方法的特征在于包含下述工序︰准备硅化合物颗粒的工序,所述硅化...
  • 本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料、以及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料,含有:包含下式(1)表示的锍盐的酸产生剂。(1)表示的锍盐的酸产生剂。(1)表示...
  • 本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料、以及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料,含有:包含下式(1)表示的锍盐的酸产生剂。(1)表示的锍盐的酸产生剂。(1)表示...
  • 本发明提供室温固化性有机聚硅氧烷组合物、以及具有该组合物或通过使该组合物固化而得到的固化物的各种物品、以及作为上述组合物的固化剂有用的新型的水解性有机硅烷化合物及其制造方法等,该组合物即使使用各种催化剂也具有与以往的脱醇型、脱肟型的室温...
  • 本发明提供介电损耗角正切非常小的低介电非晶质二氧化硅粉体、表面处理低介电二氧化硅粉体;凝聚少的二氧化硅浆料;能够兼顾拉伸强度和介电损耗角正切的含二氧化硅的树脂组合物;以及含二氧化硅的预浸料和印刷布线板。低介电非晶质二氧化硅粉体,其为使用...
  • 本发明涉及对于碱性过氧化氢水的保护膜形成组成物、半导体装置制造用基板、保护膜的形成方法。本发明的课题为提供一种使用了含有酰亚胺基的聚合物的保护膜形成组成物,其能形成不只是耐热性、基板上形成的图案的填埋、平坦化特性优异,对于基板的密合性亦...
  • 拒水剂组合物,其含有:(A)由平均组成式(1)所表示的三烷基甲硅烷氧基硅酸酯:100质量份,(B)由式(2)所表示的在分子内具有至少2个以上的羟基或烷氧基的有机聚硅氧烷:1~100质量份,(C)由下述通式(3)所表示的选自四烷氧基钛及其...
  • 本发明为一种塑料用脱模剂,其特征在于,其为含有下述(A)~(C)成分以及(E)成分、平均粒径大于200nm且为350nm以下的乳状液:(A)25℃下的动态粘度为100~100,000mm2/s的有机聚硅氧烷:100质量份;(B)阴离子性...
  • 本发明提供浆状分散体,其含有(A)选自三甲基甲硅烷氧基硅酸及其衍生物中的1种以上、(B)经疏水化处理的着色颜料、和(C)25℃下为液状的油剂,通过在化妆料中配混,从而使用感良好(较轻的触感)、涂布性(铺展)良好、密合感优异、颜料的分散性...
  • 本发明的目的是提供一种环境负荷小、皮肤触感良好、并且洗涤力高的个人护理组合物。上述目的通过如下个人护理组合物解决,该个人护理组合物包含水和低取代度羟丙基纤维素,所述低取代度羟丙基纤维素由干式激光衍射法测定的体积基准的平均粒径(D
  • 本发明涉及一种喷涂涂层、制造喷涂涂层的方法、喷涂的部件及喷涂材料。具体涉及一种具有多层结构的喷涂涂层,其包含下层和表层,所述下层由含有稀土氧化物的喷涂涂层制成,所述表层由含有稀土氟化物和/或稀土氟氧化物的另外喷涂涂层制成,该多层的喷涂涂...
  • 本实用新型提供一种激光诱导向前转移系统与基板及显示器的制造系统,用于显示器的像素间距并非排列于蓝宝石基板上的光器件的间距的整数倍的情况。根据形成于蓝宝石基板上的光器件(2)的排列间距(3、4)、及计划向载体基板(6)上移载的光器件的排列...
  • 本发明提供一种热固性树脂组合物,其热固性树脂成分即使含有有机溶剂和/或固化温度高,也能够使所得到的固化物低模量化。相对于100质量份(A)热固性树脂,所述热固性树脂组合物含有1~35质量份的(B)体积平均粒径为0.1~30μm的球形聚甲...
  • 涂布剂组合物可形成亲油性、耐磨损性优异的固化被膜,该涂布剂组合物含有下述(A)和(B)作为必要成分:(A)含有亲油性基团的(水解性)有机硅氧烷化合物和/或其部分(水解)缩合物,其含有选自由式(
  • 本发明提供可谋求缩短节拍时间的显示装置的制造方法。该制造方法具有以下工序:转印工序,使设于对激光具有透射性的基材的各向异性导电粘接层与布线基板相对,从基材侧照射激光而将各向异性导电粘接层的单片转印到布线基板的规定位置并进行排列;以及安装...
  • 由下述式(1)表示的含有甜菜碱结构的有机硅化合物给予亲水性和防雾性的耐水性优异的涂布组合物。(式中,R1和R2各自独立地表示碳原子数1~10的烷基或碳原子数6~10的芳基,R3表示碳原子数6~14的包含芳环的2价的有机基,R4和R5各自...