一种晶圆输送机构，包括无尘气缸，直线滑轨，传片桨和晶圆存放托盘。传片桨的一端与无尘气缸连接，晶圆存放托盘放置在传片桨的另一端。传片桨在直线滑轨上滑动。通过采用此晶圆输送机构，在整个沉积应用过程中，可以很好的实现晶圆在反应腔室内的自动取放...

一种新型晶圆压紧机构，主要解决现有的半导体镀膜设备没有压紧机构，存在着晶圆翘曲所带来的产品不良率高的问题。该机构包括主体，主体与电机连接。所述主体包括压板、加热盘、顶针及托盘。所述顶针的上、下两端分别设在加热盘与托盘的内孔中，并在其内孔...

矢量网络分析仪测试装置，包括N连接器插座、铝连接件和镀银铜带。N连接器插座固定在铝连接件的上端，铝连接件的下端与被测物体连接。N连接器插座与矢量网络分析仪自带的同轴电缆N型连接器对接。镀银铜带一端焊接在铝连接件上，另一端用压片固定在被测...

一种可升降手推车，包括顶部承载件和底部承载件，两者通过支撑开口销连接。本发明结构简单，高度可以调节，并且可以根据需求增加承载层数，方便移动，更加适用于科研院所，针对不同测试设备的安放与调试。

一种多用途工装，解决了现有设备腔内零部件的安装、校准过程中的差异问题。该工装包括工装主体，在所述工装主体上面的两侧分别设有热盘传片位置触点及顶针高度触点；在所述工装主体的下面分别设有定位销及热盘与机械手间距触点。上述定位销设在工装主体下...

一种运输工装设备,包括L形支持块和尼龙挡块，尼龙挡块固定在L形支持块的外表面。本发明采用尼龙挡块加强和整个防护工装的强度，而且L形支持块的内侧面采用斜面的形式，可以适用于不同高度的设备，提高了工装的通用性。

加热盘与腔体定位装置，包括上支撑，下支撑，定位销轴，上滑块和下滑块。三角形的上支撑通过定位销轴与下支撑连接。上滑块固定在上支撑上，下滑块固定在下支撑上。上支撑的末端设有与腔体内表面接触的上接触块。下支撑的末端设有与加热盘外表面接触的下接...

一种简易型围板锁紧结构，主要解决现有的围板锁具不方便开启，占用设备空间大，把手及锁具凸出围板表面较多造成行人剐碰损伤等问题。它包括围板及锁轴。上述锁轴穿过轴套、垫圈及偏心轮，使用垫片及螺母与锁舌末端的螺纹连接，并将其固定在围板上。上述锁...

气相沉积膜设备用抽气陶瓷环，包括环形的陶瓷环，在陶瓷环上均布抽气小孔，抽气小孔的内壁为圆角。本发明可针对不同沉积反应的真空要求可匹配不同的小孔数量及小孔孔径的陶瓷环，且保证抽气泵抽气时，腔室内部向外部抽气的气流均匀稳定。另外腔室内通入高...

气相沉积膜设备用辐射屏蔽装置，包括能量输出装置，极板，金属屏蔽罩和腔室。能量输出装置与极板连接。金属屏蔽罩设置在能量输出装置和极板之间。极板设置在腔室的上端。金属屏蔽罩是由外面的金属罩和内部的支撑框架构成的方型开口结构，金属罩的外表面设...

腔体支撑专用系统，包括上支撑、下支撑、移动件、螺栓及垫片。移动件处于上支撑和下支撑之间，螺栓通过垫片与移动件连接。本发明结构紧凑合理，由于采用上下支撑的方式，能够使腔体与下方框架起到支撑的目的，满足设备运输时腔稳定的新型结构。通过旋转螺...

气相沉积膜设备用射频导入系统，包括能量输出装置，金属导通杆，极板和腔室。能量输出装置通过金属导通杆与极板连接，极板设置在腔室的上端。本发明可以根据能量输入系统的安装布局使用不同形状的金属导通杆，确保整个系统能量的正常导入。金属导通杆与极...

气动元件控制结构，主要解决现有的半导体薄膜沉积设备控制气动元件需要进行检测时，由于气动元件在长距离、多路数控制时，所造成的管路过多、混乱、安全性差等问题。该控制结构采用在一个气体分配阀岛或气体分配阀体上安装多组阀的结构形式。上述气体分配...

一种新型抽气管路连接件，包括双孔法兰盘，锥形法兰管，底部法兰盘和法兰接头。双孔法兰盘固定在锥形法兰管粗的一端，底部法兰盘固定在锥形法兰管细的一端。法兰接头固定在锥形法兰管的外面。本发明有两个入口端，一个出口端，采用流线型过渡，减少了气流...

一种显示设备支撑系统，包括主体支架，显示器连接件，键盘连接件和脚轮。显示器连接件和键盘连接件滑动连接在主体支架的上端，脚轮固定在主体支架的底部。本发明结构紧凑合理，由于采用支架下方安装四个脚轮可以方便移动，同时可以方便的定位显示器和键盘...

一种便于更换的晶圆承托机构，解决了现有晶圆承托机构不易更换的问题。该机构包括热盘、陶瓷套、陶瓷柱及专用夹钳。所述热盘加工有圆形沉孔，将陶瓷套放入沉孔，再将陶瓷柱放入陶瓷套。所述陶瓷套内孔边缘制有倒角，可使陶瓷柱球面部分露出，陶瓷柱的球面...

一种新型抽气管路，包括管体，凸台和可旋转法兰盘组成。凸台设置在管体的两端与管体为一体结构，可旋转法兰盘设置在凸台的外圈。本发明在保证功能的前提下，减小了加工的难度，也更利于跟PECVD腔体进行装配。

一种可调节高度的晶圆承托机构，解决了现有晶圆承托机构不可调节的问题。该机构包括热盘、陶瓷套、陶瓷柱及调整扳手。所述陶瓷柱制有外螺纹，陶瓷套制有内螺纹，陶瓷套与陶瓷柱螺纹连接。上述热盘加工有圆形沉孔，将陶瓷套放入沉孔，再将陶瓷柱用调整扳手...

一种阶梯结构陶瓷环，用以承托一晶圆之陶瓷环，包含：一本体；及一环形凹部，设于该本体中央，且该环形凹部具有一底面及由底面向上延伸至本体表面的一缓冲部。该陶瓷环可确保晶圆定位的可靠性，同时又能避免晶圆的侧边与陶瓷环接触而产生颗粒物。

基于双层机械手的安装定位工装及使用方法，不仅能实现双层机械手前端手指的安装与调平的一体式操作，而且减少了设备的整体维护时间并降低了水平调整的复杂程度。其结构包括：安装定位基板、机械手下层前端手指的定位孔、机械手上层前端手指的定位孔，其中...