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先进微装置公司专利技术
先进微装置公司共有613项专利
应变沟道鳍片场效应晶体管制造技术
一种半导体结构,包括鳍片(205)和形成于该鳍片上的层(305)。该鳍片(205)包括具有矩形横剖面和许多表面的第一结晶材料。该层(305)形成于该等表面上并包括第二结晶材料。该第一结晶材料较的该第二结晶材料具有不同的晶格常数,以令该层...
三栅极与栅极环绕的金属氧化物半导体场效应晶体管器件及其制造方法技术
一种三栅极(tri-gate)金属氧化物半导体场效应晶体管(200),包括鳍部结构(310)、形成于邻接该鳍部结构(310)的第一侧边的第一栅极(410)、形成于邻接该鳍部结构(310)相对于该第一侧边的第二侧边的第二栅极(420)、以...
用于有机存储装置的旋涂聚合物制造方法及图纸
一种有机存储单元的制造方法,包含: 提供第一电极; 在该第一电极上形成含促进导电性的化合物的无源层; 使用旋涂技术在无源层上形成有机半导体层,该旋涂技术包含在有机半导体层上施敷以下物质的混合物:i)共轭有机聚合物、共轭...
用于制备具有衬有阻挡层的开孔的半导体组件的方法技术
本发明公开了一种具有金属化系统的半导体组件(10)以及用于制备该半导体组件(10)的方法,该金属化系统包含薄的保形的多层阻挡层结构(60)。介电材料层(30,34)形成在较低层的互连之上。硬掩模(36)形成在介电层(30,34)之上,并...
窄鳍片场效应晶体管制造技术
一种具有小于6纳米的沟道宽度的窄沟道鳍式场效晶体管(FinFET)。该FinFET可包含一鳍片(140),其中是利用氨水(NH↓[4]OH)蚀刻或活性离子蚀刻(RIE)来削减该沟道区。
在氮化氧化硅层中补偿氮的不均匀浓度制造技术
一种形成绝缘层的方法,该方法包括: 在可氧化衬底上形成具有初始厚度(210)的介电层(202); 将氮导入至该介电层(202);以及 依据局部氮浓度而局部增加该介电层(202)的初始厚度。
具有拉伸应变基片的半导体及其制备方法技术
一个示例性实施例涉及一种形成金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)的方法。该方法包括提供其上形成有栅极(54)的基片(40)并且至少进行以下沉积步骤中的一种:沉积隔片层并在位于基片(40)上的硅层(42)之上的栅极(54)与栅极绝...
形成浅槽隔离区的方法、制备集成电路的方法以及形成衬里的方法技术
一种制备集成电路(IC)的方法使用了浅槽隔离(STI)技术。该浅槽隔离技术用在应变硅(SMOS)工艺中。沟槽的衬里是由在低温过程中所沉积的半导体层或金属层而形成的,而低温过程减少了锗的释气。该低温过程可以是CVD过程。
形成鳍状场效应晶体管器件中的结构的方法技术
一种半导体器件,包括第一鳍状结构(810)、第二鳍状结构(810)及第三鳍状结构(210)。该第一及第二鳍状结构(810)包括单晶硅材料。该第三鳍状结构(210)位于该第一及第二鳍状结构(810)之间,其包括介电材料。该第三鳍状结构(2...
形成FinFET装置中的栅极以及薄化该FinFET装置的沟道区中的鳍的方法制造方法及图纸
一种制备FinFET装置(100)的方法包括在绝缘层(120)上形成鳍结构(210)。该鳍结构(210)包括导电鳍。该方法还包括形成源极/漏极区(220/230)并在鳍(210)上形成虚拟栅极(300)。可去除该虚拟栅极(300),并可...
在图案化的介电层之上电镀铜以增强后续CMP过程的过程均匀性的方法技术
一种在包含介电层(202)的基片(201)之上沉积金属的方法,所述介电层(202)具有形成在其中的图案化区域(210)和基本上未图案化区域(206),所述方法包括: 将所述基片暴露于电解液浴中,以用由下至上的技术将金属(207)非...
形成通过加入硅来调整功函数的金属栅极结构的方法技术
本发明公开了一种形成具有功函数可控的金属栅极(30)的半导体结构的方法,所述方法包括形成前身结构的步骤,所述前身结构具有有源区(12)被沟道所分隔的基片(10),以及在沟道之上和在介电层(20)之内的临时栅极(16)。去除临时栅极(16...
形成电阻结构的方法技术
用硅化物阻隔层(120)掩盖所形成的覆在半导体衬底之上的电阻结构(102),以定义不硅化的电阻结构部分和硅化的电阻结构部分。改变硅化物阻隔层(120)以促进不同的过程。
确定集成电路的接触大小以制造多阶层接触的方法技术
一种用于形成集成电路的方法(600),包括: 在第一半导体衬底(202)上的半导体器件(213)(317)上方于介电材料(216)(322)中蚀刻第一开口(228)(338)(402)至第一深度; 在所述第一半导体衬底(20...
鳍状场效应晶体管中栅极区域的多步骤化学机械研磨制造技术
一个制造金属氧化物半导体场效应晶体管(MOSFET)型态的半导体组件的方法包含将沉积于整个沟道上的栅极材料(320)平坦化的步骤。该平坦化步骤以包含初始的即“粗略的”平坦化和随后的“精细的”平坦化的多步骤制造过程的方式施行。用来作精细平...
非易失性存储器件制造技术
一种非易失性存储器件(100)包括衬底(110)、绝缘层(120)、鳍(210)、许多介电层(310-330)和控制栅极(510/520)。绝缘层(120)形成在衬底(110)上,而鳍(210)则形成在绝缘层(120)上。介电层(310...
半导体器件及制造方法技术
本发明公开了一种适用于集成电路中的应变半导体器件,以及一种用以制造该应变半导体器件的方法。从绝缘体上半导体的衬底形成台面隔离结构。在该台面隔离结构上形成栅极结构。该栅极结构包含配置在栅极电介质材料上的栅极,并具有两组相对侧壁。在台面隔离...
根据故障检测执行度量调度的方法及装置制造方法及图纸
一种动态调整一批工件(105)度量路由的方法及设备。该方法是包括使用加工工具(610)对一批工件(105)执行加工工艺,对该加工工具(610)执行一工具状态分析,以及依据该工具状态分析执行动态度量路由调整程序,该动态度量路由调整程序还包...
根据电性测试数据控制栅极绝缘层的性能及特征的方法技术
本发明一般涉及根据电性测试数据(46)控制栅极绝缘层(16)的性能及特征的各种方法,以及执行该方法的系统。在一个示意性实施例中,该方法包括对至少一个半导体器件执行至少一个电性测试,根据从该电性测试所获得的电性数据确定至少一种工艺操作的至...
形成于通孔中的聚合物存储器件制造技术
一种在通孔中制造聚合物存储器件的方法,包括下列步骤: 提供半导体衬底,该半导体衬底上具有至少一个含金属层; 在该含金属层上形成至少一个电介质层; 在该电介质层中形成至少一个通孔,以露出该含金属层的至少一部分; 在...
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