提供下述式（1）所示的含有脲基的有机硅化合物和下述式（3）所示的含有氨基的有机硅化合物在包含醇和水的溶剂中溶解而成的组合物。式中，R1表示氢原子、烷基或芳基，R2表示氢原子、烷基或由式（2）表示的官能团，R3表示氢原子、烷基或芳基，R4...

本发明提供一种层叠体，其包含：晶体基板、直接或隔着其他层形成在所述晶体基板的主表面上的以第一结晶性金属氧化物半导体作为主成分的第一晶体层、及直接或隔着其他层形成在所述第一晶体层上的以第二结晶性金属氧化物半导体作为主成分的第二晶体层，该层...

本发明的课题是提供残存单体量少，使用于抗蚀剂组合物时，尤其会展现良好的LWR的聚合物的制造方法、及聚合物。一种聚合物的制造方法，是制造含有来自包含因曝光而分解并产生酸的结构的单体(A)的重复单元、来自具有酸不稳定基团的单体(B)的重复单...

本发明提供一种基准标记中具有辅助标记的反射型掩模坯料，该辅助标记能够通过简单的机构、较小的扬尘风险形成。本发明的反射型掩模坯料是至少具备基板、设置在该基板上并反射曝光光线的多层反射膜、以及设置在该多层反射膜上并吸收所述曝光光线的吸收体膜...

本发明涉及有机膜形成用材料、半导体装置制造用基板、有机膜的形成方法、图案形成方法、有机膜形成用化合物、及芳香族羧酸酐。本发明提供不仅在空气中，即使于钝性气体中的成膜条件仍进行硬化，可形成对于基板的成膜性、密接性良好的有机膜的有机膜形成用...

本发明涉及PBN容器及PBN容器的制造方法。本发明是一种PBN容器，具备:容器本体，由热分解氮化硼(PBN)的层叠体所构成；以及导电性膜，覆盖所述容器本体的表面，其特征是，当所述容器本体的层剖面、所述容器本体中接触该层剖面的内壁面或外壁...

本发明涉及图案形成方法。本发明课题为提供将可用于ArF图案化的(甲基)丙烯酸聚合物用于主骨架，借由干式显影而非硅基化得到窄节距的微细图案的图案形成方法。解决手段为图案形成方法，其包含以下步骤：在被加工基板上形成多层、使用ArF准分子用正...

本发明涉及抗蚀剂组成物、层叠体及图案形成方法。本发明的课题为提供在EB及EUV光刻等使用高能射线的光学光刻中，感度及分辨度优良的抗蚀剂组成物、以及使用了该抗蚀剂组成物的层叠体及图案形成方法。该课题的解决手段为一种抗蚀剂组成物，其特征为含...

本发明的反射型掩模坯料至少具有：基板(10)；形成于基板(10)上且可反射曝光光的多层反射膜(50)；以及含钽的多层膜(200)，该反射型掩模坯料用于以EUV光作为曝光光的EUV光刻中。所述多层膜(200)具有TaN部(210)、TaO...

提供一种能够形成热阻低且可靠性优异的固化物的热传导性有机硅组合物。热传导性有机硅组合物含有下述的成分(A)、成分(B)、成分(C)、成分(D)、成分(E)和成分(F)：(A)在分子链的末端具有至少2个烯基、且25℃时的运动粘度为100~...

提供具有优异的磨损耐久性的表面拒水层。表面层，是采用表面处理剂在基材上形成的表面层，所述表面处理剂包含具有至少一个烷基并且在另一末端具有基材密合性基团的含有烷基的化合物，对所述表面层进行C‑K端X射线吸收近边结构(XANES)测定得到的...

[课题]提供可提供透明性、表面亲水性、耐久性、耐污染性优异的聚合物的聚合性有机硅单体、其制造方法、包含该单体的固化性组合物、将该组合物聚合而得到的聚合物、以及使用该聚合物形成的眼科器械。[解决方案]聚合性有机硅单体,其由下述式（1）表示...

本发明提供一种包含将通过光等的外部刺激而具有高降解特性的（共聚）聚合物作为构成单元的弹性体球形粒子的弹性体复合粒子、弹性体球形粒子和弹性体复合粒子的制造方法。所述弹性体复合粒子为在作为体积平均粒径为0.5~200µm、具有聚酯结构和聚醚...

本发明提供一种化妆料，其包含在使用后能够在环境中进行降解，不会作为粒子(固形物)残留，且在化妆料中配合时能够显现出高柔软性、丝滑性以及光扩散性的粒子。所述化妆料含有下述（i）和（ii）中的至少一种粒子。（i）弹性体球形粒子，其为具有聚酯...

含有（A）在1分子中含有至少两个与硅原子结合的烯基的直链状有机聚硅氧烷、（B）具有R3SiO1/2单元和SiO4/2单元（式中，R各自独立地表示碳原子数1～6的一价烃基，1分子中的至少两个R为烯基）的树脂状有机聚硅氧烷、（C）在1分子中...

本发明涉及鎓盐单体、单体型光酸产生剂、聚合物、化学增幅抗蚀剂组成物及图案形成方法。本发明是下述通式(A)表示的鎓盐单体。借此，可达成展现优良的溶剂溶解性、高感度、及高酸扩散抑制性能，借此展现优良的光刻性能的化学增幅抗蚀剂组成物。[化1]...

以CF3O‑和CF3CF2O‑的摩尔比（CF3CF2O‑/CF3O‑）成为0.01以上且0.17以下的量含有在末端具有CF3O‑或CF3CF2O‑的特定结构的含有硅烷醇基或水解性甲硅烷基的含有氟聚醚基的聚合物和/或其部分（水解）缩合物的...

本发明为一种复合粉体，其特征在于，其为将球状二氧化硅固定在珠光颜料上而形成的复合粉体。由此能够提供一种在修饰皮肤的凹凸等的同时给予具有透明感的自然妆效、并抑制不自然的光泽且赋予提亮肤色的效果，且顺滑性等使用感优异的复合粉体及化妆品。

[课题]本发明的目的在于提供一种通过UV‑LED照射使含(甲基)丙烯酰基的光硬化性硅酮组合物效率良好地硬化的方法。一种通过UV‑LED照射使光硬化性组合物硬化的方法，所述光硬化性组合物包含：（A）在1分子中具有至少两个(甲基)丙烯酰基的...

本发明提供连续流动微流体系统和生产自组装物质颗粒的方法。用于微流体芯片的连续流动运转的连续流动微流体系统，其中由该系统形成的连续流动的脉动率为5％或更小。即使当高压下将流体样品加入微流体芯片时，也可以令人满意且稳定地生产具有高尺寸均匀性...