本发明涉及一种反射型光掩模坯料，制造反射型光掩模的方法和反射型光掩模。所述反射型光掩模坯料包括：衬底，在衬底上形成且反射曝光光(即极紫外范围内的光)的多层反射膜，在多层反射膜上形成的保护多层反射膜的保护膜，在保护膜上形成并吸收曝光光的吸...

使用成膜用材料形成被膜，该成膜用材料含有包含稀土元素氟化物的晶相的粒子、包含稀土元素氧化物的晶相的粒子和包含稀土元素氟化铵复盐的晶相的粒子的成膜用材料，或者该成膜用材料含有包含稀土元素氟化物的晶相的粒子和包含稀土元素氧化物的晶相和稀土元...

底漆组合物，其含有：(A)丙烯酸酯、甲基丙烯酸酯或这两者的(共聚)聚合物；(B)由下述式(1)表示的有机硅化合物、由下述式(2)表示的有机硅化合物或这两者(R1和R2为烷基，R3为2价烃基，R4为亚烷基或羰基，R5为1价烃基，a为0或1...

本发明涉及一种成膜粉末、成膜方法以及成膜粉末的制备方法。具体涉及一种含稀土氟氧化物的成膜粉末，其平均颗粒尺寸D50为0.6μm至15μm，通过压汞法测量的≤10μm的孔隙的总体积为0.51cm3/g至1.5cm3/g，且BET表面积为3...

本发明涉及抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明课题为提供即使在高曝光量区域仍因高分辨度而使粗糙度或孔洞图案的尺寸均匀性减少，曝光后的图案形状良好且蚀刻耐性优良的抗蚀剂组成物。该课题解决手段为一种抗蚀剂组成物，含有：树脂(A)，具有通式(p

本发明为一种固化性有机硅组合物，其含有：(A)有机聚硅氧烷，其为(a)通式(1)表示的化合物与(b)通式(2)表示的化合物的加成反应产物，且1分子中具有平均4个以上的甲基丙烯酰基，p为10以上的整数，R1为碳原子数为1～12的一价有机基...

组合物，其包含(A)由式(1)所表示的有机硅化合物、以及(B)具有选自聚硫醚基、硫酯基和巯基中的1种以上和烷氧基甲硅烷基的有机硅化合物，该组合物在添加于橡胶组合物中的情况下，形成在维持组合物的加工性、其固化物的硬度、拉伸特性的状态下，可...

本发明为一种乳化组合物，该乳化组合物含有(A)：含钛原子的硅树脂、(B)：所述(A)成分可溶的在25℃下为液状的选自由烃油、酯油及硅油组成的组中的一种以上的油剂、(C)：水，且不含表面活性剂。由此，本发明的目的在于提供一种未使用表面活性...

本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题为提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有含下式(1)表示的锍盐的淬灭剂。示的锍盐的淬灭剂。示的锍盐的淬灭剂。

本发明涉及含硅的金属硬掩膜形成用组成物及图案形成方法。本发明课题为提供在多层抗蚀剂法中抑止超微细图案的崩塌的效果高，可形成LWR优良的抗蚀剂图案，且相对于已知的含硅的下层膜材料具有优良的干蚀刻耐性及湿式剥离性，同时兼顾相对于已知的金属硬...

本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的课题为提供为高感度且LWR、CDU经改善的抗蚀剂材料及使用其的图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂材料，含有含下式(1)表示的锍盐的淬灭剂。示的锍盐的淬灭剂。示的锍盐的淬灭剂。

本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明课题提供高感度，且LWR、CDU有所改善的抗蚀剂材料、及使用其的图案形成方法。解决手段是一种抗蚀剂材料，包含含有下式(1)表示的锍盐的淬灭剂。盐的淬灭剂。盐的淬灭剂。

提供可高精度地调整磁制冷材料的磁性转变温度的磁制冷材料的制造方法以及高精度地调整了磁性转变温度的磁制冷材料。本发明的磁制冷材料的制造方法包括：准备规定的第1磁制冷材料和与第1磁制冷材料不同的规定的第2磁制冷材料的工序，以及将第1磁制冷材...

本发明提供一种复合晶圆的制造方法、及利用该制造方法制造的复合晶圆，所述复合晶圆的制造方法具备以下阶段：准备第1衬底，所述第1衬底在一个面配置有氧化物、氮氧化物及氮化物中任一种的第1层；准备第2衬底，所述第2衬底在一个面配置有氧化物、氮氧...

由含有特定量的(A)在分子链末端具有硅烷醇基或水解性甲硅烷基的特定结构的有机聚硅氧烷、(B)通过水解将环状酮化合物作为脱离基团(脱离物质)释放的水解性有机硅烷化合物和/或其部分水解缩合物和(C)固化催化剂的第一剂和含有(A')在分子链末...

本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的目的为提供边缘粗糙度、尺寸偏差小，分辨性优异，曝光后的图案形状良好，且保存稳定性亦良好的抗蚀剂材料、及图案形成方法。本发明的解决手段为一种抗蚀剂材料，其特征为含有：(Ia)含有包含羟基或羧基的...

渗油性硅橡胶组合物，其包含：(A)含有烯基的有机聚硅氧烷：100质量份，(B)含有与硅原子键合的氢原子的有机氢聚硅氧烷：0.2～20质量份，(C)铂族金属系催化剂：相对于(A)和(B)成分的合计质量，以铂族金属(质量换算)计，为0.5～...

[课题]本发明的目的在于提供具有固化性和保存稳定性的缩合固化型硅酮组合物。[解决手段]本发明提供缩合固化型硅酮组合物，含有具有烷氧基甲硅烷基的有机聚硅氧烷和用下述通式(1)表示的化合物。(式中，R1和R2相互独立地为氢原子、或未取代或取...

本发明涉及抗蚀剂材料及图案形成方法。本发明的目的为提供具有更优于已知的正型抗蚀剂材料的感度及分辨率、溶解对比度，边缘粗糙度、尺寸偏差小，且曝光后的图案形状良好的抗蚀剂材料、及图案形成方法。本发明的解决手段为一种抗蚀剂材料，其特征为含有：...

本发明涉及用于悬浮液等离子喷涂的浆料和用于形成喷涂涂层的方法。本发明提供用于悬浮液等离子喷涂中的浆料，其包括分散介质和稀土氧化物颗粒，稀土氧化物颗粒具有1.5至5μm的粒度D50和小于1m2/g的BET比表面积，并且浆料中的稀土氧化物颗...